东南大学-竞价公告
东南大学-竞价公告
申购单号:CB(略)
申购主题:有机-金属真空热蒸镀仪采购
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:数电发票(增值税专用发票)
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后70天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:江苏省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的100%。
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 有机-金属真空热蒸镀仪 | 1.0 | 台 |
品牌 | 苏州方昇 | ||
型号 | * | ||
规格参数 | 设备技术参数1样品架系统▲1.1标准的样品盘可以容纳100X100mm的基片。1.2基片盘可旋转,采用伺服电机驱动,旋转速度0-30转/分可调;1.3掩膜板到基片的距离小于0.2mm.2蒸发源▲2.1至少有4组蒸发源,可兼容蒸镀金属和有机材料;2.2源与源之间配备隔板,可有效隔绝一定的温度,并避免源与源之间相互污染;2.3配1套蒸发电源,功率1.4KW以上,采用进口知名品牌,用于蒸发金属和有机材料,可切换到20组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率;2.3金属蒸发源均带有水冷功能。3膜厚测量系统3.1采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚,采用进口知名品牌,可以实时测量蒸发的速度和厚度;3.2膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S,厚度精度优于1A;频率分辨率0.01Hz,可以PC机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。4蒸发腔体4.1腔体采用SUS304不锈钢制作,其内部尺寸≥300×300×530mm;4.2腔体为方形,有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理;4.3腔体内表面采用电 (略) 理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉丝抛光,表面精糙度小于等于0.8;整体要求美观,无擦伤及划痕;4.4腔体漏率:整体漏率优于5×10-10 Pa.m3/S,保压12小时,压强小于10Pa;5、蒸镀软件控制系统5.1采用PLC+PC机控制模式;5.2真空系统通过工控机控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止,软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈,确保设备的安全 | ||
质保及售后服务 | 质保及售后服务:货物的免费保修期为1年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。 |
申购单号:CB(略)
申购主题:有机-金属真空热蒸镀仪采购
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:数电发票(增值税专用发票)
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后70天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:江苏省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的100%。
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 有机-金属真空热蒸镀仪 | 1.0 | 台 |
品牌 | 苏州方昇 | ||
型号 | * | ||
规格参数 | 设备技术参数1样品架系统▲1.1标准的样品盘可以容纳100X100mm的基片。1.2基片盘可旋转,采用伺服电机驱动,旋转速度0-30转/分可调;1.3掩膜板到基片的距离小于0.2mm.2蒸发源▲2.1至少有4组蒸发源,可兼容蒸镀金属和有机材料;2.2源与源之间配备隔板,可有效隔绝一定的温度,并避免源与源之间相互污染;2.3配1套蒸发电源,功率1.4KW以上,采用进口知名品牌,用于蒸发金属和有机材料,可切换到20组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率;2.3金属蒸发源均带有水冷功能。3膜厚测量系统3.1采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚,采用进口知名品牌,可以实时测量蒸发的速度和厚度;3.2膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S,厚度精度优于1A;频率分辨率0.01Hz,可以PC机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。4蒸发腔体4.1腔体采用SUS304不锈钢制作,其内部尺寸≥300×300×530mm;4.2腔体为方形,有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理;4.3腔体内表面采用电 (略) 理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉丝抛光,表面精糙度小于等于0.8;整体要求美观,无擦伤及划痕;4.4腔体漏率:整体漏率优于5×10-10 Pa.m3/S,保压12小时,压强小于10Pa;5、蒸镀软件控制系统5.1采用PLC+PC机控制模式;5.2真空系统通过工控机控制机械泵、气动阀、闸板阀、分子泵的启动和停止,软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈,确保设备的安全 | ||
质保及售后服务 | 质保及售后服务:货物的免费保修期为1年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。 |
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