(略) - 竞价公告 (CB 点击查看>> )
发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
申购单号：CB 点击查看>> 申购主题：射频磁控溅射 采购单位： (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：点击查看>>点击查看>>
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 市/市辖区/ (略) 区/点击查看>>* 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
* GS 点击查看>>
申购明细：
序号
1
采购内容
射频磁控溅射
数量
1套
预算单价
品牌 (略) 科学仪器
型号 TPR *
规格参数 系统的主要组成及技术指标： 溅射室极限真空度：≤5x * -6Pa(经烘烤除气后) 系统从大气开始抽气：溅射室 * 分钟可达到5x * -4 Pa 系统停泵关机 * 小时后真空度：≤0.5Pa 。 1 、溅射真空室 真空室为圆筒形前开门结构，全不锈钢结构。可内烘烤到 * ～ * ℃ Dg * 法兰接口：1个（观察窗口） Dg * 法兰接口：5个（进气阀、放气阀、热偶规管，电极引线，备用1个） Dg * 法兰接口：5个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用2个) Dg * 法兰接口：1个（接分子泵） Dg * 法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板） Dg * 法兰接口：1个（用来安装样品台） 腔室预留 * 个膜厚仪探头接口 。 2 、磁控溅射系统：3套 靶材尺寸：2英寸 提供靶材：铜、钛、铝各 * 块（仅供测试靶材用）；测试射频靶使用 * 氧化硅靶材 永磁靶（其中 * 个可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷 每个靶都配备气动控制挡板组件1套 靶在下，向上溅射，具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能 暴露大气下，磁控靶可手动调节共溅射角度 * w直流电源，2台 * w全自动调谐射频电源，1台 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为： * ~ * mm 。 3 、旋转加热基片台 基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品 基片通过进口加热丝加热方式，加热炉加热温度：室温～ * °C，连续可调；加热系统由加热器和1个加热控温电源组成，控温方式为PID自动控温及数字显示 基片自转速度5～ * 转/分连续可调 气动控制样品挡板组件 1套 样品台安装- * V偏压电源（辅助沉积）。 4 、工作气路 氩气 * SCCM、氧气 * SCCM、氮气（ * SCCM）质量流量控制器、Dg * 截止阀、管路、接头等共3路；经过混气室，由Dg * 进气阀往真空室内充入工作气体。 Dg * 放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）。 5、抽气机组及阀门、管道（此配置抽速快、真空度高） 脂润滑分子泵及变频控制电源：1台 旋片真空泵：1台 插板阀：1台（用于复合分子泵与真空室隔离） 旁抽角阀：1台 高真空挡板阀：1台 电磁压差式充气阀：1台 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套 。 6、安装机台架组件 优质铝型材拼装成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰； * 个脚轮，可固定，可移动。。 7、真空测量：采用数 (略) 测量，测量范围：1x * Pa-1x * -8Pa 工艺真空测量：采用薄膜压 (略) 测量，测量范围： * Pa-0. * Pa 。 8、水冷旋转基片台。 基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品 基片通过进口冷 (略) 冷却 基片自转速度5～ * 转/分连续可调 气动控制样品挡板组件 1套
质保及售后服务 按行业标准提供服务
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基本信息：
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1套
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型号 TPR *
规格参数 系统的主要组成及技术指标： 溅射室极限真空度：≤5x * -6Pa(经烘烤除气后) 系统从大气开始抽气：溅射室 * 分钟可达到5x * -4 Pa 系统停泵关机 * 小时后真空度：≤0.5Pa 。 1 、溅射真空室 真空室为圆筒形前开门结构，全不锈钢结构。可内烘烤到 * ～ * ℃ Dg * 法兰接口：1个（观察窗口） Dg * 法兰接口：5个（进气阀、放气阀、热偶规管，电极引线，备用1个） Dg * 法兰接口：5个(电离规管、旁抽阀、外照明、备用2个) Dg * 法兰接口：1个（接分子泵） Dg * 法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板） Dg * 法兰接口：1个（用来安装样品台） 腔室预留 * 个膜厚仪探头接口 。 2 、磁控溅射系统：3套 靶材尺寸：2英寸 提供靶材：铜、钛、铝各 * 块（仅供测试靶材用）；测试射频靶使用 * 氧化硅靶材 永磁靶（其中 * 个可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷 每个靶都配备气动控制挡板组件1套 靶在下，向上溅射，具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能 暴露大气下，磁控靶可手动调节共溅射角度 * w直流电源，2台 * w全自动调谐射频电源，1台 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为： * ~ * mm 。 3 、旋转加热基片台 基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品 基片通过进口加热丝加热方式，加热炉加热温度：室温～ * °C，连续可调；加热系统由加热器和1个加热控温电源组成，控温方式为PID自动控温及数字显示 基片自转速度5～ * 转/分连续可调 气动控制样品挡板组件 1套 样品台安装- * V偏压电源（辅助沉积）。 4 、工作气路 氩气 * SCCM、氧气 * SCCM、氮气（ * SCCM）质量流量控制器、Dg * 截止阀、管路、接头等共3路；经过混气室，由Dg * 进气阀往真空室内充入工作气体。 Dg * 放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）。 5、抽气机组及阀门、管道（此配置抽速快、真空度高） 脂润滑分子泵及变频控制电源：1台 旋片真空泵：1台 插板阀：1台（用于复合分子泵与真空室隔离） 旁抽角阀：1台 高真空挡板阀：1台 电磁压差式充气阀：1台 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套 。 6、安装机台架组件 优质铝型材拼装成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰； * 个脚轮，可固定，可移动。。 7、真空测量：采用数 (略) 测量，测量范围：1x * Pa-1x * -8Pa 工艺真空测量：采用薄膜压 (略) 测量，测量范围： * Pa-0. * Pa 。 8、水冷旋转基片台。 基片尺寸和数量：最大可放置1片4英寸圆形样品 基片通过进口冷 (略) 冷却 基片自转速度5～ * 转/分连续可调 气动控制样品挡板组件 1套
质保及售后服务 按行业标准提供服务
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