磁控溅射镀膜系统

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磁控溅射镀膜系统

项目名称 磁控溅射镀膜系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2024-09-19 17:06:05 公告截止日期 2024-09-23 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后7天内签订合同 到货时间要求 发布竞价结果后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 秦都区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
磁控溅射镀膜系统 1.00 无
品牌 北 (略)
型号 ATK-400
预算单价
规格参数 磁控溅射镀膜系统 主体，整机结构模块化设计，方便维护。包含： 1）腔 室：400mm×*mm，304不锈钢焊接酸洗处理，真空漏率5.010-9 Pa·L/S； 2）样品台：可放置最大*mm晶圆（以及*mm以下碎片）样品台设有保护片托； 易于拆卸和清洗； 样品升降818cm； 旋转为0-30转/分。 3）控制系统：高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统， 搭配触摸屏尺寸为10英寸； 自主研发的沉积控制软件系统。 4）真空系统：分子泵650/L； 北仪优成机械泵 9/L； 复合真空计，测量范围大气---1x10-5Pa； 高真空气动挡板阀：KF40接口； 5）溅射系统：3寸溅射阴极：水冷带有挡板，2套； 射频电源：RF电源500W 1台； DC直流电源500W 1台； 流量计：2套，(Ar， O2)
售后服务 按行业标准提供服务，质保期12个月。
,陕西, (略) ,秦都区,西安,咸阳
项目名称 磁控溅射镀膜系统 项目编号 XJD*
公告开始日期 2024-09-19 17:06:05 公告截止日期 2024-09-23 12:00:00
采购单位 西安交通大学 付款方式 货到安装、调试、验收合格后，付全款。
签约时间要求 发布竞价结果后7天内签订合同 到货时间要求 发布竞价结果后7天内送达
预算总价 币种 人民币
收货地址 (略) 秦都区
供应商资质要求 无
采购清单 1
采购商品 采购数量 计量单位 附件
磁控溅射镀膜系统 1.00 无
品牌 北 (略)
型号 ATK-400
预算单价
规格参数 磁控溅射镀膜系统 主体，整机结构模块化设计，方便维护。包含： 1）腔 室：400mm×*mm，304不锈钢焊接酸洗处理，真空漏率5.010-9 Pa·L/S； 2）样品台：可放置最大*mm晶圆（以及*mm以下碎片）样品台设有保护片托； 易于拆卸和清洗； 样品升降818cm； 旋转为0-30转/分。 3）控制系统：高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统， 搭配触摸屏尺寸为10英寸； 自主研发的沉积控制软件系统。 4）真空系统：分子泵650/L； 北仪优成机械泵 9/L； 复合真空计，测量范围大气---1x10-5Pa； 高真空气动挡板阀：KF40接口； 5）溅射系统：3寸溅射阴极：水冷带有挡板，2套； 射频电源：RF电源500W 1台； DC直流电源500W 1台； 流量计：2套，(Ar， O2)
售后服务 按行业标准提供服务，质保期12个月。
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