上海工程技术大学-竞价公告
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上海工程技术大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:湿法刻蚀机
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后15天内签约合同
送货时间:合同签订后45天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/松江区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 湿法刻蚀机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 不指定 | ||
| 型号 | 不指定 | ||
| 规格参数 | 1.需要兼容6英寸硅衬底以上晶圆的TSV，RDL，Pillar，MEMS工艺刻蚀；2.能配合完成离子束刻蚀（IBE），深硅刻蚀（DRIE），反应离子刻蚀（RIE），聚焦离子束刻蚀（FIB）。3.能完成Si和金属Cu的湿法刻蚀，并提供刻蚀药水供应；4.需配备2个湿法刻蚀槽和2个QDR快速清洗槽；5.能提供独立的etch循环槽体（外槽溢流，内槽进液）和QDR循环槽体（外槽溢流，内槽进液）。6.进口隔膜泵需选取Whiteknight，graco，yamada三家之一。7.介质刻蚀均匀性＜5%、金属刻蚀均匀性＜5%、颗粒控制≤30 ea；8.可适用多种药液如H2SO4、HF、HNO3、H3PO4等；9.工艺腔体需经过优化设计，提供优秀的洁净度和气密性控制；10.需为本单位提供机器操作培训，设备最长可以在交付之后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。11.为保证工艺一致性，刻蚀机和清洗机需要为同一家设备供应商。 | ||
| 质保及售后服务 | 设备最长可以在交付后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:湿法刻蚀机
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后15天内签约合同
送货时间:合同签订后45天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/松江区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 湿法刻蚀机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 不指定 | ||
| 型号 | 不指定 | ||
| 规格参数 | 1.需要兼容6英寸硅衬底以上晶圆的TSV，RDL，Pillar，MEMS工艺刻蚀；2.能配合完成离子束刻蚀（IBE），深硅刻蚀（DRIE），反应离子刻蚀（RIE），聚焦离子束刻蚀（FIB）。3.能完成Si和金属Cu的湿法刻蚀，并提供刻蚀药水供应；4.需配备2个湿法刻蚀槽和2个QDR快速清洗槽；5.能提供独立的etch循环槽体（外槽溢流，内槽进液）和QDR循环槽体（外槽溢流，内槽进液）。6.进口隔膜泵需选取Whiteknight，graco，yamada三家之一。7.介质刻蚀均匀性＜5%、金属刻蚀均匀性＜5%、颗粒控制≤30 ea；8.可适用多种药液如H2SO4、HF、HNO3、H3PO4等；9.工艺腔体需经过优化设计，提供优秀的洁净度和气密性控制；10.需为本单位提供机器操作培训，设备最长可以在交付之后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。11.为保证工艺一致性，刻蚀机和清洗机需要为同一家设备供应商。 | ||
| 质保及售后服务 | 设备最长可以在交付后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 | ||
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