深圳大学-竞价公告
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深圳大学-竞价公告
申购单号:CB*
申购主题:高真空磁控溅射镀膜机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:
送货时间:合同签订后 10 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空磁控溅射镀膜机 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 智诚 | ||
| 型号 | ZC-2B | ||
| 规格参数 | 1、溅射室极限真空度：≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后)2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S3、系统从大气开始抽气：腔室30分钟可达到8.0x10-4?Pa(空载）氮气4、系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa5、样品台：最大装载样品3英寸，也可在3英寸范围内分割成若干个小样片7、基片公转由调速电机驱动，0-35转/分，连续可调8、磁控溅射靶要求溅射靶角度可调，永磁间接水冷式，支持直流、射频电源溅射；靶角度、高度可调，靶基距调整范围60-110mm，从腔室两侧进入满足立体样品6个面镀膜9、真空室为方形腔体1套，前后开门结构，腔体尺寸：约Φ510(mm)×L500×500（mm），真空腔能和1200+双小腔手套箱配合使用10、样品可旋转：电动旋转，转速：0-35rpm，转速在线可调。可升降：电动升降，升降范围：±25mm11、低噪音机械泵：8L/S12、复合分子泵：620L/S13、插板阀（电动）：CF-*、数显复合真空计（一低一高）;15、磁控溅射靶尺寸：3英寸2只16、射频溅射电源：500W2台17、质量流量控制器：2只（氩气和氢气）18、照明系统：1套。19、水冷却循环系统：1 台20、智能数显水冷机：1 台 制冷量：2.85KW（1P）21、PLC+10寸触屏控制系统：1套 | ||
| 质保及售后服务 | 现场安装、调试、用户培训保修期一年 | ||
申购单号:CB*
申购主题:高真空磁控溅射镀膜机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:
送货时间:合同签订后 10 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/ (略) / (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空磁控溅射镀膜机 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 智诚 | ||
| 型号 | ZC-2B | ||
| 规格参数 | 1、溅射室极限真空度：≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后)2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S3、系统从大气开始抽气：腔室30分钟可达到8.0x10-4?Pa(空载）氮气4、系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa5、样品台：最大装载样品3英寸，也可在3英寸范围内分割成若干个小样片7、基片公转由调速电机驱动，0-35转/分，连续可调8、磁控溅射靶要求溅射靶角度可调，永磁间接水冷式，支持直流、射频电源溅射；靶角度、高度可调，靶基距调整范围60-110mm，从腔室两侧进入满足立体样品6个面镀膜9、真空室为方形腔体1套，前后开门结构，腔体尺寸：约Φ510(mm)×L500×500（mm），真空腔能和1200+双小腔手套箱配合使用10、样品可旋转：电动旋转，转速：0-35rpm，转速在线可调。可升降：电动升降，升降范围：±25mm11、低噪音机械泵：8L/S12、复合分子泵：620L/S13、插板阀（电动）：CF-*、数显复合真空计（一低一高）;15、磁控溅射靶尺寸：3英寸2只16、射频溅射电源：500W2台17、质量流量控制器：2只（氩气和氢气）18、照明系统：1套。19、水冷却循环系统：1 台20、智能数显水冷机：1 台 制冷量：2.85KW（1P）21、PLC+10寸触屏控制系统：1套 | ||
| 质保及售后服务 | 现场安装、调试、用户培训保修期一年 | ||
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