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流量计维修，型号：F- * CV- * -PAD- * -Z、品牌：Bronkhorst、气体：SiH4、NH4

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PECVD流量计维修，型号：F- * CV- * -PAD- * -Z、品牌：Bronkhorst、气体：SiH4、量程6- * sccm，SN:M 点击查看>> Q、SN:M 点击查看>> H，故障：流量计流量设定不准，需要维修

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