高真空热蒸发系统——超高温加热装置
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高真空热蒸发系统——超高温加热装置
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]470号 | ||
| 项目名称 | 中山大学电子与 (略) 高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空Cluster热蒸发系统——超高温加热装置 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | (略) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2024-12-31 18:04 | 报名及响应结束时间 | 2025-01-10 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 林老师 | 经办人电话 | 020-(略) |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) (略) (略) 135号中山大学南校园557栋显示材料实验室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空Cluster热蒸发系统——超高温加热装置 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1.上加热器：▲1.1加热组件及材料的最高温可加热达1600℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，采用示数显示直接观测温度值；需提供厂家承诺函。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2 | 1.2机构部件采用耐高温材料Mo、BN及 W加工制造，各材料纯度均在99.9%以上；需提供原料纯度证明材料。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | 1.3 加热器 (略) 1组,用于对加热器的降温冷却； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 2.腔体上盖板 (略) 1组，供腔体降温使用； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 3.腔体窗口隔热板 1组，避免窗口因制程温度过高而破裂； | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 4.下加热器： ★4.1加热组件及材料最高温可加热达2000℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，上、下加热器及其组件安装至原高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）后，系统整体须满足如下指标： A.真空度测试 : 腔体本底压力可抽至< 8 x 10-6 torr，漏率≤ 5 x 10-7 Torr·L/s； B.加热器测试 : 下加热器可加热至最高温2000 ℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，采用示数显示直接观测温度值； C.镀膜测试 : 可进行单晶钼金属薄膜沉积，沉积面积不小于20 mm×20 mm。 以上内容，需提供厂家承诺函。 | 重要 | 是 | 是 |
| 7 | 4.2 机构部件采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造，各材料纯度均在99.9%以上；需提供原料纯度证明材料。 | 重要 | 否 | 是 |
| 8 | 4.3 加热器样品载台可旋转，转速≤20 rpm； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 4.4 加热器 (略) 1组, 供加热器降温冷却； | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 5.腔 (略) 1组, 避免材料制备中腔体各部件温度过高造成变形； | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 6.电源变压器 1组，供上、下加热器加热使用； | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 7.电力供应配套：配合新制加热器的更新配套； | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | 8.传送阀门高温保护装置1组，避免高温造成传送阀门过温损坏而无法开关； | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | 9.修 (略) 水排模块1组，以匹配原有高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）；需提供厂家承诺函。 | 重要 | 否 | 是 |
| 15 | 附件参数： 1.加热器耗材备件3组，即由耐高温材料Mo、BN及 W加工制造而成的机构部件3套； | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 软件及其功能：1.热蒸发系统的上、下加热器控制点位、操作程序配合原有高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）进行更新撰写，以符合修改后的整体系统功能使用；需提供厂家软件功能界面截图。 | 重要 | 否 | 是 |
| 17 | 配置清单： 1、上加热器（含水冷） 1 套 2、腔体上盖板（含水冷） 1 组 3、腔体窗口隔热板 1 组 4、下加热器（含水冷） 1 套 5、电源变压器 1 组 6、阀门高温保护隔热板 1 组 7、高温加热器耗材备件 3 组 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 售后服务： 供货厂家在中国至少一家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。 预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的高温加热装置进行预安装 (主要包括升温及保温测试等)，同时提供装置的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器现场。重大问题或其他无法迅速解决的问题应在两周内提出明确解决方案。 培训要求： 在用户现场对用户进行2-3人为期至少3天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试， (略) 理、基本仪器维护，故障排除等。 以上内容，需提供厂家承诺函。 | 重要 | 否 | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 厂家项目业绩：从2019年1月1日至今生产厂家提供的同类超高温加热装置（最高温度至少达1400℃以上）在热蒸发、物理气相沉积、化学气相沉积、真空镀膜等设备中的应用实例，需提供业绩合同。注：合同需体现同类超高温加热装置相关内容（需符合前述内容要求），业绩时间以合同签订时间为准，需提供合同关键页 (含签订合同双方的单位名称、合同项目名称、项目签订合同双方的落款签字或盖章、签订日期的关键页等） | 无法提供业绩证明 提供1项业绩材料 提供2项业绩材料 提供3项业绩材料 提供4项业绩材料 提供5项业绩材料 提供6项业绩材料 提供7项业绩材料 提供8项及以上业绩材料 | 是 |
| 2 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。（本项为废标条款） | 否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式（仅针对本项目的授权无论时间长短请选择该项） | 是 |
| 4 | 免费保修年限（自验收合格之日算起） | 3年及以上（本项为废标条款） | 是 |
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[2024]470号 | ||
| 项目名称 | 中山大学电子与 (略) 高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目 | ||
| 申购主题 | 高真空Cluster热蒸发系统——超高温加热装置 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价（元） | (略) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2024-12-31 18:04 | 报名及响应结束时间 | 2025-01-10 09:00 |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 林老师 | 经办人电话 | 020-(略) |
| 期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) (略) (略) 135号中山大学南校园557栋显示材料实验室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
| 1采购设备 | 高真空Cluster热蒸发系统——超高温加热装置 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 1.上加热器：▲1.1加热组件及材料的最高温可加热达1600℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，采用示数显示直接观测温度值；需提供厂家承诺函。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 2 | 1.2机构部件采用耐高温材料Mo、BN及 W加工制造，各材料纯度均在99.9%以上；需提供原料纯度证明材料。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | 1.3 加热器 (略) 1组,用于对加热器的降温冷却； | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 2.腔体上盖板 (略) 1组，供腔体降温使用； | 重要 | 否 | 否 |
| 5 | 3.腔体窗口隔热板 1组，避免窗口因制程温度过高而破裂； | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 4.下加热器： ★4.1加热组件及材料最高温可加热达2000℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，上、下加热器及其组件安装至原高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）后，系统整体须满足如下指标： A.真空度测试 : 腔体本底压力可抽至< 8 x 10-6 torr，漏率≤ 5 x 10-7 Torr·L/s； B.加热器测试 : 下加热器可加热至最高温2000 ℃，温控器控制精度±1℃，对应温度波动在±1%以内，加热速率≥30℃/min，采用示数显示直接观测温度值； C.镀膜测试 : 可进行单晶钼金属薄膜沉积，沉积面积不小于20 mm×20 mm。 以上内容，需提供厂家承诺函。 | 重要 | 是 | 是 |
| 7 | 4.2 机构部件采用耐高温材料 Mo、BN 及 W 加工制造，各材料纯度均在99.9%以上；需提供原料纯度证明材料。 | 重要 | 否 | 是 |
| 8 | 4.3 加热器样品载台可旋转，转速≤20 rpm； | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | 4.4 加热器 (略) 1组, 供加热器降温冷却； | 重要 | 否 | 否 |
| 10 | 5.腔 (略) 1组, 避免材料制备中腔体各部件温度过高造成变形； | 重要 | 否 | 否 |
| 11 | 6.电源变压器 1组，供上、下加热器加热使用； | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 7.电力供应配套：配合新制加热器的更新配套； | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | 8.传送阀门高温保护装置1组，避免高温造成传送阀门过温损坏而无法开关； | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | 9.修 (略) 水排模块1组，以匹配原有高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）；需提供厂家承诺函。 | 重要 | 否 | 是 |
| 15 | 附件参数： 1.加热器耗材备件3组，即由耐高温材料Mo、BN及 W加工制造而成的机构部件3套； | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 软件及其功能：1.热蒸发系统的上、下加热器控制点位、操作程序配合原有高真空Cluster热蒸发系统（SKE(略)）进行更新撰写，以符合修改后的整体系统功能使用；需提供厂家软件功能界面截图。 | 重要 | 否 | 是 |
| 17 | 配置清单： 1、上加热器（含水冷） 1 套 2、腔体上盖板（含水冷） 1 组 3、腔体窗口隔热板 1 组 4、下加热器（含水冷） 1 套 5、电源变压器 1 组 6、阀门高温保护隔热板 1 组 7、高温加热器耗材备件 3 组 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 售后服务： 供货厂家在中国至少一家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师和应用工程师，能提供及时有效的售后服务。 预安装：合同正式签字生效后，卖方负责对买方的高温加热装置进行预安装 (主要包括升温及保温测试等)，同时提供装置的安装要求和用户需要准备的安装条件和物资。卖方工程师费用由卖方承担。 安装与调试：仪器到达用户所在地后，根据买方的通知，卖方在2周内安排仪器的安装调试，直至达到验收指标。仪器的安装调试应在于15个工作日内完成。卖方承诺在24小时内对用户的服务要求做出响应。需要在现场解决问题的，在5个工作日内到达仪器现场。重大问题或其他无法迅速解决的问题应在两周内提出明确解决方案。 培训要求： 在用户现场对用户进行2-3人为期至少3天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、调试， (略) 理、基本仪器维护，故障排除等。 以上内容，需提供厂家承诺函。 | 重要 | 否 | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 厂家项目业绩：从2019年1月1日至今生产厂家提供的同类超高温加热装置（最高温度至少达1400℃以上）在热蒸发、物理气相沉积、化学气相沉积、真空镀膜等设备中的应用实例，需提供业绩合同。注：合同需体现同类超高温加热装置相关内容（需符合前述内容要求），业绩时间以合同签订时间为准，需提供合同关键页 (含签订合同双方的单位名称、合同项目名称、项目签订合同双方的落款签字或盖章、签订日期的关键页等） | 无法提供业绩证明 提供1项业绩材料 提供2项业绩材料 提供3项业绩材料 提供4项业绩材料 提供5项业绩材料 提供6项业绩材料 提供7项业绩材料 提供8项及以上业绩材料 | 是 |
| 2 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。（本项为废标条款） | 否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式（仅针对本项目的授权无论时间长短请选择该项） | 是 |
| 4 | 免费保修年限（自验收合格之日算起） | 3年及以上（本项为废标条款） | 是 |
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