高真空金属蒸发镀膜机采购

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高真空金属蒸发镀膜机采购


高真空金属蒸发镀膜机(XF-WSBX-2400478)采购公告
发布时间:2024-09-29 16:21:55阅读量:24

项目名称高真空金属蒸发镀膜机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-09-29 16:21:55公告截止日期2024-10-09 18:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款,*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求成交后50个工作日内
预算总价¥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址浙江大学紫 (略) 海纳苑5幢 C411
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空金属蒸发镀膜机1其他电工、电子生产设备

型号ZHDS400
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1. 真空腔室:镀膜室尺寸:L400mm×W440mm×H450mm;SUS304优质不锈钢真空腔室;方箱式;前门水平滑开式,可便于在手套箱内操作;后门为侧开门,便于设备清理维护;特点:镀膜室配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试和使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封安全可靠。
2. 真空系统:脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计;
3. 真空极限:5.0×10-5Pa(设备和手套箱分体,设备空载,抽真空24小时);
4. 升压率:设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值);设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa;
5. 抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min(不带手套箱,设备空载);从大气抽至8.0×10-4Pa≤10 min(设备空载,干燥氮气环境);
6. 基片台: ①基片台尺寸120×120mm,最大样品尺寸小于120×120mm;配有基片台挡板;
②旋转转速0~20转/分钟,可调可控;
③升降基片台可调节范围70mm,蒸发源与基片距离约260-330mm;
④基片台间接水冷(水冷样品台可承受零下15°液冷循环)
7. 膜厚不均匀性:110mmx 110mm范围内厚度偏差 ≤5%。(金属源用Cu标定,台阶仪测试厚度≥100nm;有机源根据实验要求由客户提供材料,如:C60、BCP、PbI?、CsBr等)片内不均匀性计算公式:(最大值-最小值)/(最大值+最小值)×100%
8. 蒸发源及电源:①金属蒸发源:水冷铜电极4组;②金属蒸发电源:日本TDK:*(1台电源可切换供多台电极分时蒸镀);
9. 控制方式:PLC+触摸屏控制,可实现自动一键式抽真空,蒸发镀膜电源采用自动控制,以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索;
10. 报警及保护:对缺水进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;
售后服务电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后12小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期内免费维修设备和更换零配件;对于质保期以外设备的维护,只收取成本费;所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。1)供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理,达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的;2)供方应提供详细的培训课程讲义及培训;3)安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训,内容包括:实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容;;

浙江大学

2024-09-29 16:21:55


高真空金属蒸发镀膜机(XF-WSBX-2400478)采购公告
发布时间:2024-09-29 16:21:55阅读量:24

项目名称高真空金属蒸发镀膜机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-09-29 16:21:55公告截止日期2024-10-09 18:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款,*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求成交后50个工作日内
预算总价¥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址浙江大学紫 (略) 海纳苑5幢 C411
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空金属蒸发镀膜机1其他电工、电子生产设备

型号ZHDS400
预算单价¥ *.00
技术参数及配置要求1. 真空腔室:镀膜室尺寸:L400mm×W440mm×H450mm;SUS304优质不锈钢真空腔室;方箱式;前门水平滑开式,可便于在手套箱内操作;后门为侧开门,便于设备清理维护;特点:镀膜室配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试和使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封安全可靠。
2. 真空系统:脂润滑分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计;
3. 真空极限:5.0×10-5Pa(设备和手套箱分体,设备空载,抽真空24小时);
4. 升压率:设备升压率:≤0.8Pa/h(12小时平均值);设备保压:停泵12小时后,设备真空度≤10Pa;
5. 抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min(不带手套箱,设备空载);从大气抽至8.0×10-4Pa≤10 min(设备空载,干燥氮气环境);
6. 基片台: ①基片台尺寸120×120mm,最大样品尺寸小于120×120mm;配有基片台挡板;
②旋转转速0~20转/分钟,可调可控;
③升降基片台可调节范围70mm,蒸发源与基片距离约260-330mm;
④基片台间接水冷(水冷样品台可承受零下15°液冷循环)
7. 膜厚不均匀性:110mmx 110mm范围内厚度偏差 ≤5%。(金属源用Cu标定,台阶仪测试厚度≥100nm;有机源根据实验要求由客户提供材料,如:C60、BCP、PbI?、CsBr等)片内不均匀性计算公式:(最大值-最小值)/(最大值+最小值)×100%
8. 蒸发源及电源:①金属蒸发源:水冷铜电极4组;②金属蒸发电源:日本TDK:*(1台电源可切换供多台电极分时蒸镀);
9. 控制方式:PLC+触摸屏控制,可实现自动一键式抽真空,蒸发镀膜电源采用自动控制,以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索;
10. 报警及保护:对缺水进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;
售后服务电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后12小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期内免费维修设备和更换零配件;对于质保期以外设备的维护,只收取成本费;所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。1)供方派技术工程师对需方人员进行一次免费的设备安装、调试、定位、技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理,达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的;2)供方应提供详细的培训课程讲义及培训;3)安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训,内容包括:实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容;;

浙江大学

2024-09-29 16:21:55

    
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