序号

资产说明

数量

启用日期

型号

供应商

1

高温扩散系统

2

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中国电子科技 (略)

2

高温扩散系统

3

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中国电子科技 (略)

3

扩散炉

1

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4

硅片制绒面

1

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5

PSG清洗机2

1

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(略) * 星 (略)

6

超声波清洗机

1

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(略) 市捷 (略)

7

手动制绒清洗机

1

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6槽

(略) (略)

8

手工清洗机

1

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(略) 阳 (略)

9

刻蚀机

1

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H * - * /ZM

(略) * 星 (略)

*

等离子刻蚀机

*

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中国电子科技 (略)

*

等离子刻蚀机

1

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PE- *

(略) 市捷 (略)

*

等离子刻蚀机

1

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中国电子科技 (略)

*

等离子刻蚀机

1

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PE- * A

(略) 市捷 (略)

*

等离子刻蚀机

1

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PE- *

(略) 市捷佳伟创微电子设备

*

等离子刻蚀机

1

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中国电子科技 (略)

*

等离子体刻蚀机

2

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*

等离子体刻蚀机

1

*

中国电子科技第 (略)

*

箱式等离子体刻蚀机

2

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(略) * 星 (略)

*

工控机

1

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*

热风循环烘箱

1

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GMH- *

*

热风循环烘箱

1

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GMH- *

(略) (略)

*

热风循环烘箱

1

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GMH- *

(略) (略)

*

热风循环隧道烘箱

2

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GMH- *

(略) (略)

*

热风循环隧道烘箱

2

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GWH- *

(略) (略)

*

热风循环隧道烘箱

1

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GMH- *

(略) (略)

*

热风循环隧道烘箱

2

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GMH- *

(略) (略)

*

热风循环隧道烘箱

1

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GMH- *

(略) (略)

*

无尘烤箱

1

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XTS- *

(略) (略)

*

无尘烤箱

1

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XTS *

(略) (略)

*

烤箱

1

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XTS— *

(略) (略)

*

烤箱

1

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XT *

*

自制摞片机

1

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自制

*

自制摞片机

1

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自制

*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

自制摞片机

1

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*

等离子刻蚀机

1

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PE- *

(略) 市捷佳伟创微电子设备

*

板P

1

*

R&R

合计

*