高真空电阻蒸发镀膜设备
高真空电阻蒸发镀膜设备
序号 | 产品名称 | 品牌 | 产品类别 | 型号 | 数量 | 单位 | 是否标配 | 详情 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 无 | 真空镀膜机及附属装置 | 无 | 1. * | 套 | 是 | |
规格配置:1.有现货,中标以后 * 周内到货;2.真空腔室:直径不小于 * mm,高度不小于 * mm;3.真空系统:真空机组采用分子泵+直联旋片泵;主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于 * L/s;前级泵抽速不小于 * 立方米每小时,分子泵和前泵泵需采用国产或进口知名品牌;4.真空极限:优于2.0× * -5Pa;5.抽速:抽至2.0× * -4P≤ * min;6.样品台:尺寸不小于 * * * mm,样品台旋转,转速0- * rpm连续可调,提供 * 套掩膜板;7.源基距:源基距最高可达 * mm以上;8.可在线监测镀膜速率和厚度,膜厚仪采用国产或进口知名品牌;9.蒸发源及电源:不少于 * 组蒸发源,可拓展至 * 组;蒸发电源功率不小于3Kw; * .报警及保护:对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施;完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护; * .交货周期:合同签订后1周; * .其他:配齐设备需要的其它外围设备,冷水机 * 台,设备备品备件 * 套,要求设备到位后即能开展工作; * .可沉积常见金属、非金属、化合物及有机物薄膜材料; * .产品质保期为2年以上;质保期内设备的维修免费,质保期内由于设备本身原因而引起的零配件的更换, (略) 商承担; * .厂家需随时 (略) 及维护,保证 (略) 。在接到故障通知2小时内给予解答;对于设备故障,在接到故障通知后 * 小 (略) 。质保期以外对设备终身维护,所有配件、备件质保期外长期按成本价及时提供; * .安装调试验收:货到后 * 个工作日内,完 (略) 安装调试并培训用户使用该系统, (略) (略) 验收。 | ||||||||
售后服务:1. * 周内到货;2.产品质保期为2年以上;质保期内设备的维修免费,质保期内由于设备本身原因而引起的零配件的更换, (略) 商承担;3.厂家需随时 (略) 及维护,保证 (略) 。在接到故障通知2小时内给予解答;对于设备故障,在接到故障通知后 * 小 (略) 。质保期以外对设备终身维护,所有配件、备件质保期外长期按成本价及时提供;4.安装调试验收:货到后 * 个工作日内,完 (略) 安装调试并培训用户使用该系统, (略) (略) 验收。 |
序号 | 产品名称 | 品牌 | 产品类别 | 型号 | 数量 | 单位 | 是否标配 | 详情 |
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1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 无 | 真空镀膜机及附属装置 | 无 | 1. * | 套 | 是 | |
规格配置:1.有现货,中标以后 * 周内到货;2.真空腔室:直径不小于 * mm,高度不小于 * mm;3.真空系统:真空机组采用分子泵+直联旋片泵;主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于 * L/s;前级泵抽速不小于 * 立方米每小时,分子泵和前泵泵需采用国产或进口知名品牌;4.真空极限:优于2.0× * -5Pa;5.抽速:抽至2.0× * -4P≤ * min;6.样品台:尺寸不小于 * * * mm,样品台旋转,转速0- * rpm连续可调,提供 * 套掩膜板;7.源基距:源基距最高可达 * mm以上;8.可在线监测镀膜速率和厚度,膜厚仪采用国产或进口知名品牌;9.蒸发源及电源:不少于 * 组蒸发源,可拓展至 * 组;蒸发电源功率不小于3Kw; * .报警及保护:对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施;完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护; * .交货周期:合同签订后1周; * .其他:配齐设备需要的其它外围设备,冷水机 * 台,设备备品备件 * 套,要求设备到位后即能开展工作; * .可沉积常见金属、非金属、化合物及有机物薄膜材料; * .产品质保期为2年以上;质保期内设备的维修免费,质保期内由于设备本身原因而引起的零配件的更换, (略) 商承担; * .厂家需随时 (略) 及维护,保证 (略) 。在接到故障通知2小时内给予解答;对于设备故障,在接到故障通知后 * 小 (略) 。质保期以外对设备终身维护,所有配件、备件质保期外长期按成本价及时提供; * .安装调试验收:货到后 * 个工作日内,完 (略) 安装调试并培训用户使用该系统, (略) (略) 验收。 | ||||||||
售后服务:1. * 周内到货;2.产品质保期为2年以上;质保期内设备的维修免费,质保期内由于设备本身原因而引起的零配件的更换, (略) 商承担;3.厂家需随时 (略) 及维护,保证 (略) 。在接到故障通知2小时内给予解答;对于设备故障,在接到故障通知后 * 小 (略) 。质保期以外对设备终身维护,所有配件、备件质保期外长期按成本价及时提供;4.安装调试验收:货到后 * 个工作日内,完 (略) 安装调试并培训用户使用该系统, (略) (略) 验收。 |
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