(略) - 竞价公告 (CB
点击查看>> ) 发布时间:
点击查看>> * : * : * 截止时间:
点击查看>> * : * : * 基本信息: 申购单号:CB
点击查看>> 申购主题:高真空磁控溅射镀膜与手套箱连接设备 采购单位: (略) 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算:
点击查看>>点击查看>> 签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间:合同签订后7天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/
点击查看>>* 我要报价 付款方式:货到验收合格后付款 备注说明: 申购明细: 序号 1 采购内容 高真空磁控溅射镀膜与手套箱连接设备 数量 1 预算单价 品牌 昊通科技 型号 HAOT-C * 规格参数 * :设备组成及技术性能 极限真空指标:5.0x * -5Pa 实验真空指标:从大气抽至4.8x * -4Pa 真空室漏率:漏率为关机 * 小时≤ * Pa; 1、磁控射频溅射沉积室组件 1.1、HT-C * 型磁控溅射镀膜真体真空室为D形腔体,腔体尺寸约为 * mm× * mm。上面开有连接蒸发源、分子泵、真空规、照明、观察窗、备用接口、样品台法兰接口,与手套箱连接系统,机械传递样品系统。 (略) 采用1Cr * Ni9Ti不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面特殊工艺, (略) 理,外表美观。 1.2HT-C * 型磁控溅射镀膜真空体、真空室上端样品台可以根据需要拆卸,真空前面方门可以最大限度保证更换材料操作空间。 1.3、HT-CW * 真空室前手动水平滑动方型门,方便更换溅射靶材。 1.4、HT-CX * 真空沉积腔体与手套箱有密封装置,可以根据需要独立,兼容联动完成各项操作。 1.5、HT-CS * 样品手动传递,不破坏,手套箱气氛氛围,把样品从沉积腔体传递手套箱内。 1.6、HT-DS * 质量流量计,控制氩气,氧气流量装置。 1.7、HT-HS * 两路气体混合装置,氩气,氧气,按需要比例混合,此外,两路气体可单独通入真空室内装置。 1.8、HT-M * 真空室舱门外有手套隔离系统,可以在惰性气氛更换蒸发舟材料。 1.9、HT-D * 腔体可以充入纯净氮气,氩气等,氧气。 2、HT-CS * 样品沉积升降转台机构:直径 * mm 1套 2.1、HT-C * 不锈钢蒸发基片托1个,可容纳样品最大尺寸: * * * mm。(抽插式结构) 2.2、HT-R * 样品可电动操作旋转、样品高温可加热(0-- * 度)。 2.3、HT-C * 样品可由电机驱动CF * 磁力转轴驱动,转速连续可调;转速:转速0~ * 转/分 2.4、HT-CD * 手动直接转轴驱动样品挡板1套。 2.5、HT-C * 样平台可以根据操作需要上下升降调整距离 0-- * mm 3、磁控射频溅射源:2套 3.1、HTD-RF * 每个磁控溅射靶可以独立用电源控制( 射频 * W 两套,直流 * W * 套)。 3.2、HT-DC * 2英寸靶材,可以反复更换不同靶材。 3.3、HT-Y * 每个靶有自己独立电动挡板,防止靶材溅射相互污染。 3.4、HT-SH * 每个靶 根据使用需要角度可以调整. 4、真空系统及真空测量: 4.1、TYH- * Z分子泵及控制电源: 1套 抽速: * L/S 4.2,VRD- * 机械泵及电磁阀:1套 抽速:4L/S, 4.3、HT-RB * 金属软连接前极管道 : 2套 (各1套) 4.4、HT-W * 高真空闸板阀,直角阀:2套(各1套) 4.5、HT-D * 高真空充气,放气阀 :2套 5、真空测量及电控系统 : 5.1、ZDF-DC * 数显真空计电阻规: 1.0x * Pa ---1.0x * -1Pa : 1只 电离规: 1.0x * -1Pa ---1.0x * -5Pa : 1只 5.2、HTD- * 衬底加热电源: 1套 5.3、HTD- * 总控电源:为机械泵、真空计等提供电源: 1台 5.4、RF- * 磁控射频电源( * V): 2套 5.5、HTD-D * 照明电源:1套 5.6、HTD-XV * 断水保护: 1套 5.7、HT-XL * L智能循环水箱 1套 5.8、HTD-RF * 直流电源( * W) 1套 5.9、HT-DS * 两路质量流量计及显示器 1套 (氧气,氩气) * :设备培训 1、培训时间:3-4天 培训人数:2~3人 2、培训内容及要求: 1)了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法 2)熟练掌握整套系统的操作规程,可以让操作者独立实验操作。 3)能够对设备的 (略) 诊断和简单维修,进行易损件的更换 4)对 (略) 日常的维护和保养。 3、提供终身人员培训:可以为客户培训操作人员,不限人次。 * :设备实现功能 1;设备整体与手套箱连接,设备独立密封 2;保证设备与手套箱接口密闭 3;保证手套箱内独立水,氧质保符合, (略) 干扰 4;有效溅射材料,做出合格膜样品 5;经过培训可以让操作者独立完成设备实验 * :供货时间及要求 设备竞价完成后 * 个工作日,供货商把设 (略) 实验室内,调试安装,培训。 供货商必须满足以上制定的技术参数及各个单元的型号 质保及售后服务 按行业标准提供服务
(略) - 竞价公告 (CB
点击查看>> ) 发布时间:
点击查看>> * : * : * 截止时间:
点击查看>> * : * : * 基本信息: 申购单号:CB
点击查看>> 申购主题:高真空磁控溅射镀膜与手套箱连接设备 采购单位: (略) 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算:
点击查看>>点击查看>> 签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间:合同签订后7天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/
点击查看>>* 我要报价 付款方式:货到验收合格后付款 备注说明: 申购明细: 序号 1 采购内容 高真空磁控溅射镀膜与手套箱连接设备 数量 1 预算单价 品牌 昊通科技 型号 HAOT-C * 规格参数 * :设备组成及技术性能 极限真空指标:5.0x * -5Pa 实验真空指标:从大气抽至4.8x * -4Pa 真空室漏率:漏率为关机 * 小时≤ * Pa; 1、磁控射频溅射沉积室组件 1.1、HT-C * 型磁控溅射镀膜真体真空室为D形腔体,腔体尺寸约为 * mm× * mm。上面开有连接蒸发源、分子泵、真空规、照明、观察窗、备用接口、样品台法兰接口,与手套箱连接系统,机械传递样品系统。 (略) 采用1Cr * Ni9Ti不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面特殊工艺, (略) 理,外表美观。 1.2HT-C * 型磁控溅射镀膜真空体、真空室上端样品台可以根据需要拆卸,真空前面方门可以最大限度保证更换材料操作空间。 1.3、HT-CW * 真空室前手动水平滑动方型门,方便更换溅射靶材。 1.4、HT-CX * 真空沉积腔体与手套箱有密封装置,可以根据需要独立,兼容联动完成各项操作。 1.5、HT-CS * 样品手动传递,不破坏,手套箱气氛氛围,把样品从沉积腔体传递手套箱内。 1.6、HT-DS * 质量流量计,控制氩气,氧气流量装置。 1.7、HT-HS * 两路气体混合装置,氩气,氧气,按需要比例混合,此外,两路气体可单独通入真空室内装置。 1.8、HT-M * 真空室舱门外有手套隔离系统,可以在惰性气氛更换蒸发舟材料。 1.9、HT-D * 腔体可以充入纯净氮气,氩气等,氧气。 2、HT-CS * 样品沉积升降转台机构:直径 * mm 1套 2.1、HT-C * 不锈钢蒸发基片托1个,可容纳样品最大尺寸: * * * mm。(抽插式结构) 2.2、HT-R * 样品可电动操作旋转、样品高温可加热(0-- * 度)。 2.3、HT-C * 样品可由电机驱动CF * 磁力转轴驱动,转速连续可调;转速:转速0~ * 转/分 2.4、HT-CD * 手动直接转轴驱动样品挡板1套。 2.5、HT-C * 样平台可以根据操作需要上下升降调整距离 0-- * mm 3、磁控射频溅射源:2套 3.1、HTD-RF * 每个磁控溅射靶可以独立用电源控制( 射频 * W 两套,直流 * W * 套)。 3.2、HT-DC * 2英寸靶材,可以反复更换不同靶材。 3.3、HT-Y * 每个靶有自己独立电动挡板,防止靶材溅射相互污染。 3.4、HT-SH * 每个靶 根据使用需要角度可以调整. 4、真空系统及真空测量: 4.1、TYH- * Z分子泵及控制电源: 1套 抽速: * L/S 4.2,VRD- * 机械泵及电磁阀:1套 抽速:4L/S, 4.3、HT-RB * 金属软连接前极管道 : 2套 (各1套) 4.4、HT-W * 高真空闸板阀,直角阀:2套(各1套) 4.5、HT-D * 高真空充气,放气阀 :2套 5、真空测量及电控系统 : 5.1、ZDF-DC * 数显真空计电阻规: 1.0x * Pa ---1.0x * -1Pa : 1只 电离规: 1.0x * -1Pa ---1.0x * -5Pa : 1只 5.2、HTD- * 衬底加热电源: 1套 5.3、HTD- * 总控电源:为机械泵、真空计等提供电源: 1台 5.4、RF- * 磁控射频电源( * V): 2套 5.5、HTD-D * 照明电源:1套 5.6、HTD-XV * 断水保护: 1套 5.7、HT-XL * L智能循环水箱 1套 5.8、HTD-RF * 直流电源( * W) 1套 5.9、HT-DS * 两路质量流量计及显示器 1套 (氧气,氩气) * :设备培训 1、培训时间:3-4天 培训人数:2~3人 2、培训内容及要求: 1)了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法 2)熟练掌握整套系统的操作规程,可以让操作者独立实验操作。 3)能够对设备的 (略) 诊断和简单维修,进行易损件的更换 4)对 (略) 日常的维护和保养。 3、提供终身人员培训:可以为客户培训操作人员,不限人次。 * :设备实现功能 1;设备整体与手套箱连接,设备独立密封 2;保证设备与手套箱接口密闭 3;保证手套箱内独立水,氧质保符合, (略) 干扰 4;有效溅射材料,做出合格膜样品 5;经过培训可以让操作者独立完成设备实验 * :供货时间及要求 设备竞价完成后 * 个工作日,供货商把设 (略) 实验室内,调试安装,培训。 供货商必须满足以上制定的技术参数及各个单元的型号 质保及售后服务 按行业标准提供服务
65