雾化学气相外延系统采购

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雾化学气相外延系统采购


雾化学气相外延系统（JJ24001046）采购公告
发布时间：2024-11-13 14:23:55阅读量：11 次

项目名称雾化学气相外延系统项目编号JJ#
公告开始日期2024-11-13 14:23:55公告截止日期2024-11-18 16:00:00
采购单位东北大学付款方式
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签约后30个工作日内
预算总价￥ #.00
发票要求增值税专用发票
收货地址老校部104
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
雾化学气相外延系统1台其他专用仪器仪表

品牌科晶
型号OTF-1200X-MCVD- φ100
预算单价￥ #.00
技术参数及配置要求系统主要是由管式炉、雾化装置、供气系统等组成。该设备可将溶于液体的物料通过超声雾化装置雾化输送至炉管腔室内，供气系统创建腔室内部气氛环境，通过将溶剂直接沉积在加热的基材上，使表面的热解反应形成产物薄膜。
一、技术参数
1、系统结构
1.1雾化装置：配有 1.7MHz超声雾化仪，可将液体雾化成液体颗粒，导入到管式炉中。
1.2加热部分 (管式炉) ：管式炉最高温度可以达到 1200℃。
1.3供气系统：四路质量流量供气系统。
2、技术参数
2.1管式炉-加热部分
2.1.1电压：单相, 220VAC,50/60 Hz
2.1.2最大功率：3KW
2.1.3连续工作温度：1100℃
2.1.4最高工作温度：1200℃ (＜1h)
2.1.5升温速率≤ 10℃/min
2.1.6加热元件：掺钼铁铬铝合金，表面涂有氧化锆涂层
2.1. (略) 长度：400mm
2.1.8可设置 升降温程序≥30 段，并带有过热和断偶保护
2.1.9控温精度为：±1oC
2.1.10采用高纯石英管
2.1.11石英管尺寸：Φ100*1000mm
2.1.12左端配置有一个 KF系列316快接法兰，与雾化装置相连接，并通过三通连接有一个机械真空压力表
2.1.13左端进气口316法兰通过一个直径φ25mm的石英管通入加热炉内部
2.1.14右端配置有一个 KF系列的316快接法兰，与真空系统相连
2.1.15石英管内配置有一个斜的石英舟，用于放置客户的基片样品
2.2超声雾化装置
2.2.1共配置有 1 个雾化装置
2.2.2 220VAC，1.7MHz超声雾化仪
2.2.3液体罐标配为 316 不锈钢材质，并采用氟胶密封圈密封；起雾源系统中雾化罐体采用PEEK材 (略) 导管采用聚四氟#烯材料
2.2.4可设置1-3档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少
2.2.5可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从 30 分钟到 180分钟可调
2. (略) 质量流量供气系统
2.3. (略) 气体通过四个流量计，流量计 1 、3 混合后的气体通入雾化装置作为雾化载气；载气为氮气或空气，氮气量程≤1L/min，空气量程≤1L/min
2.3.2流量计 2 、4 混合后的气体作为稀释气体通过一个三通直接通入炉管。稀释气体为氧气，量程500mL/min；反应气体为NH3，量程1000ml/min
2.3.3流量计量程：1000sccm,1000sccm，1000sccm，500sccm
2.3.4工作电压：AC 220V/50HZ
2.3.5工作温度：5-45℃
2.3.6工作压强：3 × 106Pa
2.3.7最大输出功率：23W
2.3.8精度： ±1.5%F.S
2.3.9线性： ±(0.5~1.5)%F.S.
2.3.10重复精度： ±0.2%F.S.
2.3.11 响应时间：气特性：1~4 Sec，电特性：10 Sec
2.3.12工作压差范围：0. 1~0.5 MPa
2.4系统泄漏率：＜1*10-7Pa*m3/s
二、质保期
一年质保，终身维护 (不包含炉管，密封圈和加热元件)

东北大学

2024-11-13 14:23:55


雾化学气相外延系统（JJ24001046）采购公告
发布时间：2024-11-13 14:23:55阅读量：11 次

项目名称雾化学气相外延系统项目编号JJ#
公告开始日期2024-11-13 14:23:55公告截止日期2024-11-18 16:00:00
采购单位东北大学付款方式
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求签约后30个工作日内
预算总价￥ #.00
发票要求增值税专用发票
收货地址老校部104
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
雾化学气相外延系统1台其他专用仪器仪表

品牌科晶
型号OTF-1200X-MCVD- φ100
预算单价￥ #.00
技术参数及配置要求系统主要是由管式炉、雾化装置、供气系统等组成。该设备可将溶于液体的物料通过超声雾化装置雾化输送至炉管腔室内，供气系统创建腔室内部气氛环境，通过将溶剂直接沉积在加热的基材上，使表面的热解反应形成产物薄膜。
一、技术参数
1、系统结构
1.1雾化装置：配有 1.7MHz超声雾化仪，可将液体雾化成液体颗粒，导入到管式炉中。
1.2加热部分 (管式炉) ：管式炉最高温度可以达到 1200℃。
1.3供气系统：四路质量流量供气系统。
2、技术参数
2.1管式炉-加热部分
2.1.1电压：单相, 220VAC,50/60 Hz
2.1.2最大功率：3KW
2.1.3连续工作温度：1100℃
2.1.4最高工作温度：1200℃ (＜1h)
2.1.5升温速率≤ 10℃/min
2.1.6加热元件：掺钼铁铬铝合金，表面涂有氧化锆涂层
2.1. (略) 长度：400mm
2.1.8可设置 升降温程序≥30 段，并带有过热和断偶保护
2.1.9控温精度为：±1oC
2.1.10采用高纯石英管
2.1.11石英管尺寸：Φ100*1000mm
2.1.12左端配置有一个 KF系列316快接法兰，与雾化装置相连接，并通过三通连接有一个机械真空压力表
2.1.13左端进气口316法兰通过一个直径φ25mm的石英管通入加热炉内部
2.1.14右端配置有一个 KF系列的316快接法兰，与真空系统相连
2.1.15石英管内配置有一个斜的石英舟，用于放置客户的基片样品
2.2超声雾化装置
2.2.1共配置有 1 个雾化装置
2.2.2 220VAC，1.7MHz超声雾化仪
2.2.3液体罐标配为 316 不锈钢材质，并采用氟胶密封圈密封；起雾源系统中雾化罐体采用PEEK材 (略) 导管采用聚四氟#烯材料
2.2.4可设置1-3档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少
2.2.5可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从 30 分钟到 180分钟可调
2. (略) 质量流量供气系统
2.3. (略) 气体通过四个流量计，流量计 1 、3 混合后的气体通入雾化装置作为雾化载气；载气为氮气或空气，氮气量程≤1L/min，空气量程≤1L/min
2.3.2流量计 2 、4 混合后的气体作为稀释气体通过一个三通直接通入炉管。稀释气体为氧气，量程500mL/min；反应气体为NH3，量程1000ml/min
2.3.3流量计量程：1000sccm,1000sccm，1000sccm，500sccm
2.3.4工作电压：AC 220V/50HZ
2.3.5工作温度：5-45℃
2.3.6工作压强：3 × 106Pa
2.3.7最大输出功率：23W
2.3.8精度： ±1.5%F.S
2.3.9线性： ±(0.5~1.5)%F.S.
2.3.10重复精度： ±0.2%F.S.
2.3.11 响应时间：气特性：1~4 Sec，电特性：10 Sec
2.3.12工作压差范围：0. 1~0.5 MPa
2.4系统泄漏率：＜1*10-7Pa*m3/s
二、质保期
一年质保，终身维护 (不包含炉管，密封圈和加热元件)

东北大学

2024-11-13 14:23:55

    
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