上海工程技术大学-竞价公告
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上海工程技术大学-竞价公告
申购单号:CB(略)
申购主题:HMDS烘箱
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后10天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/松江区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:经过调研、比价选择申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | HMDS烘箱 | 1.0 | 台(略).0 |
| 品牌 | 合肥真萍 | ||
| 型号 | MD-15 | ||
| 规格参数 | MD-151.采用日本进口控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和 PID 自整定功能，控温精确， 可靠。 2.智能化触摸屏控制系统配套 PLC 模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。3.HMDS 气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保 HMDS 气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用 100 级光刻间净化环境。 4.低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当 HMDS 液过低时发出报警并生成低液位报警记录） 5.温度与 PLC 联动保护功能（当 PLC 没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC 程序未启动时会及时切断工作功能，发出警报） 6. 载物托架：2 块 7.室温+30℃-200℃（最高温度 250℃）控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 8. 真空泵：爱德华干泵，真空度：133pa， 9.可放 2 寸晶圆片,4 寸晶圆片,6 寸晶圆片，8 寸晶圆片,； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB(略)
申购主题:HMDS烘箱
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后10天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/松江区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:经过调研、比价选择申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | HMDS烘箱 | 1.0 | 台(略).0 |
| 品牌 | 合肥真萍 | ||
| 型号 | MD-15 | ||
| 规格参数 | MD-151.采用日本进口控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和 PID 自整定功能，控温精确， 可靠。 2.智能化触摸屏控制系统配套 PLC 模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。3.HMDS 气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保 HMDS 气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用 100 级光刻间净化环境。 4.低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当 HMDS 液过低时发出报警并生成低液位报警记录） 5.温度与 PLC 联动保护功能（当 PLC 没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC 程序未启动时会及时切断工作功能，发出警报） 6. 载物托架：2 块 7.室温+30℃-200℃（最高温度 250℃）控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 8. 真空泵：爱德华干泵，真空度：133pa， 9.可放 2 寸晶圆片,4 寸晶圆片,6 寸晶圆片，8 寸晶圆片,； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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