小型金属溅射仪
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小型金属溅射仪
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 | 可选品牌型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | 小型金属溅射仪 | 1 (台) | # (人民币) | 迈普斯/磁控溅射 赛恩斯/HM-ETD-2000C 磁控靶 沈阳科晶/GSL-1100X-SPC-16 | 1. 主要技术参数： 1、靶材直径：大于45mm； 2、真空室：大于Ф160×110mm； 3、真空度：≤4×10-2mbar； 4、靶位：1 个； 5、样品台尺寸大于2英寸； 6、可设定极限时间：900s； 7、微型真空气阀：连接3mm 软管; 8、极限电压：1600V DC; 9、机械泵：4L/s; 10、金属镀膜连续工作，连续镀膜厚度大于500纳米； 11、配套金靶材一个； 12、设备集成度高，可以直接放置于实验桌面上，需要拆卸的部分采用即插即用的方式，接线及安装调试便捷简单； 13、设备整机可置于手套箱内，水、电、气等通过KF25/40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便。 14、镀膜方式：磁控溅射 | 按行业标准提供服务 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 | 可选品牌型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | 小型金属溅射仪 | 1 (台) | # (人民币) | 迈普斯/磁控溅射 赛恩斯/HM-ETD-2000C 磁控靶 沈阳科晶/GSL-1100X-SPC-16 | 1. 主要技术参数： 1、靶材直径：大于45mm； 2、真空室：大于Ф160×110mm； 3、真空度：≤4×10-2mbar； 4、靶位：1 个； 5、样品台尺寸大于2英寸； 6、可设定极限时间：900s； 7、微型真空气阀：连接3mm 软管; 8、极限电压：1600V DC; 9、机械泵：4L/s; 10、金属镀膜连续工作，连续镀膜厚度大于500纳米； 11、配套金靶材一个； 12、设备集成度高，可以直接放置于实验桌面上，需要拆卸的部分采用即插即用的方式，接线及安装调试便捷简单； 13、设备整机可置于手套箱内，水、电、气等通过KF25/40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便。 14、镀膜方式：磁控溅射 | 按行业标准提供服务 |
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