上海工程技术大学-竞价公告
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上海工程技术大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:显影机
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后14天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 显影机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 不指定 | ||
| 型号 | 不指定 | ||
| 规格参数 | 1.支持4寸和6寸晶圆2.显影方式: 喷雾式和水坑旋覆浸没式（puddle）相结合3.转速分辨率:±1 rpm4.旋涂速度: 最高转速≥2000rpm(空载)5.工艺设置：单步工艺及多步工艺可选；时间精度: 0.1sec6. (略) ：二路液体管道（显影液、清洗液）+ 一路氮气吹扫7.PP耐腐蚀腔体8.电控压力调节9.触摸屏操作 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:显影机
采购单位:上海工程技术大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后14天内签约合同
送货时间:合同签订后30天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 显影机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 不指定 | ||
| 型号 | 不指定 | ||
| 规格参数 | 1.支持4寸和6寸晶圆2.显影方式: 喷雾式和水坑旋覆浸没式（puddle）相结合3.转速分辨率:±1 rpm4.旋涂速度: 最高转速≥2000rpm(空载)5.工艺设置：单步工艺及多步工艺可选；时间精度: 0.1sec6. (略) ：二路液体管道（显影液、清洗液）+ 一路氮气吹扫7.PP耐腐蚀腔体8.电控压力调节9.触摸屏操作 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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