三温区低压化学气相沉积系统采购
三温区低压化学气相沉积系统采购
项目名称 | (略) 低压化学气相沉积系统 | 项目编号 | JJ(略) |
---|---|---|---|
公告开始日期 | 2024-11-13 14:31:52 | 公告截止日期 | 2024-11-18 16:00:00 |
采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 | |
预算总价 | ¥ (略).00 | ||
发票要求 | 增值税专用发票 | ||
收货地址 | 老校部104 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
---|---|---|---|
(略) 低压化学气相沉积系统 | 1 | 台 | 其他专用仪器仪表 |
品牌 | 贝意克 |
---|---|
型号 | BTF-1200C-III-SL |
预算单价 | ¥ (略).00 |
技术参数及配置要求 | 1、 (略) CVD系统 (略) 滑轨炉、四路供气系统和低真空机组构成 1. (略) 滑轨炉一套 1.1.1额定功率:6KW 1.1.2额定电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz 1.1.3最高温度:1200℃(1 hour) 1.1.4持续工作温度:≤1100℃ 1.1.5推荐升温速率:≤30℃/min 1.1.6炉管尺寸:Φ100mm*1850mm 1.1. (略) 长度:200+200+200mm 1.1. (略) 长度:350mm 1.1.9滑动方式:手动式(手动自由移动炉体) 1.1.10控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 1.1.11控温精度:±1℃ 1.1.12标准配件: 石英管1支,莫来石管堵1对,不锈钢横向卡箍法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支 1.1.13所有法兰和管道材质为316L不锈钢 1.1.14密封系统:炉管两端配有金属密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)端口可按实际使用扩展。 1.2 四路供气系统一套 1.2.1工作电压:185~245V,50 Hz 1.2.2最大输出功率:18W 1.2.3流量计标准量程:HCl用500ml的,O2用300ml,N2用20L(非特殊指定以氮气标定,量程可选),NH(略)ml。 1.2.4工作温度:4~45℃ 1.2.5工作压差:0.1~0.5Mpa 1.2.6最大压力:3Mpa 1.2.7准确度:±1.5%F.S 1.2.8压力表测量范围:0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 1.2.9针阀:316不锈钢 1.2.10混气罐:Φ80*120mm 1.2.11截止阀:Φ6mm 1.3低真空机组一套 1.3.1空气相对湿度≤85% 1.3.2工作电电压:220V±10% 50~60HZ 1.3.3功率:≤1千瓦 1.3.4抽气速率:≥10m3/h 1.3.5真空度(冷态空载):≤0.5Pa 1.3.6容油量:≥1.1L 1.3.7进气口口径:KF25 1.3.8排气口口径:KF25 1.3.9转速:≥1450rpm 1.3.10噪音:≤50dB 1.3.11真空计配用规管:ZJ-52T电阻规, 1.3.12真空计测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa, 1.3.13真 (略) 数: 1路 1.3.14真空计控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 1.3.15真空计控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载, 1.3.16真空计电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 1.3.18真空计功耗: ≥20W 二、质保期 炉体质保1年,货到工程师上门安装调试培训,所有设备每年免费检修一次 |
东北大学
2024-11-13 14:31:52
项目名称 | (略) 低压化学气相沉积系统 | 项目编号 | JJ(略) |
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公告开始日期 | 2024-11-13 14:31:52 | 公告截止日期 | 2024-11-18 16:00:00 |
采购单位 | 东北大学 | 付款方式 | |
联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 | |
预算总价 | ¥ (略).00 | ||
发票要求 | 增值税专用发票 | ||
收货地址 | 老校部104 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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(略) 低压化学气相沉积系统 | 1 | 台 | 其他专用仪器仪表 |
品牌 | 贝意克 |
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型号 | BTF-1200C-III-SL |
预算单价 | ¥ (略).00 |
技术参数及配置要求 | 1、 (略) CVD系统 (略) 滑轨炉、四路供气系统和低真空机组构成 1. (略) 滑轨炉一套 1.1.1额定功率:6KW 1.1.2额定电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz 1.1.3最高温度:1200℃(1 hour) 1.1.4持续工作温度:≤1100℃ 1.1.5推荐升温速率:≤30℃/min 1.1.6炉管尺寸:Φ100mm*1850mm 1.1. (略) 长度:200+200+200mm 1.1. (略) 长度:350mm 1.1.9滑动方式:手动式(手动自由移动炉体) 1.1.10控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 1.1.11控温精度:±1℃ 1.1.12标准配件: 石英管1支,莫来石管堵1对,不锈钢横向卡箍法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支 1.1.13所有法兰和管道材质为316L不锈钢 1.1.14密封系统:炉管两端配有金属密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)端口可按实际使用扩展。 1.2 四路供气系统一套 1.2.1工作电压:185~245V,50 Hz 1.2.2最大输出功率:18W 1.2.3流量计标准量程:HCl用500ml的,O2用300ml,N2用20L(非特殊指定以氮气标定,量程可选),NH(略)ml。 1.2.4工作温度:4~45℃ 1.2.5工作压差:0.1~0.5Mpa 1.2.6最大压力:3Mpa 1.2.7准确度:±1.5%F.S 1.2.8压力表测量范围:0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 1.2.9针阀:316不锈钢 1.2.10混气罐:Φ80*120mm 1.2.11截止阀:Φ6mm 1.3低真空机组一套 1.3.1空气相对湿度≤85% 1.3.2工作电电压:220V±10% 50~60HZ 1.3.3功率:≤1千瓦 1.3.4抽气速率:≥10m3/h 1.3.5真空度(冷态空载):≤0.5Pa 1.3.6容油量:≥1.1L 1.3.7进气口口径:KF25 1.3.8排气口口径:KF25 1.3.9转速:≥1450rpm 1.3.10噪音:≤50dB 1.3.11真空计配用规管:ZJ-52T电阻规, 1.3.12真空计测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa, 1.3.13真 (略) 数: 1路 1.3.14真空计控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 1.3.15真空计控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载, 1.3.16真空计电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 1.3.18真空计功耗: ≥20W 二、质保期 炉体质保1年,货到工程师上门安装调试培训,所有设备每年免费检修一次 |
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