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椭圆偏振测厚仪
| 项目名称 | 椭圆偏振测厚仪 | 项目编号 | XJD* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2025-03-14 16:07:00 | 公告截止日期 | 2025-03-18 12:00:00 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后7天内送达 |
| 预算总价 | 币种 | 人民币 | |
| 收货地址 | (略) (略) | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 椭圆偏振测厚仪 | 2.00 | 无 |
| 品牌 | 港东科技 |
|---|---|
| 型号 | SGC-1A |
| 预算单价 | |
| 规格参数 | 1、测量范围：1nm-300nm 2、测量最小值≤1nm 3、入射角：30°～90°误差≤0.1° 4、偏振器方位角读数范围：0°～180° 5、刻盘刻度：每个2度，范围0~360° 6、游标最小读数0.05° 7、样品台：中心高度152mm，可调高度10mm；可俯仰回转调节，调节范围20°。 可测样品尺寸φ5mm~φ300mm~ 8光电流放大器：可调零；放大三档可调，表头示数0~100μA，最小刻度1μA. 光电探测器：硅光二极管，波长范围400~1100nm 9、标准样品：单抛4英寸单晶硅片，镀100nm厚SiO2薄膜。配专用硅片盒。 10、常测样品：能够准确测量氮化硅、光刻胶、二氧化钛等透光样品。 11、外形尺寸730mm×230mm×290mm 12、主机重量20kg 13、测试软件： 可脱机使用，也可以用于其他测试设备的数据分析 可设置不同的样品和衬底参数 可设置不同的入射角度30°~90° 表格厚度间隔:可分不同档位，最小0.1nm。 测试结果方差自动计算功能 14、提 (略) ：教学管理系统，题库考试系统，实验报告自动评阅系统 15、包含硬件版虚拟仿真软件，可 (略) 协同使用，也可在多种多媒体设备上使用。 |
| 售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 |
| 项目名称 | 椭圆偏振测厚仪 | 项目编号 | XJD* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2025-03-14 16:07:00 | 公告截止日期 | 2025-03-18 12:00:00 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后7天内送达 |
| 预算总价 | 币种 | 人民币 | |
| 收货地址 | (略) (略) | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 椭圆偏振测厚仪 | 2.00 | 无 |
| 品牌 | 港东科技 |
|---|---|
| 型号 | SGC-1A |
| 预算单价 | |
| 规格参数 | 1、测量范围：1nm-300nm 2、测量最小值≤1nm 3、入射角：30°～90°误差≤0.1° 4、偏振器方位角读数范围：0°～180° 5、刻盘刻度：每个2度，范围0~360° 6、游标最小读数0.05° 7、样品台：中心高度152mm，可调高度10mm；可俯仰回转调节，调节范围20°。 可测样品尺寸φ5mm~φ300mm~ 8光电流放大器：可调零；放大三档可调，表头示数0~100μA，最小刻度1μA. 光电探测器：硅光二极管，波长范围400~1100nm 9、标准样品：单抛4英寸单晶硅片，镀100nm厚SiO2薄膜。配专用硅片盒。 10、常测样品：能够准确测量氮化硅、光刻胶、二氧化钛等透光样品。 11、外形尺寸730mm×230mm×290mm 12、主机重量20kg 13、测试软件： 可脱机使用，也可以用于其他测试设备的数据分析 可设置不同的样品和衬底参数 可设置不同的入射角度30°~90° 表格厚度间隔:可分不同档位，最小0.1nm。 测试结果方差自动计算功能 14、提 (略) ：教学管理系统，题库考试系统，实验报告自动评阅系统 15、包含硬件版虚拟仿真软件，可 (略) 协同使用，也可在多种多媒体设备上使用。 |
| 售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 |
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