深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB#
申购主题:高精度光刻机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:#.0
签约时间:
送货时间:签订合同后7天内送货
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高精度光刻机 | 1.0 | 套#.0 |
| 品牌 | XL 兴林真空 | ||
| 型号 | C-25XB型 | ||
| 规格参数 | 1. 该光刻系统需满足制作IV-VI族半导体光电探测器的光刻工艺需求。2. 有四种版夹盘,能真空吸附5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩板。对版的厚度无特殊要求（1～4mm皆可）。3. 设有相对应的真空吸附基片的“承片台”三个，分别适用于φ2、φ3、φ4。对于非标准片或碎片，只要堵塞相应的小孔，同样能真空吸附。真空度范围-0.07～－0.08MPa。4. 曝光不均匀性≤3%。5.曝光分辨率≤0.8μm。6.套刻精度≤0.8μm。7. (略) 使用254nm的紫外光作为光源。8.电机转速稳定度：±1%，电机定时精度：±20PPM。 | ||
| 质保及售后服务 | 最终交付产品需原厂提供技术支持、安装及售后服务。设备在全部验收合格后保质期#年 | ||
申购单号:CB#
申购主题:高精度光刻机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:#.0
签约时间:
送货时间:签订合同后7天内送货
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高精度光刻机 | 1.0 | 套#.0 |
| 品牌 | XL 兴林真空 | ||
| 型号 | C-25XB型 | ||
| 规格参数 | 1. 该光刻系统需满足制作IV-VI族半导体光电探测器的光刻工艺需求。2. 有四种版夹盘,能真空吸附5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩板。对版的厚度无特殊要求（1～4mm皆可）。3. 设有相对应的真空吸附基片的“承片台”三个，分别适用于φ2、φ3、φ4。对于非标准片或碎片，只要堵塞相应的小孔，同样能真空吸附。真空度范围-0.07～－0.08MPa。4. 曝光不均匀性≤3%。5.曝光分辨率≤0.8μm。6.套刻精度≤0.8μm。7. (略) 使用254nm的紫外光作为光源。8.电机转速稳定度：±1%，电机定时精度：±20PPM。 | ||
| 质保及售后服务 | 最终交付产品需原厂提供技术支持、安装及售后服务。设备在全部验收合格后保质期#年 | ||
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