ALD喷淋板清洗及通孔采购

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行号 物料编码 物料名称 品牌 型号 物料描述 采购量 附言及附件

1 - ALD喷淋板清洗及通孔 - - 喷淋板清洗要求：1.祛除表面的AL2O3沉积物，洁净度达到SA2.5级，粗糙度读RZ * - * UM2.表面无损伤，表面无其它杂质或油污（禁止手触摸）3.清洗后的喷淋板外观无色差，所做产品效率和baseline无差异4.无变形、弯曲、脏污5.喷淋板板孔通气，大小与原尺寸 * 致 1套
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