碳化硅衬底表面缺陷测量系统采购

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碳化硅衬底表面缺陷测量系统采购


碳化硅衬底表面缺陷测量系统(2024CGZXWSJJ0255)采购公告
发布时间:2024-12-04 14:43:59阅读量:16

项目名称碳化硅衬底表面缺陷测量系统项目编号2024CGZXWSJJ0255
公告开始日期2024-12-04 14:43:59公告截止日期2024-12-09 15:00:00
采购单位华侨大学付款方式其他
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求签约后120个工作日内
预算总价¥ (略).00
发票要求
收货地址华侨大学( (略) )
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

售后服务承诺函 (必选) ; 其他 (可选)




采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
碳化硅衬底表面缺陷测量系统1光电测量仪器

品牌1镇江锐光凯奇
型号*
品牌2哈尔滨芯明天
型号*
品牌3索雷博光电
型号*
预算单价¥ (略).00
技术参数及配置要求设备功能:基于lin (略) 结构白光干涉显微方法,配置多种照明方式,实现碳化硅衬底表面形貌和表面缺陷无损、全场测量,还可用于蓝宝石、金刚石等衬底材料。
(1)系统结构框架:多轴笼式结构框架、转接件等多个,系统相对稳定、集成度高, (略) 光学元件需具备切换拆卸功能;
(2)系统照明模式:双光源照明模式,可实现切换照明和同时照明功能;
(3)半复消色差物镜,数量2个,性能要求:
物镜适用范围:透射明场、透射暗场、偏光成像、荧光成像;
光学放大倍率:≥20 ×;
数值孔径:≥0.4;
工作距离:≥2 mm;
(4)准直透镜#33-016,数量:4个;
(5)系统光源(略)-IC:连续输出白光,寿命≥(略)小时,工作电源24V;
(6)二维平移台:X、Y轴行程≥100 mm;
(7)Z轴扫描台:闭环,行程≥300 μm,分辨率≤15nm;
(8)Tubelens:放大率1×,适用于亮场、DIC、荧光或偏光显微成像,400 - 700nm波段 超过 90% 的透射率;
(9) (略) :自平衡,主动隔绝外界振动对系统的影响;
(10)工控机、显示屏1套,因特 (略) 理器,128G内存,2T固态,4090显卡;
(11)测量输出项目:表面图像、linnik白光干涉图;
售后服务商品承诺:原厂全新未拆封正品;1.邮寄到指定地点;2.后续耗材采购渠道畅通;3.系统器件质保一年;

2024-12-04 14:43:59


碳化硅衬底表面缺陷测量系统(2024CGZXWSJJ0255)采购公告
发布时间:2024-12-04 14:43:59阅读量:16

项目名称碳化硅衬底表面缺陷测量系统项目编号2024CGZXWSJJ0255
公告开始日期2024-12-04 14:43:59公告截止日期2024-12-09 15:00:00
采购单位华侨大学付款方式其他
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后3个工作日内到货时间要求签约后120个工作日内
预算总价¥ (略).00
发票要求
收货地址华侨大学( (略) )
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

售后服务承诺函 (必选) ; 其他 (可选)




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采购商品采购数量计量单位所属分类
碳化硅衬底表面缺陷测量系统1光电测量仪器

品牌1镇江锐光凯奇
型号*
品牌2哈尔滨芯明天
型号*
品牌3索雷博光电
型号*
预算单价¥ (略).00
技术参数及配置要求设备功能:基于lin (略) 结构白光干涉显微方法,配置多种照明方式,实现碳化硅衬底表面形貌和表面缺陷无损、全场测量,还可用于蓝宝石、金刚石等衬底材料。
(1)系统结构框架:多轴笼式结构框架、转接件等多个,系统相对稳定、集成度高, (略) 光学元件需具备切换拆卸功能;
(2)系统照明模式:双光源照明模式,可实现切换照明和同时照明功能;
(3)半复消色差物镜,数量2个,性能要求:
物镜适用范围:透射明场、透射暗场、偏光成像、荧光成像;
光学放大倍率:≥20 ×;
数值孔径:≥0.4;
工作距离:≥2 mm;
(4)准直透镜#33-016,数量:4个;
(5)系统光源(略)-IC:连续输出白光,寿命≥(略)小时,工作电源24V;
(6)二维平移台:X、Y轴行程≥100 mm;
(7)Z轴扫描台:闭环,行程≥300 μm,分辨率≤15nm;
(8)Tubelens:放大率1×,适用于亮场、DIC、荧光或偏光显微成像,400 - 700nm波段 超过 90% 的透射率;
(9) (略) :自平衡,主动隔绝外界振动对系统的影响;
(10)工控机、显示屏1套,因特 (略) 理器,128G内存,2T固态,4090显卡;
(11)测量输出项目:表面图像、linnik白光干涉图;
售后服务商品承诺:原厂全新未拆封正品;1.邮寄到指定地点;2.后续耗材采购渠道畅通;3.系统器件质保一年;

2024-12-04 14:43:59

    
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