江苏大学-竞价公告(CB102992019000449)采购

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江苏大学-竞价公告(CB102992019000449)采购


 
基本信息：
申购单主题： 6英寸双面曝光机
申购单类型： 竞价类
设备类别： 机电设备
使用币种： 人民币
竞价开始时间： 点击查看>> * : *
竞价结束时间： 点击查看>> * : *  我要报价
申购备注：
 
申购设备详情：

设备名称 数量 单位 品牌 型号 是否标配 售后服务 规格配置 附件
6英寸双面曝光机 1 台 无 无 是 售后服务条款 1、 保修期为 * 个月，保修期限自验收合格签字之日起算。 2、 质量保修范围包括 设 (略) 件故障问题（人为损坏除外）。 3、 质量保修责任： （1）在保修期内，得到通知之日后 2 天内派人提供保修服务（包修、包换、包退）， (略) 发生的费用。逾期后使 (略) 委托 (略) 需要的技术支持和售后服务，所发生的费用由销售方承担，使用方直接从销售方质量保证金内扣除或另向销售方追索；如因此造成使用方经济损失的，销售方还应承担赔偿责任。 （2）保修期满后，对设备负责终身维护，只收取成本费。 （3）在国家规定的设备合理使用期限内，应确保设备的质量；如因设备质量原因致使设备在合理使用期限内造成人身和财产损失的，销售方应承担损害赔偿责任。4、使用期内免费移机 * 次。 总体要求，能实现2-6英寸样品的双面对准、单面曝光功能的曝光机。具体要求如下。1.主要技术参数：曝光面积6英寸；曝光波长 * nm，≥ * mW/cm2；分辨力≤1mm，曝光不均匀性±5％；对准精度：≤±2mm（双面），≤±1mm（单面）；掩模包括3英寸、4英寸、5英寸，7英寸 * 种尺寸；样片包括2英寸、3英寸、4英寸、6英寸共 * 种尺寸，样品厚度0.1mm—6mm；曝光方式为定时（倒计时方式）或定剂量；调平接触压力通过传感器保证重复，数字设定对准间隙和曝光间隙，具备压印模块接口，也具备接近模块接口；正面对准采 (略) 对准显微镜，既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍；底面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 * mm- * mm，照明不均匀性： 2％（? * mm 范围），3％（? * mm 范围）；掩模相对 (略) 程，X：±5mm，Y：±5mm，Z≥8mm，q：±6度；最大胶厚： * mm； (略) 性2°以内；具有循环水冷却系统；汞灯功率 * W（直流，进口）。2．设备构成与配置明细：设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、 (略) 显微镜系统、底面CCD对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。（1）曝光头系统包括：冷光椭球镜， * W进口直流高压汞灯，XYZ汞灯调节台，冷却风扇，光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2；（2）对准工件台系统包括：掩模样片相对运动台（XY），转动台（θ），样片自动调平机构，样片调焦机构，承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸），掩模架4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸），并包含相应的上版器，掩模翻转及旋转机构；（3）对准显微镜（带CCD型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：LED照明及配套电源， (略) 对准显微镜主体，目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个），物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个），CCD及光学成像系统，XYZ底面对准工件台（两套）；（4）底面CCD对准系统，LED照明及配套电源，CCD及光学成像系统(2套)，数据采集卡；（5）电控系统：汞灯触发电源( * W直流汞灯)，单片机控制系统，控制柜桌 ，计算机系统（ * 英寸宽屏液晶显示器）；（6）气动系统：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等，电磁阀驱动，气动仪表；（7）其他附件：真空泵 * 台（无油静音型），空压机 * 台（无油静音型），恒温循环水冷却系统 * 套，紫外照度计 * 个， * W汞灯（德国欧司朗，共配2只），管道。 无


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设备名称 数量 单位 品牌 型号 是否标配 售后服务 规格配置 附件
6英寸双面曝光机 1 台 无 无 是 售后服务条款 1、 保修期为 * 个月，保修期限自验收合格签字之日起算。 2、 质量保修范围包括 设 (略) 件故障问题（人为损坏除外）。 3、 质量保修责任： （1）在保修期内，得到通知之日后 2 天内派人提供保修服务（包修、包换、包退）， (略) 发生的费用。逾期后使 (略) 委托 (略) 需要的技术支持和售后服务，所发生的费用由销售方承担，使用方直接从销售方质量保证金内扣除或另向销售方追索；如因此造成使用方经济损失的，销售方还应承担赔偿责任。 （2）保修期满后，对设备负责终身维护，只收取成本费。 （3）在国家规定的设备合理使用期限内，应确保设备的质量；如因设备质量原因致使设备在合理使用期限内造成人身和财产损失的，销售方应承担损害赔偿责任。4、使用期内免费移机 * 次。 总体要求，能实现2-6英寸样品的双面对准、单面曝光功能的曝光机。具体要求如下。1.主要技术参数：曝光面积6英寸；曝光波长 * nm，≥ * mW/cm2；分辨力≤1mm，曝光不均匀性±5％；对准精度：≤±2mm（双面），≤±1mm（单面）；掩模包括3英寸、4英寸、5英寸，7英寸 * 种尺寸；样片包括2英寸、3英寸、4英寸、6英寸共 * 种尺寸，样品厚度0.1mm—6mm；曝光方式为定时（倒计时方式）或定剂量；调平接触压力通过传感器保证重复，数字设定对准间隙和曝光间隙，具备压印模块接口，也具备接近模块接口；正面对准采 (略) 对准显微镜，既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍，物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍，目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍；底面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 * mm- * mm，照明不均匀性： 2％（? * mm 范围），3％（? * mm 范围）；掩模相对 (略) 程，X：±5mm，Y：±5mm，Z≥8mm，q：±6度；最大胶厚： * mm； (略) 性2°以内；具有循环水冷却系统；汞灯功率 * W（直流，进口）。2．设备构成与配置明细：设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、 (略) 显微镜系统、底面CCD对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。（1）曝光头系统包括：冷光椭球镜， * W进口直流高压汞灯，XYZ汞灯调节台，冷却风扇，光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2；（2）对准工件台系统包括：掩模样片相对运动台（XY），转动台（θ），样片自动调平机构，样片调焦机构，承片台4个 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸），掩模架4个 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸），并包含相应的上版器，掩模翻转及旋转机构；（3）对准显微镜（带CCD型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：LED照明及配套电源， (略) 对准显微镜主体，目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个），物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个），CCD及光学成像系统，XYZ底面对准工件台（两套）；（4）底面CCD对准系统，LED照明及配套电源，CCD及光学成像系统(2套)，数据采集卡；（5）电控系统：汞灯触发电源( * W直流汞灯)，单片机控制系统，控制柜桌 ，计算机系统（ * 英寸宽屏液晶显示器）；（6）气动系统：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等，电磁阀驱动，气动仪表；（7）其他附件：真空泵 * 台（无油静音型），空压机 * 台（无油静音型），恒温循环水冷却系统 * 套，紫外照度计 * 个， * W汞灯（德国欧司朗，共配2只），管道。 无


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