原子层沉积系统

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原子层沉积系统

| 项目概况
采购类型 采购
项目编号 中大招（货）[2024]349号
项目名称 中山大学电子与 (略) （ (略) ）原子层沉积系统采购项目
申购主题 原子层沉积系统
项目类型 货物采购 项目预算
最高限价（元） *
报名及响应开始时间 2024-10-24 11:52 报名及响应结束时间 2024-11-01 09:00
采购单位 中山大学
经办人 郑老师 经办人电话 020-*
期望收货时间 合同签订后70天交货
是否送货 是 送货地址 (略) (略) 大学城中山大学
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。
| 采购明细
1采购设备 原子层沉积系统
数量 1台
参考品牌
技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明
1 1.1 主机系统：4英寸样品腔体 重要 否 否
2 1.2 主机系统：样品台加热温度室温至400℃可控，控制精度小于等于±1℃ 重要 否 否
3 1.3 主机系统：4路液源 重要 否 否
4 1.4 主机系统：设备本底真空小于等于3 Pa；设备漏率小于等于 5×10^ -10 Pa·m^3/s； 重要 否 否
5 2.1 前驱体源输送系统：配置常温源 1 路，加热源 3 路； 重要 否 否
6 2.2 前驱体源输送系统：金属前驱体 (略) 均包裹在加热套中，最高加热温度大于等于250℃。配置温度传感器，温度控制精度满足小于等于±1℃； 重要 否 否
7 ▲2.3 前驱体源输送系统： (略) 配备ALD专用阀门，为三孔 ALD 阀门，响应时间小于5 ms； 阀体内置直径为 1/8 英寸加热器，外包定制柔性保护套，最高加热温度大于等于200℃，温度控制精度小于等于±1℃； 非常重要 否 是
8 2.4 前驱体源输送系统：所 (略) (略) 采用金属 VCR 密封； (略) 采用 N2 或者 Ar 气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数 重要 否 否
9 3.1 臭氧源系统 ：配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器； 重要 否 否
10 ▲3.2 臭氧源系统 ：臭氧发生器产量大于等于 10 g/h，浓度大于等于 80 g/m ^3； 非常重要 否 是
11 3.3 臭氧源系统 ：臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于 * mm 重要 否 否
12 4.1 真空系统 ：真空泵采用机械泵，抽速大于等于 10m^3 /h 重要 否 否
13 ▲4.2 真空系统 ：真空测量：配备压力传感器，检测范围：510^ -4 ~1000 mbar； 非常重要 否 是
14 4.3 真空系统 ：真空抽气管道烘烤大于等于150 ℃，配置真空泵前级配置热阱，温度范围大于300℃，控制精度±1℃。 重要 否 否
15 ▲5. 验收指标 热型沉积：金属源为三*基铝（纯度99.999%），氧源为水（18兆欧超纯水），沉积温度200 ℃，在 4 英寸晶圆上沉积 500 cycle 氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心 5 点，边缘 5mm 除外）进行椭偏仪测试膜厚，4 英寸晶圆上薄膜不均匀性≤1%。 非常重要 否 否
16 6. 1配置清单：1 套热型原子层沉积设备主机；1 套 4 寸反应腔；1 套常 (略) ；3 套 (略) ；1 套臭氧源系统；1 套用于吸附残留前驱体源的热阱；1 套机械泵；1 套备品备件； 重要 否 否
17 7. 保修范围：整台仪器软件终身免费升级.供应商需要提供相应的仪器使用规范，仪器使用操作步骤和紧急制动设施等，同时提供合理的售后服务，包括及时的仪器维修服务、咨询服务、内部器件购买和更换服务，由于本仪器主要用于科研研究，售后服务必须完善。 重要 否 否
18 8. 软件及其功能： 1. 可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有 ALD 阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能； 2. 系统设有高级界面，可进行温度 PID 参数自整定、前驱体标签修改等； 3. 系统可实时显示加热状态、阀门开关状态、压力曲线、镀膜进度等； 4. 系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态等，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 重要 否 否
19 9. 其他技术指标要求：设备生产过程符合ISO900 (略) 体系认证要求 重要 否 是
| 资质要求
序号 要求名称 条件类型 要求内容 是否需要附件说明
1 第1条资质参数 符合性参数 上传营业执照(副本原件扫描件)
 是
2 第2条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）
 是
3 第3条资质参数 符合性参数 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）
 是
4 第4条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）
 是
| 商务要求
序号 要求名称 要求内容 是否需要附件说明
1 免费保修年限 1年
2年
3年
4年及以上
 是
2 合同履约 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。
 否
3 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）
厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）
其他授权销售方式
 是

| 项目概况
采购类型 采购
项目编号 中大招（货）[2024]349号
项目名称 中山大学电子与 (略) （ (略) ）原子层沉积系统采购项目
申购主题 原子层沉积系统
项目类型 货物采购 项目预算
最高限价（元） *
报名及响应开始时间 2024-10-24 11:52 报名及响应结束时间 2024-11-01 09:00
采购单位 中山大学
经办人 郑老师 经办人电话 020-*
期望收货时间 合同签订后70天交货
是否送货 是 送货地址 (略) (略) 大学城中山大学
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。
| 采购明细
1采购设备 原子层沉积系统
数量 1台
参考品牌
技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明
1 1.1 主机系统：4英寸样品腔体 重要 否 否
2 1.2 主机系统：样品台加热温度室温至400℃可控，控制精度小于等于±1℃ 重要 否 否
3 1.3 主机系统：4路液源 重要 否 否
4 1.4 主机系统：设备本底真空小于等于3 Pa；设备漏率小于等于 5×10^ -10 Pa·m^3/s； 重要 否 否
5 2.1 前驱体源输送系统：配置常温源 1 路，加热源 3 路； 重要 否 否
6 2.2 前驱体源输送系统：金属前驱体 (略) 均包裹在加热套中，最高加热温度大于等于250℃。配置温度传感器，温度控制精度满足小于等于±1℃； 重要 否 否
7 ▲2.3 前驱体源输送系统： (略) 配备ALD专用阀门，为三孔 ALD 阀门，响应时间小于5 ms； 阀体内置直径为 1/8 英寸加热器，外包定制柔性保护套，最高加热温度大于等于200℃，温度控制精度小于等于±1℃； 非常重要 否 是
8 2.4 前驱体源输送系统：所 (略) (略) 采用金属 VCR 密封； (略) 采用 N2 或者 Ar 气体，通过质量流量控制器控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数 重要 否 否
9 3.1 臭氧源系统 ：配备臭氧发生器、臭氧破坏器、控制臭氧的质量流量控制器； 重要 否 否
10 ▲3.2 臭氧源系统 ：臭氧发生器产量大于等于 10 g/h，浓度大于等于 80 g/m ^3； 非常重要 否 是
11 3.3 臭氧源系统 ：臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于 * mm 重要 否 否
12 4.1 真空系统 ：真空泵采用机械泵，抽速大于等于 10m^3 /h 重要 否 否
13 ▲4.2 真空系统 ：真空测量：配备压力传感器，检测范围：510^ -4 ~1000 mbar； 非常重要 否 是
14 4.3 真空系统 ：真空抽气管道烘烤大于等于150 ℃，配置真空泵前级配置热阱，温度范围大于300℃，控制精度±1℃。 重要 否 否
15 ▲5. 验收指标 热型沉积：金属源为三*基铝（纯度99.999%），氧源为水（18兆欧超纯水），沉积温度200 ℃，在 4 英寸晶圆上沉积 500 cycle 氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心 5 点，边缘 5mm 除外）进行椭偏仪测试膜厚，4 英寸晶圆上薄膜不均匀性≤1%。 非常重要 否 否
16 6. 1配置清单：1 套热型原子层沉积设备主机；1 套 4 寸反应腔；1 套常 (略) ；3 套 (略) ；1 套臭氧源系统；1 套用于吸附残留前驱体源的热阱；1 套机械泵；1 套备品备件； 重要 否 否
17 7. 保修范围：整台仪器软件终身免费升级.供应商需要提供相应的仪器使用规范，仪器使用操作步骤和紧急制动设施等，同时提供合理的售后服务，包括及时的仪器维修服务、咨询服务、内部器件购买和更换服务，由于本仪器主要用于科研研究，售后服务必须完善。 重要 否 否
18 8. 软件及其功能： 1. 可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有 ALD 阀门具备自动排空功能，所有管线具备自动清洗功能； 2. 系统设有高级界面，可进行温度 PID 参数自整定、前驱体标签修改等； 3. 系统可实时显示加热状态、阀门开关状态、压力曲线、镀膜进度等； 4. 系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态等，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 重要 否 否
19 9. 其他技术指标要求：设备生产过程符合ISO900 (略) 体系认证要求 重要 否 是
| 资质要求
序号 要求名称 条件类型 要求内容 是否需要附件说明
1 第1条资质参数 符合性参数 上传营业执照(副本原件扫描件)
 是
2 第2条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）
 是
3 第3条资质参数 符合性参数 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）
 是
4 第4条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）
 是
| 商务要求
序号 要求名称 要求内容 是否需要附件说明
1 免费保修年限 1年
2年
3年
4年及以上
 是
2 合同履约 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。
 否
3 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）
厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）
其他授权销售方式
 是

    
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