高真空物理气相沉积系统采购

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高真空物理气相沉积系统采购


高真空物理气相沉积系统（JLU-KC24183）采购公告


发布时间：2024-12-09 08:15:33阅读量：17 次


项目名称高真空物理气相沉积系统项目编号JLU-KC#
公示开始日期2024-12-09 08:15:33公示截止日期2024-12-12 09:00:00
采购单位吉林大学付款方式货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求国内合同签订后90个工作日内
预算 ￥#
发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址吉林大学

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
高真空物理气相沉积系统1台其他电工、电子生产设备
品牌创一
规格型号JDP450
技术参数主要配置包括：
该设备为单室超高真空磁控溅射设备，主要由溅射真空室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、加热系统、射频电源、直流电源， (略) 、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统、控制系统和手套箱等部分组成。
1 磁控室
1.1 磁控室腔体 1 台
主溅射室真空腔体为内尺寸约Ф450×400mm 立式圆柱 D 形腔体，材质为高真空专业不锈 钢，内外表喷丸，电 (略) 理。前开结构，真空室盖上有一个 KF200 法兰接基片加热器 及转架与基片挡板机构。盖与腔体间采用胶圈密封。真空室后侧有一个 CF150 刀口法兰接 CF150 弯管机构，连接 FF700 型高性能分子泵。其余各口采用无氧铜垫圈密封。 真空室 壁带有匀气环。
1.2 前开门结构 1 套
1.3 样品匀气环 1 套
安装在真空室侧壁，出气孔直对样品表面。用于样品表面通入反应气体。专用于反应溅射。 可以有效防止靶中毒。
1.4 观察窗 1 套，胶圈带挡板。
1.5 φ10 充气阀 1 台，用于通入反应气体。
1.6 CF16 角阀 1，用于放气开腔。
1.7 CF35 角阀 1 台，预抽管道上的截止阀，通径Ф35mm。
1.8 IF150 弯头 1 套，安装于真空室与分子泵之间。通径Ф 150mm。
1.9 IF150 板阀 1 台，安装于分子泵口。电动截止阀门。通径Ф 150mm。
1.10 涡轮分子泵 1 套，北京抽速 700L/S，高性能分子泵。极限真空度高。
1.11 机械泵 1 台，抽速 8L/S，合 l 级机械泵。
1.12 带放气电磁阀 1 只，KF40，安装于机械泵口，防止返油。
1.13 电磁阀 1 只 ，KF40 ，安装于分子泵口。用于保护分子泵。
1.14 泵阀三通件 1 套
安装在工作台底部，用于机械泵到预抽和分子泵的转接。
1.15 液 (略) 2 套
一路用 (略) ，一路用 (略) ，一路为 (略)
1.16 四芯电极法兰 1 只，4 芯 1.8 电极
1.17 磁控靶 3 台
其中Φ2 英寸圆形磁控溅射永磁靶射频和直流兼容，都可沿轴向在线（高真空工作环境下）手动移动，移动距离范围（相对于衬底）40～80mm，金属密封结构。靶安装有气动
挡板。靶面尺寸Φ2 英寸,水磁分离结构，靶面为铜材质，冷却效果好。在真空室内部分， 可以手动调整摆头，摆头角度 0~15 度。磁控靶之间有隔板隔开，防止交叉污染。
1.18 样品架一套
单工位样品架。带有样品总挡板。可放置 2 寸一片或向下兼容样品多片。可以电动旋转， 转速 0~30 转/分，连续可调。样品架边缘， 自动样品挡板，样品加热温度最高900℃。
1.19 流量控制器 2 台
D07-26C，为 100SCCM，Ar,O2，
1.20 (略) 1 套，内表面酸洗管道焊接而成。
2 电控部分
2.1 电控柜 1 套
沈阳三兴，1.8M，用于放置各种电控 U 箱
2.2 PLC 一套
PLC+15 寸触摸屏 ，控制真空系统，前级，机械泵，样品台旋转控制。样品运行控制， 设备安全报警， 在屏幕在可以进行下列操作：真空系统， 自动镀膜系统，样品架的旋转控制。 压力控制。
2.3 真空计 1 套,一低一高
2.4 流量显示 1 套. 在屏幕上
2.5 射频电源 2 套，
RF-600W，频率 13.56MHZ，功率 600W， 自动匹配器，2 靶同步协调。 2.6 样品架电源 1 套
温度：常温～900℃可调， 日本导电 SR3 控制。
2.7 分子泵电源 1 台 FF700 分子泵的控制电源。
2.7 直流电源 1 套。500w.
3 手套箱部分
3.1 一个不锈钢箱体， 箱体尺寸为 1800mm（长） X750mm（宽） X900mm（高） ， 材质为 SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。 左侧工位后壁对接磁控溅射设备， 右侧工位前玻璃视窗做嵌入式显微镜；
3.2可拆卸的安全玻璃视窗， 倾斜设计的操作面， 钢化玻璃厚度 8mm。
3.3四个铝合金手套口， 由实心棒材加工而成。
3.4两副#基橡胶手套。
3.5预留有 8 个 KF40 标准接口。
3.6右侧配置有三层不锈钢搁物架， 高度可调节。
3.7 安全阀， 保护设备和手套箱内材料。
3.8钢结构支架， 高 900mm， 安装有万向脚轮。
3.9 一个大过渡仓
1) 材质： SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。
2) 尺寸： Φ370X600mm
3) 位置： 箱体右侧
4) 连接方式： 法兰连接
5) 传送方式： 通过移动托盘， 托盘易拆卸， 方便转移体积大的物料
6) 操作方式:手动操作,通过触摸屏点触阀门
3.10 一个小过渡仓
1) 材质： SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。
2) 尺寸： Φ150X300mm
3) 位置： 箱体右侧
4) 连接方式： 焊接
5) 传送方式： 通过移动托盘
6) 操作方式： 通过三通球阀手动操作
3.11一个气体纯化柱：
1) 选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛， 用于除水和除氧
2) 氧气和水的吸附量分别为 60 升和 2 公斤
3.12气体纯化柱吸附饱和后， 用含氢的氮气或氩气再生， 恢复其吸附能力
用氢气/氮气混合气作为再生气。 H2： 5%； N2: 95%。
3.13一个循环风机
1) 流量 60m3/h。
2) 安装在密闭的不锈钢容器内， 不锈钢容器采用全焊接方式制作， 密封性能好。
3.14 有机溶剂吸附柱
1) 含活性炭颗粒吸附材料。
2) 吸附饱和后更换新材料。
3) 电气动控制的循环主阀， KF40 标准接口。
3.1 (略) 都由电磁阀控制， 净化柱再生完全实现自动控制。
3.16循环系统的进出口装有气体过滤器。
3.17控制系统
3.18真空泵一台： 英国爱德华， 流量 12m3/h， 极限真空 2x10-3毫巴。 配置油雾过滤器
3.19氧分析仪一套
3.20水分析仪一套
3.21 箱内电源接口， 配有多孔插座
售后服务 (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;现场安装，培训，操作指导;

吉林大学


2024-12-09 08:15:33


高真空物理气相沉积系统（JLU-KC24183）采购公告


发布时间：2024-12-09 08:15:33阅读量：17 次


项目名称高真空物理气相沉积系统项目编号JLU-KC#
公示开始日期2024-12-09 08:15:33公示截止日期2024-12-12 09:00:00
采购单位吉林大学付款方式货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求国内合同签订后90个工作日内
预算 ￥#
发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址吉林大学

采购清单1
采购物品采购数量计量单位所属分类
高真空物理气相沉积系统1台其他电工、电子生产设备
品牌创一
规格型号JDP450
技术参数主要配置包括：
该设备为单室超高真空磁控溅射设备，主要由溅射真空室、磁控溅射靶、旋转加热基片台、加热系统、射频电源、直流电源， (略) 、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统、控制系统和手套箱等部分组成。
1 磁控室
1.1 磁控室腔体 1 台
主溅射室真空腔体为内尺寸约Ф450×400mm 立式圆柱 D 形腔体，材质为高真空专业不锈 钢，内外表喷丸，电 (略) 理。前开结构，真空室盖上有一个 KF200 法兰接基片加热器 及转架与基片挡板机构。盖与腔体间采用胶圈密封。真空室后侧有一个 CF150 刀口法兰接 CF150 弯管机构，连接 FF700 型高性能分子泵。其余各口采用无氧铜垫圈密封。 真空室 壁带有匀气环。
1.2 前开门结构 1 套
1.3 样品匀气环 1 套
安装在真空室侧壁，出气孔直对样品表面。用于样品表面通入反应气体。专用于反应溅射。 可以有效防止靶中毒。
1.4 观察窗 1 套，胶圈带挡板。
1.5 φ10 充气阀 1 台，用于通入反应气体。
1.6 CF16 角阀 1，用于放气开腔。
1.7 CF35 角阀 1 台，预抽管道上的截止阀，通径Ф35mm。
1.8 IF150 弯头 1 套，安装于真空室与分子泵之间。通径Ф 150mm。
1.9 IF150 板阀 1 台，安装于分子泵口。电动截止阀门。通径Ф 150mm。
1.10 涡轮分子泵 1 套，北京抽速 700L/S，高性能分子泵。极限真空度高。
1.11 机械泵 1 台，抽速 8L/S，合 l 级机械泵。
1.12 带放气电磁阀 1 只，KF40，安装于机械泵口，防止返油。
1.13 电磁阀 1 只 ，KF40 ，安装于分子泵口。用于保护分子泵。
1.14 泵阀三通件 1 套
安装在工作台底部，用于机械泵到预抽和分子泵的转接。
1.15 液 (略) 2 套
一路用 (略) ，一路用 (略) ，一路为 (略)
1.16 四芯电极法兰 1 只，4 芯 1.8 电极
1.17 磁控靶 3 台
其中Φ2 英寸圆形磁控溅射永磁靶射频和直流兼容，都可沿轴向在线（高真空工作环境下）手动移动，移动距离范围（相对于衬底）40～80mm，金属密封结构。靶安装有气动
挡板。靶面尺寸Φ2 英寸,水磁分离结构，靶面为铜材质，冷却效果好。在真空室内部分， 可以手动调整摆头，摆头角度 0~15 度。磁控靶之间有隔板隔开，防止交叉污染。
1.18 样品架一套
单工位样品架。带有样品总挡板。可放置 2 寸一片或向下兼容样品多片。可以电动旋转， 转速 0~30 转/分，连续可调。样品架边缘， 自动样品挡板，样品加热温度最高900℃。
1.19 流量控制器 2 台
D07-26C，为 100SCCM，Ar,O2，
1.20 (略) 1 套，内表面酸洗管道焊接而成。
2 电控部分
2.1 电控柜 1 套
沈阳三兴，1.8M，用于放置各种电控 U 箱
2.2 PLC 一套
PLC+15 寸触摸屏 ，控制真空系统，前级，机械泵，样品台旋转控制。样品运行控制， 设备安全报警， 在屏幕在可以进行下列操作：真空系统， 自动镀膜系统，样品架的旋转控制。 压力控制。
2.3 真空计 1 套,一低一高
2.4 流量显示 1 套. 在屏幕上
2.5 射频电源 2 套，
RF-600W，频率 13.56MHZ，功率 600W， 自动匹配器，2 靶同步协调。 2.6 样品架电源 1 套
温度：常温～900℃可调， 日本导电 SR3 控制。
2.7 分子泵电源 1 台 FF700 分子泵的控制电源。
2.7 直流电源 1 套。500w.
3 手套箱部分
3.1 一个不锈钢箱体， 箱体尺寸为 1800mm（长） X750mm（宽） X900mm（高） ， 材质为 SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。 左侧工位后壁对接磁控溅射设备， 右侧工位前玻璃视窗做嵌入式显微镜；
3.2可拆卸的安全玻璃视窗， 倾斜设计的操作面， 钢化玻璃厚度 8mm。
3.3四个铝合金手套口， 由实心棒材加工而成。
3.4两副#基橡胶手套。
3.5预留有 8 个 KF40 标准接口。
3.6右侧配置有三层不锈钢搁物架， 高度可调节。
3.7 安全阀， 保护设备和手套箱内材料。
3.8钢结构支架， 高 900mm， 安装有万向脚轮。
3.9 一个大过渡仓
1) 材质： SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。
2) 尺寸： Φ370X600mm
3) 位置： 箱体右侧
4) 连接方式： 法兰连接
5) 传送方式： 通过移动托盘， 托盘易拆卸， 方便转移体积大的物料
6) 操作方式:手动操作,通过触摸屏点触阀门
3.10 一个小过渡仓
1) 材质： SUS304 不锈钢， 厚度 3mm。
2) 尺寸： Φ150X300mm
3) 位置： 箱体右侧
4) 连接方式： 焊接
5) 传送方式： 通过移动托盘
6) 操作方式： 通过三通球阀手动操作
3.11一个气体纯化柱：
1) 选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛， 用于除水和除氧
2) 氧气和水的吸附量分别为 60 升和 2 公斤
3.12气体纯化柱吸附饱和后， 用含氢的氮气或氩气再生， 恢复其吸附能力
用氢气/氮气混合气作为再生气。 H2： 5%； N2: 95%。
3.13一个循环风机
1) 流量 60m3/h。
2) 安装在密闭的不锈钢容器内， 不锈钢容器采用全焊接方式制作， 密封性能好。
3.14 有机溶剂吸附柱
1) 含活性炭颗粒吸附材料。
2) 吸附饱和后更换新材料。
3) 电气动控制的循环主阀， KF40 标准接口。
3.1 (略) 都由电磁阀控制， 净化柱再生完全实现自动控制。
3.16循环系统的进出口装有气体过滤器。
3.17控制系统
3.18真空泵一台： 英国爱德华， 流量 12m3/h， 极限真空 2x10-3毫巴。 配置油雾过滤器
3.19氧分析仪一套
3.20水分析仪一套
3.21 箱内电源接口， 配有多孔插座
售后服务 (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;现场安装，培训，操作指导;

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