磁控溅射集成系统采购
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磁控溅射集成系统采购
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 磁控溅射集成系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 点击查看>> 14:25 |
| 竞价结束时间： | 点击查看>> 10:00 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | (略) 商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 磁控溅射集成系统 | 1 | 套 | 科诚 | ZD-450CK | 是 | 按行业标准提供服务 | 磁控真空腔体：1套真空室腔体采用304优质不锈钢，D形前后开门结构， (略) 尺寸D450*450mm， (略) 物理，化学式表面抛光，焊接后采用电解式抛光，真空室表面洁净美观，真空腔体前后门均配有DN100视窗，可对 (略) 进行实时监控，配有挡板以及防护玻璃；蒸镀设备后侧配有铰链式方门， (略) 调试，维修以及取放物品；2、蒸镀室4英寸磁控靶：1套1)4英寸永磁靶：磁控靶采用直靶，并且配有挡板；2)磁控靶电源：需采用1台射频式电源，功率为500W。3、样品台系统：1套a)具有可升降，可旋转，可加热（室温—300℃）的功能；b)样片托架可安装16片20*20mm样片，附着掩膜板；c)样片与蒸发源间距为200—300mm可调，样片与靶材间距为100—150mm可调；d)样品台安装电动样品挡板；e)样片转速5～30转／分连续可调；4、真空泵机组：1套a)通过CF150高真空气动插板阀将真空腔体和涡轮分子泵对接，再通过KF40高真空电磁截止阀将涡轮分子泵与机械泵对接；b)真空腔体和机械泵之间需要通过CF35高真空气动角阀连接，KF40高真空电磁截止阀和CF35高真空气动角阀和直联机械泵都需软管连接。5、蒸镀室膜厚检测系统：1套：1)采用美国英福康SQM160四通道膜厚控制仪1台，可实现膜厚监测；2)配3套美国英福康水冷膜厚探头,每个探头可分别监测1套金属蒸发源以及1套分子束蒸发源；6、电控系统：1 (略) 分采用标准1.8电器控制柜1台；a)有机源控制电源：2台；b)500W射频电源：1台c)美国英福康SQM160四通道膜厚控制仪：1台；d)分子泵电源：1台，机械泵控制电源：1台，真空测量计（一低一高）：1台；e)蒸发源与磁控靶挡板电源：1台；f)总控制电源以及其它辅助控制器。7、其他技术参数：1)整套机组配有缺相保护、误操作保护等功能；2)供电：～380V，10KW三相供电系统；3)供水：采用小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；4)设备极限真空：6×10-6Pa；漏率：7×10-8Pa?L/S；工作真空：6×10-4Pa；恢复工作真空时间小于40分钟（充干燥氮气），关机12小时后系统真空度≤10Pa。 | 无 |
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 磁控溅射集成系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 点击查看>> 14:25 |
| 竞价结束时间： | 点击查看>> 10:00 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | (略) 商 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 磁控溅射集成系统 | 1 | 套 | 科诚 | ZD-450CK | 是 | 按行业标准提供服务 | 磁控真空腔体：1套真空室腔体采用304优质不锈钢，D形前后开门结构， (略) 尺寸D450*450mm， (略) 物理，化学式表面抛光，焊接后采用电解式抛光，真空室表面洁净美观，真空腔体前后门均配有DN100视窗，可对 (略) 进行实时监控，配有挡板以及防护玻璃；蒸镀设备后侧配有铰链式方门， (略) 调试，维修以及取放物品；2、蒸镀室4英寸磁控靶：1套1)4英寸永磁靶：磁控靶采用直靶，并且配有挡板；2)磁控靶电源：需采用1台射频式电源，功率为500W。3、样品台系统：1套a)具有可升降，可旋转，可加热（室温—300℃）的功能；b)样片托架可安装16片20*20mm样片，附着掩膜板；c)样片与蒸发源间距为200—300mm可调，样片与靶材间距为100—150mm可调；d)样品台安装电动样品挡板；e)样片转速5～30转／分连续可调；4、真空泵机组：1套a)通过CF150高真空气动插板阀将真空腔体和涡轮分子泵对接，再通过KF40高真空电磁截止阀将涡轮分子泵与机械泵对接；b)真空腔体和机械泵之间需要通过CF35高真空气动角阀连接，KF40高真空电磁截止阀和CF35高真空气动角阀和直联机械泵都需软管连接。5、蒸镀室膜厚检测系统：1套：1)采用美国英福康SQM160四通道膜厚控制仪1台，可实现膜厚监测；2)配3套美国英福康水冷膜厚探头,每个探头可分别监测1套金属蒸发源以及1套分子束蒸发源；6、电控系统：1 (略) 分采用标准1.8电器控制柜1台；a)有机源控制电源：2台；b)500W射频电源：1台c)美国英福康SQM160四通道膜厚控制仪：1台；d)分子泵电源：1台，机械泵控制电源：1台，真空测量计（一低一高）：1台；e)蒸发源与磁控靶挡板电源：1台；f)总控制电源以及其它辅助控制器。7、其他技术参数：1)整套机组配有缺相保护、误操作保护等功能；2)供电：～380V，10KW三相供电系统；3)供水：采用小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；4)设备极限真空：6×10-6Pa；漏率：7×10-8Pa?L/S；工作真空：6×10-4Pa；恢复工作真空时间小于40分钟（充干燥氮气），关机12小时后系统真空度≤10Pa。 | 无 |
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