基本信息：
申购单主题：	JD-500FX型多源有机金属真空沉积系
申购单类型：	竞价类
设备类别：	仪器仪表
使用币种：	人民币
竞价开始时间：	## 14:22
竞价结束时间：	## 17:00
申购备注：	质保期：验收合格后1年。付款方式：b.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达略且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%略确认后支付。 “本次项目采购预算金额为人民币 ## 元，超过预算的投标将被拒绝。”
申购设备详情：

设备名称	数量	单位	品牌	型号	是否标配	售后服务	规格配置	附件
JD-500FX型多源有机金属真空沉积系	1	台	JDZK	JD-500FX型	否	按行业标准提供服务	"a. 抽气系统：该系统的抽气系统由KYKY1200L/S涡轮分子泵、8L/S机械泵、DG200气动闸板阀、KF40气动角阀、复合数字真空计、充气阀.Φ40波纹管管道和排气管道等组成。系统的本底极限真空度优于8×10-5Pa。抽速：在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空可在30分钟内达到的真空度为：≤5×10-4Pa。b. 真空室: 真空室规格480×450×560, 非开 放式真空室。真空室的后侧有一个快开门，快开门上有两个116×76mm的玻璃观察窗。可以方便的装有机料和金属料及安装基片和维护真空室。在真空室的侧面有一个DG200法兰接口，安装分子泵抽气系统。真空室前面有一个与手套箱相接的横拉门。该真空室中5个方向有防污隔板，安装清洗简单方便，保证蒸镀时污染最小，器件质量大幅提高。 c. 带基片加热的磁力传动的旋转基片架：基片尺寸为4片35×30mm（最大）的基片，一个真空周期内，可同时蒸镀4个基片，也可分别蒸镀4种不同基片，每个基片可安装3种掩膜，掩膜可在线更换，。磁力传动的旋转基片架转速为0-60转/分（转速可调），基片旋停位置可自动识别（方便更换掩膜和安装基片）。 加热温度最高可达350℃。 d. 手动磁力传动大挡板e. 有机蒸发源：2套（略可升级为6套）带有电动挡板的第三代有机坩埚蒸发源（可蒸镀NPB，Alq3，LiF等有机材料），该蒸发源加热温度均匀，寿命长达1000小时以上，温度可到达800℃，保温和控温性能优越，多源间没有温度干扰（蒸镀速率稳定）。f. 1控3有机源电源 ：2套 该控温电源控制最多可以控制3个有机蒸发源。控制方式有温度控制和电流控制两种方式。控温精度±0.5℃。g. 挂丝式金属蒸发源（恒流源）可蒸镀Ag、Al等金属材料：2套 h. 挂丝源电源：1套恒流电源分别控制2个挂丝式金属蒸发源（数字表电流显示，8V/200A）。电流控制蒸发，电流控制精度小于5%i. 蒸发源隔热防污罩： 每个蒸发源1套，可拆卸，方便清洗。j. 快开门：真空室后面的快开门，快开门上有两个116×76mm的玻璃观察窗，其中下面观察窗有个金属可开关挡板和可方便拆卸的防污玻璃板。真空室前面与手套箱过渡时相连的拉门。 k.真空室防污隔板：该真空室中5个方向有防污隔板，安装清洗简单方便，保证蒸镀时污染最小，器件质量大幅提高。l. 触摸屏PLC控制电源： 1套 带有程序保护，防止一切误操作。可以一键启动和一键停止自动抽真空。操作界面可切换为在横拉门侧手套箱端操作界面和在后面快开门操作界面，方便两面操作。m. 4套水冷探头。1套位于上法略，与基片等高，能准确的监测基片蒸镀膜的膜厚，下法兰3套，其中两个有机源，每个有机源上各有1个水冷探头，可分别监测蒸发速率，方便混蒸。（升级后两个探头可分别监测4个有机蒸发源的蒸发速率）两个金属源共用一个水冷探头，分别监测两个金属源的蒸发速率。探头配2种晶振片，镀金晶振片和镀合金的高应力晶振片。n. 膜厚仪：INFICON 膜厚仪，共4通道。INFICON探头前置振荡器4个。o. 照明灯： 2组p. 电器机柜：1台q. 不锈钢台面的台架r. 预留升级空间，略可升级有机蒸发源到6个s. 无油静音气泵t. 所有不锈钢材料均略304不锈钢"	无

联系方式： ## 6 

基本信息：
申购单主题：	JD-500FX型多源有机金属真空沉积系
申购单类型：	竞价类
设备类别：	仪器仪表
使用币种：	人民币
竞价开始时间：	## 14:22
竞价结束时间：	## 17:00
申购备注：	质保期：验收合格后1年。付款方式：b.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达略且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%略确认后支付。 “本次项目采购预算金额为人民币 ## 元，超过预算的投标将被拒绝。”
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JD-500FX型多源有机金属真空沉积系	1	台	JDZK	JD-500FX型	否	按行业标准提供服务	"a. 抽气系统：该系统的抽气系统由KYKY1200L/S涡轮分子泵、8L/S机械泵、DG200气动闸板阀、KF40气动角阀、复合数字真空计、充气阀.Φ40波纹管管道和排气管道等组成。系统的本底极限真空度优于8×10-5Pa。抽速：在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空可在30分钟内达到的真空度为：≤5×10-4Pa。b. 真空室: 真空室规格480×450×560, 非开 放式真空室。真空室的后侧有一个快开门，快开门上有两个116×76mm的玻璃观察窗。可以方便的装有机料和金属料及安装基片和维护真空室。在真空室的侧面有一个DG200法兰接口，安装分子泵抽气系统。真空室前面有一个与手套箱相接的横拉门。该真空室中5个方向有防污隔板，安装清洗简单方便，保证蒸镀时污染最小，器件质量大幅提高。 c. 带基片加热的磁力传动的旋转基片架：基片尺寸为4片35×30mm（最大）的基片，一个真空周期内，可同时蒸镀4个基片，也可分别蒸镀4种不同基片，每个基片可安装3种掩膜，掩膜可在线更换，。磁力传动的旋转基片架转速为0-60转/分（转速可调），基片旋停位置可自动识别（方便更换掩膜和安装基片）。 加热温度最高可达350℃。 d. 手动磁力传动大挡板e. 有机蒸发源：2套（略可升级为6套）带有电动挡板的第三代有机坩埚蒸发源（可蒸镀NPB，Alq3，LiF等有机材料），该蒸发源加热温度均匀，寿命长达1000小时以上，温度可到达800℃，保温和控温性能优越，多源间没有温度干扰（蒸镀速率稳定）。f. 1控3有机源电源 ：2套 该控温电源控制最多可以控制3个有机蒸发源。控制方式有温度控制和电流控制两种方式。控温精度±0.5℃。g. 挂丝式金属蒸发源（恒流源）可蒸镀Ag、Al等金属材料：2套 h. 挂丝源电源：1套恒流电源分别控制2个挂丝式金属蒸发源（数字表电流显示，8V/200A）。电流控制蒸发，电流控制精度小于5%i. 蒸发源隔热防污罩： 每个蒸发源1套，可拆卸，方便清洗。j. 快开门：真空室后面的快开门，快开门上有两个116×76mm的玻璃观察窗，其中下面观察窗有个金属可开关挡板和可方便拆卸的防污玻璃板。真空室前面与手套箱过渡时相连的拉门。 k.真空室防污隔板：该真空室中5个方向有防污隔板，安装清洗简单方便，保证蒸镀时污染最小，器件质量大幅提高。l. 触摸屏PLC控制电源： 1套 带有程序保护，防止一切误操作。可以一键启动和一键停止自动抽真空。操作界面可切换为在横拉门侧手套箱端操作界面和在后面快开门操作界面，方便两面操作。m. 4套水冷探头。1套位于上法略，与基片等高，能准确的监测基片蒸镀膜的膜厚，下法兰3套，其中两个有机源，每个有机源上各有1个水冷探头，可分别监测蒸发速率，方便混蒸。（升级后两个探头可分别监测4个有机蒸发源的蒸发速率）两个金属源共用一个水冷探头，分别监测两个金属源的蒸发速率。探头配2种晶振片，镀金晶振片和镀合金的高应力晶振片。n. 膜厚仪：INFICON 膜厚仪，共4通道。INFICON探头前置振荡器4个。o. 照明灯： 2组p. 电器机柜：1台q. 不锈钢台面的台架r. 预留升级空间，略可升级有机蒸发源到6个s. 无油静音气泵t. 所有不锈钢材料均略304不锈钢"	无

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