1、极限真空度：空载冷态5x10-5Pa；对空气抽速：110L/S；2、冷却方式：水冷或风冷；3、供电方式：220V，16A。4、主要配置：机架：可移动式机架一套，控制电源盒一套，真空计托盘一套。分子泵 ：中科科仪FF-100/110分子泵及分子泵控制器一套，LF口或CF口；机械泵：RV-4机械泵（油润滑），抽速4L/S真空计：中科科仪ZDF-11B5型复合真空计（含电阻规，金属电离规），测量范围：1x105Pa~1x10-5 Pa；过渡腔：不锈钢，预留KF25口,以上所有硬件，全部集成安装在可移动小车上，组成一套真空机组。 

1、极限真空度：空载冷态5x10-5Pa；对空气抽速：110L/S；2、冷却方式：水冷或风冷；3、供电方式：220V，16A。4、主要配置：机架：可移动式机架一套，控制电源盒一套，真空计托盘一套。分子泵 ：中科科仪FF-100/110分子泵及分子泵控制器一套，LF口或CF口；机械泵：RV-4机械泵（油润滑），抽速4L/S真空计：中科科仪ZDF-11B5型复合真空计（含电阻规，金属电离规），测量范围：1x105Pa~1x10-5 Pa；过渡腔：不锈钢，预留KF25口,以上所有硬件，全部集成安装在可移动小车上，组成一套真空机组。