(略) - 竞价公告 (CB 点击查看>> )
发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
申购单号：CB 点击查看>> 申购主题：PECVD管式炉系统 采购单位： (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：点击查看>>点击查看>>
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>* 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
1.该项目有定制产品，不接受标准品报价，避免报价中标后不符合要求；2.本项目由于急于应用，因此送货时间要求比较紧张，建议慎重考虑是否在规定时间内能够完成后再报价；3.报价价格包括将货 (略) 的运费、安装调试与培训等 * 切费用；4.供应商限 (略) 地区；5.所有仪器如不能通过验收，采购人有权利拒收或退货；6.送货上楼，厂家工程师提供验货安装调试和培训，并提供维护；7： (略) 家对于此项目的授权。
申购明细：
序号
1
采购内容
PECVD管式炉系统
数量
1套
预算单价
品牌 (略) 科晶
型号 OTF- * X- * S-PE
规格参数 技术参数配置： (1): 加热系统，最高温度 * ℃，小于 * 分钟，可连续工作温度 点击查看>> ℃；输入电源 点击查看>> V，功率1.2KW；炉膛保温材料采用进口高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命；炉管采用高纯石英管φ * * * mm；可设 * 段多程序升降温，并带有过热和断偶保护功能；恒温区： * mm（±1℃）@ * ℃，样品实测温度与仪表显示温度≤5℃；不锈钢法兰带自动泄压功能，炉管内压力高于0.3Mpa可自动泄压。壳体温度＜ * ℃，开门后自动断电可最大程度上保证实验人员的安全；炉体设有机械滑轨，可实现快速升降温。配合等离子体射频电源，可控制薄膜的应力。真空法兰采用 * 材质，左端法兰上安装有KF- * 真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀。法兰具有保温功能，可避免样品冷却和堵塞， (略) 有部件均经CE认证。 等离子体射频电源系统，射出功率：5- * W可调，稳定性：±1%；射频电源频率： * . * Mhz，稳定性±0. * %，最大反向功率： * W，自动匹配，射频电源电子端输出端口： * Ω，N型半导体，阴极；噪声：＜ * db，采用风冷的冷却方式，电源： 点击查看>> VAC， * / * Hz， (略) 件均经CE认证。 真空系统：电源：AC * V * hz 1/2HP * W；2Liter/S;出气端安装有油雾过滤器，并可直观的观察出气速率和软管是否堵塞情况；真空度： * -2tor；噪声：＜ * db。 供气系统：供电电源: * ~ * V/ * Hz；最大功耗: * W；量程范围: 通道 1: 1~ * .9SCCM，通道 2: 1~ * SCCM ，通道 3: 1~ * SCCM ，工作环境温度: 5~ * oC ，最大耐压: 3x * Pa，重复精度: ±1% FS ；压力量程范围:-0.1~0. * MPa (0. * MPa/grid)；混气室：Φ * X * mm；尺寸： * x * x * mm；针阀： * 不锈钢；气体压力和流量数据在同 * 平面直观可读，外形美观、实用，操作简便；采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作；所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。各通道的气路设定和查看都集中在 * 6"的触摸屏上，RS * 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制， (略) 件均经CE认证。 气路要求： 气体气源为国标 * L * 公斤标准气瓶，主体设备有： * 级控压面板——不锈钢高压管道—— * 级控压面板至终端设备。 氩气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 氮气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 氢气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 * 烯 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 管道设计：1/半自动切换系统面板 (略) 粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。 2/所有 * L钢瓶均采用钢瓶固定架（阻燃ABS材质）固定，防止钢瓶倒落。 3/因涉及气体较多，含腐蚀气体、有毒气体、可燃气体、助燃气体、高纯气体，因此管道采用SS- * L不锈钢管，BA (略) 理，保证气体的纯度。接头和阀门主体采用SUS * 不锈钢，根据不同气体类型选用不同密封材料， (略) 位（例如弹簧） (略) 件，卡套螺 (略) 理，可重复使用。充分保障使用安全。 4/所有与钢瓶连 (略) 分采用不锈钢软管，便于钢瓶的更换连接。软管的 (略) 有钢瓶阀 * * 对应，防止混接，确保安全。 5/所有气源的控制面板配置吹扫阀，防止气瓶更换使用时将盘管内的空气带入主供气管路，确保供气系统不受到空气的污染。 6/ (略) 有的控制阀采用国产膜片阀，耐压高，对气体不会造成颗粒的污染。 7/ (略) 有气源压力控制面板设有安全阀，确保系统压力安全使用，保护仪器。 8/吹扫气路分类收集、固定牢固，方便采用软管将排放气体传导到安 (略) 排放。吹扫气路系统同时能实现余气排放功能。可燃气体不应与含氧气体公用排放管，对于可燃气体应在排放管末端设置回火防止器，防止意外的回火现象，确保安全。 9/系统中可燃气体的控制面板设有回火防止器。 * / (略) 有管道连接完毕后， (略) 耐压强度试验， (略) 泄漏检测。 * /气体管路在铺设过程中做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔 * 定距离应设置 * 组管卡。卡具由阻燃PVC制作而成，美观大方。尽量减少管路弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径， (略) 位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。 * /本系统氩气末端采用 * 次减压系统，所有 * 次减压器安装在用气仪器附近墙面的上，方便操作维护，美观大方。 * 次减压器系统的出口连接尺寸与仪器设 (略) 尺寸 * * 对应。 * 次减压阀能保证仪器的使用压力不受其他仪器的影响，输出稳定。同时末端配有不锈钢球阀，可以起到开关作用，在仪器不用时可关闭气体来源，方便后期 * 级减压阀的维修保养。 * / 配管时的每根管道每个管件均要用高压的高纯氮气（纯度 * . * %）进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要 (略) 大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。 * /同 * 气种、不同浓度的气体应集中、顺序摆放，以利于查找及操作； * /气瓶间内存放的气体应按国家规定必须分类分库存放。 * / (略) 有管道穿过墙体的位置采用套管，间隙用不可 (略) 填充。 配件清单： 序号 产品名称 型号规格 单位 数量 1 * 级减压阀 全不锈钢 * L，BA级别（走高纯气，内抛光，表面光洁度0. 4），钢瓶指示压力0- * Mpa，出气端指示压力0-0. * Mpa 套 4 2 高压金属波纹管 GPS- * * 端接指定钢瓶（不含钢瓶接头），另 * 端接 * 级减压阀（1/4NPT），内部洁净，耐压 * PS 根 4 3 气瓶接头 * L-G5/8 套 3 4 气瓶接头 * L-W * .8 套 1 5 双外丝接头 全不锈钢 * L，BA级别，1/4NPT 套 4 6 转换接头 1/4卡套转1/4NPT 套 8 7 报警探头 探头（可燃） 套 1 8 阻火器 1/4OD”，无泄漏，气体检漏漏率：1* * -9cc/S内抛光（BA级）, 耐压 * psi 个 1 9 球阀 材质SS- * L.尺寸1/4OD”，耐压 * PSI 个 4 * 防爆气瓶柜 双瓶 不带报警 个 1 * 防爆气瓶柜 双瓶 带报警 个 1 * 小计： 　 　 　 * 终端球阀 1/4OD”，无泄漏，气体检漏漏率：1* * -9cc/S内抛光（BA级）, 耐压 * psi 个 4 * 1/4OD”不锈钢管道 1/4OD” ， * SS不锈钢无缝管，无擦伤，适于弯曲和扩口，表面光洁，管道经过光亮退火（BA级），超声波清洗，内外抛光 米 * 施工要求： 1统气体管路的连接采用无缝焊接技术，只有连接到阀门和压力调节装置时，才可以使用相关压力配件。 5.2.2气体管路管夹固定间隔不大于1.5米， (略) 都要分别在 (略) 支 (略) 用管线支架采用气体管路专用铝制支架( * mm* * mm)，最大限度防腐防锈。（提供管道固定集成样品） 5.2.3直线型终端调压阀门使用铝制专用固定块（宽 * mm,高 * mm，厚 * mm，）固定盘面上方 (提供调压阀盘面固定集成样品，包含不锈钢面板、管道球阀、固定面板) 5.2.4气体管道不和电缆、导电线路同架敷设，弯管采用专用弯管器操作，切管采用专用切管器操作。 5.2.5所有管路沿天花板下面布设。引入实验室的各种气体管道支管宜明敷，管线横平竖直。调压阀门盘面固定高度为墙面离地1.5m。 5.2.6仪器工作台上要求均匀的排放各种气体的出口点。 5.2.7气体管路都要通过 (略) 明确标示，同时指出气体的流向。 2.2.8气 (略) 理部分，保证操作人员安全和环境卫生。
质保及售后服务 自仪器验收合格之日起，整机保修期：1年。培训服务（使用过程给予的培训次数）：除去装机培训之外，保修期内每年再提供至少 * 次培训。在保修期内，属产 (略) 发生的 * 切费用由供方负担。提供技术支持，在接到买方仪器报修通知后，在2小时内予以应答，并在2 (略) 维修，保证仪器的正常工作。供方在 (略) 必须具有专业的维修工程师，能有效保证售后维修服务。

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发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
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签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>* 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
1.该项目有定制产品，不接受标准品报价，避免报价中标后不符合要求；2.本项目由于急于应用，因此送货时间要求比较紧张，建议慎重考虑是否在规定时间内能够完成后再报价；3.报价价格包括将货 (略) 的运费、安装调试与培训等 * 切费用；4.供应商限 (略) 地区；5.所有仪器如不能通过验收，采购人有权利拒收或退货；6.送货上楼，厂家工程师提供验货安装调试和培训，并提供维护；7： (略) 家对于此项目的授权。
申购明细：
序号
1
采购内容
PECVD管式炉系统
数量
1套
预算单价
品牌 (略) 科晶
型号 OTF- * X- * S-PE
规格参数 技术参数配置： (1): 加热系统，最高温度 * ℃，小于 * 分钟，可连续工作温度 点击查看>> ℃；输入电源 点击查看>> V，功率1.2KW；炉膛保温材料采用进口高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命；炉管采用高纯石英管φ * * * mm；可设 * 段多程序升降温，并带有过热和断偶保护功能；恒温区： * mm（±1℃）@ * ℃，样品实测温度与仪表显示温度≤5℃；不锈钢法兰带自动泄压功能，炉管内压力高于0.3Mpa可自动泄压。壳体温度＜ * ℃，开门后自动断电可最大程度上保证实验人员的安全；炉体设有机械滑轨，可实现快速升降温。配合等离子体射频电源，可控制薄膜的应力。真空法兰采用 * 材质，左端法兰上安装有KF- * 真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀。法兰具有保温功能，可避免样品冷却和堵塞， (略) 有部件均经CE认证。 等离子体射频电源系统，射出功率：5- * W可调，稳定性：±1%；射频电源频率： * . * Mhz，稳定性±0. * %，最大反向功率： * W，自动匹配，射频电源电子端输出端口： * Ω，N型半导体，阴极；噪声：＜ * db，采用风冷的冷却方式，电源： 点击查看>> VAC， * / * Hz， (略) 件均经CE认证。 真空系统：电源：AC * V * hz 1/2HP * W；2Liter/S;出气端安装有油雾过滤器，并可直观的观察出气速率和软管是否堵塞情况；真空度： * -2tor；噪声：＜ * db。 供气系统：供电电源: * ~ * V/ * Hz；最大功耗: * W；量程范围: 通道 1: 1~ * .9SCCM，通道 2: 1~ * SCCM ，通道 3: 1~ * SCCM ，工作环境温度: 5~ * oC ，最大耐压: 3x * Pa，重复精度: ±1% FS ；压力量程范围:-0.1~0. * MPa (0. * MPa/grid)；混气室：Φ * X * mm；尺寸： * x * x * mm；针阀： * 不锈钢；气体压力和流量数据在同 * 平面直观可读，外形美观、实用，操作简便；采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作；所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。各通道的气路设定和查看都集中在 * 6"的触摸屏上，RS * 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制， (略) 件均经CE认证。 气路要求： 气体气源为国标 * L * 公斤标准气瓶，主体设备有： * 级控压面板——不锈钢高压管道—— * 级控压面板至终端设备。 氩气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 氮气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 氢气 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 * 烯 单瓶供气，独立出口，1/4英制不锈钢管道 管道设计：1/半自动切换系统面板 (略) 粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。 2/所有 * L钢瓶均采用钢瓶固定架（阻燃ABS材质）固定，防止钢瓶倒落。 3/因涉及气体较多，含腐蚀气体、有毒气体、可燃气体、助燃气体、高纯气体，因此管道采用SS- * L不锈钢管，BA (略) 理，保证气体的纯度。接头和阀门主体采用SUS * 不锈钢，根据不同气体类型选用不同密封材料， (略) 位（例如弹簧） (略) 件，卡套螺 (略) 理，可重复使用。充分保障使用安全。 4/所有与钢瓶连 (略) 分采用不锈钢软管，便于钢瓶的更换连接。软管的 (略) 有钢瓶阀 * * 对应，防止混接，确保安全。 5/所有气源的控制面板配置吹扫阀，防止气瓶更换使用时将盘管内的空气带入主供气管路，确保供气系统不受到空气的污染。 6/ (略) 有的控制阀采用国产膜片阀，耐压高，对气体不会造成颗粒的污染。 7/ (略) 有气源压力控制面板设有安全阀，确保系统压力安全使用，保护仪器。 8/吹扫气路分类收集、固定牢固，方便采用软管将排放气体传导到安 (略) 排放。吹扫气路系统同时能实现余气排放功能。可燃气体不应与含氧气体公用排放管，对于可燃气体应在排放管末端设置回火防止器，防止意外的回火现象，确保安全。 9/系统中可燃气体的控制面板设有回火防止器。 * / (略) 有管道连接完毕后， (略) 耐压强度试验， (略) 泄漏检测。 * /气体管路在铺设过程中做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔 * 定距离应设置 * 组管卡。卡具由阻燃PVC制作而成，美观大方。尽量减少管路弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径， (略) 位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。 * /本系统氩气末端采用 * 次减压系统，所有 * 次减压器安装在用气仪器附近墙面的上，方便操作维护，美观大方。 * 次减压器系统的出口连接尺寸与仪器设 (略) 尺寸 * * 对应。 * 次减压阀能保证仪器的使用压力不受其他仪器的影响，输出稳定。同时末端配有不锈钢球阀，可以起到开关作用，在仪器不用时可关闭气体来源，方便后期 * 级减压阀的维修保养。 * / 配管时的每根管道每个管件均要用高压的高纯氮气（纯度 * . * %）进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要 (略) 大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。 * /同 * 气种、不同浓度的气体应集中、顺序摆放，以利于查找及操作； * /气瓶间内存放的气体应按国家规定必须分类分库存放。 * / (略) 有管道穿过墙体的位置采用套管，间隙用不可 (略) 填充。 配件清单： 序号 产品名称 型号规格 单位 数量 1 * 级减压阀 全不锈钢 * L，BA级别（走高纯气，内抛光，表面光洁度0. 4），钢瓶指示压力0- * Mpa，出气端指示压力0-0. * Mpa 套 4 2 高压金属波纹管 GPS- * * 端接指定钢瓶（不含钢瓶接头），另 * 端接 * 级减压阀（1/4NPT），内部洁净，耐压 * PS 根 4 3 气瓶接头 * L-G5/8 套 3 4 气瓶接头 * L-W * .8 套 1 5 双外丝接头 全不锈钢 * L，BA级别，1/4NPT 套 4 6 转换接头 1/4卡套转1/4NPT 套 8 7 报警探头 探头（可燃） 套 1 8 阻火器 1/4OD”，无泄漏，气体检漏漏率：1* * -9cc/S内抛光（BA级）, 耐压 * psi 个 1 9 球阀 材质SS- * L.尺寸1/4OD”，耐压 * PSI 个 4 * 防爆气瓶柜 双瓶 不带报警 个 1 * 防爆气瓶柜 双瓶 带报警 个 1 * 小计： 　 　 　 * 终端球阀 1/4OD”，无泄漏，气体检漏漏率：1* * -9cc/S内抛光（BA级）, 耐压 * psi 个 4 * 1/4OD”不锈钢管道 1/4OD” ， * SS不锈钢无缝管，无擦伤，适于弯曲和扩口，表面光洁，管道经过光亮退火（BA级），超声波清洗，内外抛光 米 * 施工要求： 1统气体管路的连接采用无缝焊接技术，只有连接到阀门和压力调节装置时，才可以使用相关压力配件。 5.2.2气体管路管夹固定间隔不大于1.5米， (略) 都要分别在 (略) 支 (略) 用管线支架采用气体管路专用铝制支架( * mm* * mm)，最大限度防腐防锈。（提供管道固定集成样品） 5.2.3直线型终端调压阀门使用铝制专用固定块（宽 * mm,高 * mm，厚 * mm，）固定盘面上方 (提供调压阀盘面固定集成样品，包含不锈钢面板、管道球阀、固定面板) 5.2.4气体管道不和电缆、导电线路同架敷设，弯管采用专用弯管器操作，切管采用专用切管器操作。 5.2.5所有管路沿天花板下面布设。引入实验室的各种气体管道支管宜明敷，管线横平竖直。调压阀门盘面固定高度为墙面离地1.5m。 5.2.6仪器工作台上要求均匀的排放各种气体的出口点。 5.2.7气体管路都要通过 (略) 明确标示，同时指出气体的流向。 2.2.8气 (略) 理部分，保证操作人员安全和环境卫生。
质保及售后服务 自仪器验收合格之日起，整机保修期：1年。培训服务（使用过程给予的培训次数）：除去装机培训之外，保修期内每年再提供至少 * 次培训。在保修期内，属产 (略) 发生的 * 切费用由供方负担。提供技术支持，在接到买方仪器报修通知后，在2小时内予以应答，并在2 (略) 维修，保证仪器的正常工作。供方在 (略) 必须具有专业的维修工程师，能有效保证售后维修服务。