原子层沉积压敏式进料系统竞价公告

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原子层沉积压敏式进料系统竞价公告

    
项目名称 原子层沉积压敏式进料系统 项目编号 TYLGJJCG 点击查看>>
公告发布日期 点击查看>> * : * 公告截止日期 点击查看>> * : *
采购单位 (略) 付款条款 货到验收合格后 * 次性支付全款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是 是否需要踏勘 否
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点
采购预算 ￥ * , * . *
送货/施工/服务期限 合同生效之日起 * 日内
送货/施工/服务地址 (略) 迎西校区（ (略) 市 (略) 区 (略) 西大街 * 号）

   采购清单
1
采购内容 计量单位 采购数量 售后服务
原子层沉积压敏式进料系统 套 1 供应商须按国家有关规定及标准完成本次采购商品的供货，运输，安装，调试，技术培训，检验，保证使用人员正常操作软件的各种功能。提供售后服务的联系人和联系电话。按国家有关产品“ * 包” (略) “ * 包”，免费质保期最短不得少于1年。
参考品牌及型号 D5-CS *
技术参数要求 1. 设备整体采用不锈钢框架，面板、侧板和门板均采用抗指纹不锈钢，钢板厚度不低于2.0 mm；2. 抛光不锈钢反应器内径为 * mm，基片尺寸不低于4英寸；反应器采用浇 (略) 加热并导热， (略) 温度均匀性调控，加热温度：室温～ * oC，控制精度不低于±0.3 oC；反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，保证温度稳定性和均匀性；3. 设备管路配置4路源，每路采用耐高温、高速专用阀门，工作压力范围：真空~ * .0 bar，工作温度：0~ * oC；；4. 设备配备4个VCR接口不锈钢原料瓶和2个VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；5. 配置4个加热套，对进气管路 (略) 加热，加热温度不低于 * oC，精度不低于±0.3 oC，升温速度要求可控。要求采用耐高温VCR接口 (略) 径球阀，避免粉末前体堵塞管路。6. 制备薄膜厚度均匀性偏差：低于+/- 1%（偏差测试以 * * 基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，实验温度 * oC）

    
项目名称 原子层沉积压敏式进料系统 项目编号 TYLGJJCG 点击查看>>
公告发布日期 点击查看>> * : * 公告截止日期 点击查看>> * : *
采购单位 (略) 付款条款 货到验收合格后 * 次性支付全款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是 是否需要踏勘 否
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点
采购预算 ￥ * , * . *
送货/施工/服务期限 合同生效之日起 * 日内
送货/施工/服务地址 (略) 迎西校区（ (略) 市 (略) 区 (略) 西大街 * 号）

   采购清单
1
采购内容 计量单位 采购数量 售后服务
原子层沉积压敏式进料系统 套 1 供应商须按国家有关规定及标准完成本次采购商品的供货，运输，安装，调试，技术培训，检验，保证使用人员正常操作软件的各种功能。提供售后服务的联系人和联系电话。按国家有关产品“ * 包” (略) “ * 包”，免费质保期最短不得少于1年。
参考品牌及型号 D5-CS *
技术参数要求 1. 设备整体采用不锈钢框架，面板、侧板和门板均采用抗指纹不锈钢，钢板厚度不低于2.0 mm；2. 抛光不锈钢反应器内径为 * mm，基片尺寸不低于4英寸；反应器采用浇 (略) 加热并导热， (略) 温度均匀性调控，加热温度：室温～ * oC，控制精度不低于±0.3 oC；反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，保证温度稳定性和均匀性；3. 设备管路配置4路源，每路采用耐高温、高速专用阀门，工作压力范围：真空~ * .0 bar，工作温度：0~ * oC；；4. 设备配备4个VCR接口不锈钢原料瓶和2个VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；5. 配置4个加热套，对进气管路 (略) 加热，加热温度不低于 * oC，精度不低于±0.3 oC，升温速度要求可控。要求采用耐高温VCR接口 (略) 径球阀，避免粉末前体堵塞管路。6. 制备薄膜厚度均匀性偏差：低于+/- 1%（偏差测试以 * * 基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，实验温度 * oC）

    
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