双靶离子溅射仪待竞价详细

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双靶离子溅射仪待竞价详细

申购单主题: 双靶离子溅射仪 申购单位: 材料科 (略)
报价类型: 国内含税价 使用币种: 人民币 公示时间: 2024-11-20 09:28:45
申购备注:
设备名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
双靶离子溅射仪 速普/ (略) (略) J20 1 1、原厂原装。2.服务支持:售后服务标准必须与 (略) 场标准服务一致;
规格
1.真空泵:旋片式真空泵2. 抽速:≥4m3/h3. 极限真空:<1 Pa4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制5. 抽真空时间:<3min6. 真空计:皮拉尼真空计7. 腔体:~? 135 *120 mm8.数显样品台:?75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0- 40度可调,靶基距45-60mm可调8. 溅射靶材:靶材尺寸 ? 30 * 0.2mm/2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替溅射功能9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC10. 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能15.冷却方式:风冷16.质保:一年 
申购单主题: 双靶离子溅射仪 申购单位: 材料科 (略)
报价类型: 国内含税价 使用币种: 人民币 公示时间: 2024-11-20 09:28:45
申购备注:
设备名称 品牌厂商 型号 数量 售后服务
双靶离子溅射仪 速普/ (略) (略) J20 1 1、原厂原装。2.服务支持:售后服务标准必须与 (略) 场标准服务一致;
规格
1.真空泵:旋片式真空泵2. 抽速:≥4m3/h3. 极限真空:<1 Pa4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制5. 抽真空时间:<3min6. 真空计:皮拉尼真空计7. 腔体:~? 135 *120 mm8.数显样品台:?75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0- 40度可调,靶基距45-60mm可调8. 溅射靶材:靶材尺寸 ? 30 * 0.2mm/2只,可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替溅射功能9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC10. 操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能15.冷却方式:风冷16.质保:一年 
    
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