全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机采购

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全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机采购



全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机（XF-WSBX-2400569）采购公告
发布时间：2024-11-11 10:31:45阅读量：24 次

项目名称全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-11-11 10:31:45公告截止日期2024-11-18 11:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求成交后30个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址 (略) (略) (略) 866号浙江大学紫金港开物苑3-317
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
全自动一体式磁控溅射镀膜机1台电气物理设备

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求溅射室极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室35分钟可达到6.6x10-4 Pa；系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；3套60mm高性能永磁共焦磁控溅射靶；最大直径100mm样品；系统配有2台国产数字式500w直流电源和1台500w全自动匹配射频电源国产电源,1台国产数字式-1000V直流脉冲偏压电源；4路国产流量计MFC控制进气系统（Ar、N2、O2、CH4），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM、50SCCM；膜厚均匀性（200nm厚±5%）；加热温度：室温—600°C；基片公转由调速电机驱动，转动速度0—30转/分连续可调；磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-11-11 10:31:45







全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机（XF-WSBX-2400569）采购公告
发布时间：2024-11-11 10:31:45阅读量：24 次

项目名称全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-11-11 10:31:45公告截止日期2024-11-18 11:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求成交后30个工作日内
预算总价￥ *.00
发票要求增值税普通发票
收货地址 (略) (略) (略) 866号浙江大学紫金港开物苑3-317
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
全自动一体式磁控溅射镀膜机1台电气物理设备

预算单价￥ *.00
技术参数及配置要求溅射室极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室35分钟可达到6.6x10-4 Pa；系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；3套60mm高性能永磁共焦磁控溅射靶；最大直径100mm样品；系统配有2台国产数字式500w直流电源和1台500w全自动匹配射频电源国产电源,1台国产数字式-1000V直流脉冲偏压电源；4路国产流量计MFC控制进气系统（Ar、N2、O2、CH4），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM、50SCCM；膜厚均匀性（200nm厚±5%）；加热温度：室温—600°C；基片公转由调速电机驱动，转动速度0—30转/分连续可调；磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm
售后服务 (略) 点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-11-11 10:31:45





    
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