小型磁控溅射仪采购

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小型磁控溅射仪采购


项目名称小型磁控溅射仪项目编号SCUT-HW-JJ*号
公示开始日期2024-09-24 15:13:55公示截止日期2024-09-26 16:00:00
采购单位华南理工大学付款方式验收合格后双方签字盖章,凭发票 30 天内一次性付清。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30工作日到货时间要求签约后7工作日
预算¥ 100,000
供应商资质要求

满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定

收货地址 (略) 天 (略) 381号华南理工大学五山校区

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
小型磁控溅射仪1金属喷涂设备
品牌郑科探
规格型号KT-Z1650PVD
技术参数1. 控制方式:7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制
2. 溅射电源:直流溅射电源
3. 镀膜功能:0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程 序
4. 最大功率:≤1000W
5. 最大输出电压电流:电压≤1000V 电流≤500mA
6. 真空要求:配备分子泵机组,前级泵为双极旋片真空泵,分子泵为FF-100/150, *转/分
7. 射频真空:≤10Pa
8. 挡板类型:电控
9. 真空腔室:玻璃罩+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
10.样品台:可旋转φ82 (最大可安装φ70 基底)
11.样品台转速:8 转/分钟
12.样品溅射源调节距离:40-105mm
13.真空测量:皮拉尼真空计(已安装 测量范围 10E5Pa 1E-1Pa)
14. 膜厚仪要求:
14.1频率计分辨率:0.01HZ
14.2膜厚分辨率:0.01
14.3适用晶振片:5、6MHZ 14mm
14.4使用温度:-30-40摄氏度
售后服务 (略) 点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

华南理工大学


2024-09-24 15:13:55


项目名称小型磁控溅射仪项目编号SCUT-HW-JJ*号
公示开始日期2024-09-24 15:13:55公示截止日期2024-09-26 16:00:00
采购单位华南理工大学付款方式验收合格后双方签字盖章,凭发票 30 天内一次性付清。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30工作日到货时间要求签约后7工作日
预算¥ 100,000
供应商资质要求

满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定

收货地址 (略) 天 (略) 381号华南理工大学五山校区

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
小型磁控溅射仪1金属喷涂设备
品牌郑科探
规格型号KT-Z1650PVD
技术参数1. 控制方式:7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制
2. 溅射电源:直流溅射电源
3. 镀膜功能:0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程 序
4. 最大功率:≤1000W
5. 最大输出电压电流:电压≤1000V 电流≤500mA
6. 真空要求:配备分子泵机组,前级泵为双极旋片真空泵,分子泵为FF-100/150, *转/分
7. 射频真空:≤10Pa
8. 挡板类型:电控
9. 真空腔室:玻璃罩+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
10.样品台:可旋转φ82 (最大可安装φ70 基底)
11.样品台转速:8 转/分钟
12.样品溅射源调节距离:40-105mm
13.真空测量:皮拉尼真空计(已安装 测量范围 10E5Pa 1E-1Pa)
14. 膜厚仪要求:
14.1频率计分辨率:0.01HZ
14.2膜厚分辨率:0.01
14.3适用晶振片:5、6MHZ 14mm
14.4使用温度:-30-40摄氏度
售后服务 (略) 点:不限;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

华南理工大学


2024-09-24 15:13:55

    
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