西南大学-竞价公告
西南大学-竞价公告
申购单号:CM(略)
申购主题:西南大学教学实验及实训基地设备更新项目- (略) 建设
采购单位:西南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后90天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址: (略) / (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到后按照履约保证金支付方式付款
备注说明:各竞标商须知:1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装,竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试,必须注明,申购用户认可的,方可成交。2.成交金额在(略)元以上的,供方应在质量验收合格后,需方支付货款前,成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金自货物质量验收合格之日起一年内若无遗留问题,需方将其质保金全额无息退还供方。3.开户名称: 西南大学 银行账号: (略)8877 开户银行: 工行重庆朝阳支行 统一社会信用代码: (略)33W 银行行号: (略);质保金退还事宜联系电话:(略);4.如竞标货物为进口的,必须填写品牌、型号、厂家、产地,并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等,如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见:http://**请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
品牌 | 杭州大华 | ||
型号 | MiniLab-60S | ||
规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢,材料致密放气量小;前开门结构,有观察窗和挡板,磁控靶安装在下底盘,样品台在上顶板,腔室带防污内衬,可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1)极限真空度:优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后)2)恢复真空:从大气抽至6×10-4Pa≤40min(充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气)3)真空室漏率:关机12小时真空度≤5Pa。(新设备空载)★4)系统真空检漏漏率:小于5.0×10-10Pa·m3/s;内外表面电 (略) 理。3、样品台1)样品台:抽屉式结构可装载最大4英寸基片托(方片尺寸100mm×100mm)可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2)样品台旋转:转速0~30rpm连续可调;步进电机控制,转动平稳。3)工转机构:采用上驱动,中心悬挂方式,磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置,避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩,使基片受热均匀。4)样品台加热:采用数字温控仪,进口电阻合金进行加热,加热炉温度:室温~600℃,由热电偶闭环反馈控制,可控可调。控温精度±1℃,可分段设定升温斜率。 (略) 内,温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件,其中2个靶位可溅射磁性材料(如镍或铁等)。 5、 (略) 1)3路质量流量计 (略) ,可外接多种气体,其中Ar:500sccm、O2:50sccm、N2:100sccm 精度±1%,2)前端带电磁截止阀和过滤器,后端配有混气室;6、溅射电源1)射频电源:功率500W,频率13.56MHz,全自动匹配; 数量:1套2)直流溅射电源:最大输出功率:500W;输出电压:0~800V可调 数量:2套 (其中一台直流电源一拖二,切换使用)7、水路系统SUS304不锈钢水排,保障循环供水到每个水冷部件;每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态,执行异常报警。8、软件及其功能(配套控制软件)★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权,成品软件应具有一键式操作功能,并配置多种标准工艺参数包,可以直接调取执行;2、应具有自选参数功能,可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数,系统自动开始抽真空,达到目标真空度后开始加热,达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源,溅射时间以设定的工作参数为准;▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值,实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制,进而实现多靶轮流溅射和共溅射;★4、完备的工艺菜单编辑功能,大容量菜单存储空间,满足客户菜单存储需求(大于500个);5、具有操作日志记录功能,记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容,投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套(设备的详细参数见附件)","important":true}] | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
2 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
品牌 | 矩阵科技 | ||
型号 | RS-B400 Series | ||
规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢,材料致密放气量小;前开门结构,有观察窗和挡板,磁控靶安装在下底盘,样品台在上顶板,腔室带防污内衬,可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1)极限真空度:优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后)2)恢复真空:从大气抽至6×10-4Pa≤40min(充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气)3)真空室漏率:关机12小时真空度≤5Pa。(新设备空载)★4)系统真空检漏漏率:小于5.0×10-10Pa·m3/s;内外表面电 (略) 理。3、样品台1)样品台:抽屉式结构可装载最大4英寸基片托(方片尺寸100mm×100mm)可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2)样品台旋转:转速0~30rpm连续可调;步进电机控制,转动平稳。3)工转机构:采用上驱动,中心悬挂方式,磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置,避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩,使基片受热均匀。4)样品台加热:采用数字温控仪,进口电阻合金进行加热,加热炉温度:室温~600℃,由热电偶闭环反馈控制,可控可调。控温精度±1℃,可分段设定升温斜率。 (略) 内,温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件,其中2个靶位可溅射磁性材料(如镍或铁等)。 5、 (略) 1)3路质量流量计 (略) ,可外接多种气体,其中Ar:500sccm、O2:50sccm、N2:100sccm 精度±1%,2)前端带电磁截止阀和过滤器,后端配有混气室;6、溅射电源1)射频电源:功率500W,频率13.56MHz,全自动匹配; 数量:1套2)直流溅射电源:最大输出功率:500W;输出电压:0~800V可调 数量:2套 (其中一台直流电源一拖二,切换使用)7、水路系统SUS304不锈钢水排,保障循环供水到每个水冷部件;每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态,执行异常报警。8、软件及其功能(配套控制软件)★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权,成品软件应具有一键式操作功能,并配置多种标准工艺参数包,可以直接调取执行;2、应具有自选参数功能,可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数,系统自动开始抽真空,达到目标真空度后开始加热,达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源,溅射时间以设定的工作参数为准;▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值,实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制,进而实现多靶轮流溅射和共溅射;★4、完备的工艺菜单编辑功能,大容量菜单存储空间,满足客户菜单存储需求(大于500个);5、具有操作日志记录功能,记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容,投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套(设备的详细参数见附件)","important":true}] | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
申购单号:CM(略)
申购主题:西南大学教学实验及实训基地设备更新项目- (略) 建设
采购单位:西南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后90天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址: (略) / (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到后按照履约保证金支付方式付款
备注说明:各竞标商须知:1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装,竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试,必须注明,申购用户认可的,方可成交。2.成交金额在(略)元以上的,供方应在质量验收合格后,需方支付货款前,成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金自货物质量验收合格之日起一年内若无遗留问题,需方将其质保金全额无息退还供方。3.开户名称: 西南大学 银行账号: (略)8877 开户银行: 工行重庆朝阳支行 统一社会信用代码: (略)33W 银行行号: (略);质保金退还事宜联系电话:(略);4.如竞标货物为进口的,必须填写品牌、型号、厂家、产地,并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等,如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见:http://**请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
品牌 | 杭州大华 | ||
型号 | MiniLab-60S | ||
规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢,材料致密放气量小;前开门结构,有观察窗和挡板,磁控靶安装在下底盘,样品台在上顶板,腔室带防污内衬,可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1)极限真空度:优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后)2)恢复真空:从大气抽至6×10-4Pa≤40min(充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气)3)真空室漏率:关机12小时真空度≤5Pa。(新设备空载)★4)系统真空检漏漏率:小于5.0×10-10Pa·m3/s;内外表面电 (略) 理。3、样品台1)样品台:抽屉式结构可装载最大4英寸基片托(方片尺寸100mm×100mm)可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2)样品台旋转:转速0~30rpm连续可调;步进电机控制,转动平稳。3)工转机构:采用上驱动,中心悬挂方式,磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置,避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩,使基片受热均匀。4)样品台加热:采用数字温控仪,进口电阻合金进行加热,加热炉温度:室温~600℃,由热电偶闭环反馈控制,可控可调。控温精度±1℃,可分段设定升温斜率。 (略) 内,温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件,其中2个靶位可溅射磁性材料(如镍或铁等)。 5、 (略) 1)3路质量流量计 (略) ,可外接多种气体,其中Ar:500sccm、O2:50sccm、N2:100sccm 精度±1%,2)前端带电磁截止阀和过滤器,后端配有混气室;6、溅射电源1)射频电源:功率500W,频率13.56MHz,全自动匹配; 数量:1套2)直流溅射电源:最大输出功率:500W;输出电压:0~800V可调 数量:2套 (其中一台直流电源一拖二,切换使用)7、水路系统SUS304不锈钢水排,保障循环供水到每个水冷部件;每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态,执行异常报警。8、软件及其功能(配套控制软件)★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权,成品软件应具有一键式操作功能,并配置多种标准工艺参数包,可以直接调取执行;2、应具有自选参数功能,可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数,系统自动开始抽真空,达到目标真空度后开始加热,达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源,溅射时间以设定的工作参数为准;▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值,实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制,进而实现多靶轮流溅射和共溅射;★4、完备的工艺菜单编辑功能,大容量菜单存储空间,满足客户菜单存储需求(大于500个);5、具有操作日志记录功能,记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容,投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套(设备的详细参数见附件)","important":true}] | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
2 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
品牌 | 矩阵科技 | ||
型号 | RS-B400 Series | ||
规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢,材料致密放气量小;前开门结构,有观察窗和挡板,磁控靶安装在下底盘,样品台在上顶板,腔室带防污内衬,可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1)极限真空度:优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后)2)恢复真空:从大气抽至6×10-4Pa≤40min(充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气)3)真空室漏率:关机12小时真空度≤5Pa。(新设备空载)★4)系统真空检漏漏率:小于5.0×10-10Pa·m3/s;内外表面电 (略) 理。3、样品台1)样品台:抽屉式结构可装载最大4英寸基片托(方片尺寸100mm×100mm)可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2)样品台旋转:转速0~30rpm连续可调;步进电机控制,转动平稳。3)工转机构:采用上驱动,中心悬挂方式,磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置,避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩,使基片受热均匀。4)样品台加热:采用数字温控仪,进口电阻合金进行加热,加热炉温度:室温~600℃,由热电偶闭环反馈控制,可控可调。控温精度±1℃,可分段设定升温斜率。 (略) 内,温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件,其中2个靶位可溅射磁性材料(如镍或铁等)。 5、 (略) 1)3路质量流量计 (略) ,可外接多种气体,其中Ar:500sccm、O2:50sccm、N2:100sccm 精度±1%,2)前端带电磁截止阀和过滤器,后端配有混气室;6、溅射电源1)射频电源:功率500W,频率13.56MHz,全自动匹配; 数量:1套2)直流溅射电源:最大输出功率:500W;输出电压:0~800V可调 数量:2套 (其中一台直流电源一拖二,切换使用)7、水路系统SUS304不锈钢水排,保障循环供水到每个水冷部件;每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态,执行异常报警。8、软件及其功能(配套控制软件)★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权,成品软件应具有一键式操作功能,并配置多种标准工艺参数包,可以直接调取执行;2、应具有自选参数功能,可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数,系统自动开始抽真空,达到目标真空度后开始加热,达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源,溅射时间以设定的工作参数为准;▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值,实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制,进而实现多靶轮流溅射和共溅射;★4、完备的工艺菜单编辑功能,大容量菜单存储空间,满足客户菜单存储需求(大于500个);5、具有操作日志记录功能,记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容,投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制,可自动控制整机运行,全功能防错操作系统,电气部分均为国际品牌,保证机器工作稳定,寿命长久。全钛管式水箱蒸发器,防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器,能精确控制水温±1℃,按键式操作,安装简便,静电喷塑外壳,欧化设计,美观大方,外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套(设备的详细参数见附件)","important":true}] | ||
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