深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB(略)
申购主题:光刻胶的旋涂与烘烤
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:
送货时间:12月
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省-- (略) -- (略) --深圳大 (略) (略) 负一楼光电中心/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 匀胶旋涂仪 | 1.0 | 武 (略) (略).0 |
| 品牌 | Laurell | ||
| 型号 | WS-650Mz-23NPPB | ||
| 规格参数 | 1、系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4 通信接口，蓝牙连接2、处理腔体2.1 处理腔体内径不小于220毫米；2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚(略)烯材质；3、旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm，3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4、控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；5、配套无油真空泵：真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)； | ||
| 质保及售后服务 | 一年质保 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 加热板 | 2.0 | 武 (略) 5000.0 |
| 品牌 | AS ONE | ||
| 型号 | NDK-1A-I | ||
| 规格参数 | 6、加热模块：6.1 最高温度：350℃；6.2 平板尺寸：170×170mm；6.3 温度设定范围：室温+10～350℃；6.4 温度控制方式：微机PID控制方式；6.5 温度显示方式：LCD数字显示；6.6 定时器功能：设定范围/1分～99时59分（1分钟单位）；6.7 程序功能：步骤数/最大8步骤，重复次数／最大9999次； | ||
| 质保及售后服务 | 一年质保 | ||
申购单号:CB(略)
申购主题:光刻胶的旋涂与烘烤
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:
送货时间:12月
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省-- (略) -- (略) --深圳大 (略) (略) 负一楼光电中心/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 匀胶旋涂仪 | 1.0 | 武 (略) (略).0 |
| 品牌 | Laurell | ||
| 型号 | WS-650Mz-23NPPB | ||
| 规格参数 | 1、系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4 通信接口，蓝牙连接2、处理腔体2.1 处理腔体内径不小于220毫米；2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚(略)烯材质；3、旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm，3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4、控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；5、配套无油真空泵：真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)； | ||
| 质保及售后服务 | 一年质保 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 加热板 | 2.0 | 武 (略) 5000.0 |
| 品牌 | AS ONE | ||
| 型号 | NDK-1A-I | ||
| 规格参数 | 6、加热模块：6.1 最高温度：350℃；6.2 平板尺寸：170×170mm；6.3 温度设定范围：室温+10～350℃；6.4 温度控制方式：微机PID控制方式；6.5 温度显示方式：LCD数字显示；6.6 定时器功能：设定范围/1分～99时59分（1分钟单位）；6.7 程序功能：步骤数/最大8步骤，重复次数／最大9999次； | ||
| 质保及售后服务 | 一年质保 | ||
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