(略) - 竞价公告 (CB 点击查看>> )
发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：
申购单号：CB 点击查看>> 申购主题：光刻机 采购单位： (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：点击查看>>点击查看>>
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>* 我要报价
付款方式：1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。 备注说明：
刘明： 点击查看>> 不指定本地供应商
申购明细：
序号
1
采购内容
光刻机
数量
1
预算单价
品牌 SVC、IOE
型号 H * - * C/URE- 点击查看>>
规格参数 H * - * C型技术指标： ? 曝光类型：单面； ? 曝光面积： * × * mm； ? 曝光照度不均匀性：≤3%； ? 曝光强度：≥ * mw/cm2可调； ? 紫外光束角：≤3?； ? (略) 波长： * nm； ? 紫外光源寿命：≥2万小时； ? 曝光分辨率：1μm； ? 曝光模式：可选择 * 次曝光或套刻曝光； ? 显微镜扫描范围：X：± * mm Y：± * mm； ? 对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调± * °，细调±3°； ? 套刻精度：1μm； ? 分离量；0～ * μm可调； ? 接触－分离漂移：≤1μm； ? 曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； ? 找平方式： * 点式自动找平； ? 显微系统： (略) CCD系统，显微镜 * X～ * X连续变倍（物镜0. * X～5X连续变倍），双物镜距离可调范围 * mm～ * mm， (略) 理系统， * ″液晶监视器； ? 掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； ? 基片尺寸：φ2、φ3、φ4、“碎片”； ? 基片厚度：≤5 mm； ? 曝光定时：0～ * .9秒可调； ? 对准方式：切斯曼对准机构。 ? 曝光头转位：气动； ? 电源：单相AC * V * HZ ，功耗≤1KW； ? 洁净空气压力：≥0.4MPa； 保修期： * 年。 URE- 点击查看>> 型技术指标： ? 曝光面积：4英寸 ? 曝光波长： * nm ? 分辨力：0.8mm-1mm（胶厚≤1mm的正胶） ? 对准精度：±0. 8mm ? 掩模样片整体运动范围：X：优于 * mm;Y: 优于 * mm ? 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 ? 样片尺寸：直径f * mm-- f * mm(各种不规则片),厚度可适应0.1mm--5mm(最大可扩展为 * mm) ? 曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量 ? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 ? 照明不均匀性： 3%（f * mm 范围） ? (略) 对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍,物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍,目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 ? 调平接触压力通过传感器保证重复 ? 数字设定对准间隙和曝光间隙 ? 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ? 掩模相对 (略) 程： ? X: 优于±5mm; Y: 优于±5mm; q:优于±6o ? 最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件） ? (略) 性：≤3o ? 曝光能量密度：> * mW/cm2,照明面温度< * o ? 单层曝光 * 键完成 ? 采用球气浮自动找平 ? LED光源 ? 保修期 * 年
质保及售后服务 按行业标准提供服务，质保期 * 个月。

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基本信息：
申购单号：CB 点击查看>> 申购主题：光刻机 采购单位： (略) 报价要求：国产含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算：点击查看>>点击查看>>
签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同 送货时间：合同签订后7天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>* 我要报价
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刘明： 点击查看>> 不指定本地供应商
申购明细：
序号
1
采购内容
光刻机
数量
1
预算单价
品牌 SVC、IOE
型号 H * - * C/URE- 点击查看>>
规格参数 H * - * C型技术指标： ? 曝光类型：单面； ? 曝光面积： * × * mm； ? 曝光照度不均匀性：≤3%； ? 曝光强度：≥ * mw/cm2可调； ? 紫外光束角：≤3?； ? (略) 波长： * nm； ? 紫外光源寿命：≥2万小时； ? 曝光分辨率：1μm； ? 曝光模式：可选择 * 次曝光或套刻曝光； ? 显微镜扫描范围：X：± * mm Y：± * mm； ? 对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调± * °，细调±3°； ? 套刻精度：1μm； ? 分离量；0～ * μm可调； ? 接触－分离漂移：≤1μm； ? 曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； ? 找平方式： * 点式自动找平； ? 显微系统： (略) CCD系统，显微镜 * X～ * X连续变倍（物镜0. * X～5X连续变倍），双物镜距离可调范围 * mm～ * mm， (略) 理系统， * ″液晶监视器； ? 掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； ? 基片尺寸：φ2、φ3、φ4、“碎片”； ? 基片厚度：≤5 mm； ? 曝光定时：0～ * .9秒可调； ? 对准方式：切斯曼对准机构。 ? 曝光头转位：气动； ? 电源：单相AC * V * HZ ，功耗≤1KW； ? 洁净空气压力：≥0.4MPa； 保修期： * 年。 URE- 点击查看>> 型技术指标： ? 曝光面积：4英寸 ? 曝光波长： * nm ? 分辨力：0.8mm-1mm（胶厚≤1mm的正胶） ? 对准精度：±0. 8mm ? 掩模样片整体运动范围：X：优于 * mm;Y: 优于 * mm ? 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 ? 样片尺寸：直径f * mm-- f * mm(各种不规则片),厚度可适应0.1mm--5mm(最大可扩展为 * mm) ? 曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量 ? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 ? 照明不均匀性： 3%（f * mm 范围） ? (略) 对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍,物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍,目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 ? 调平接触压力通过传感器保证重复 ? 数字设定对准间隙和曝光间隙 ? 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ? 掩模相对 (略) 程： ? X: 优于±5mm; Y: 优于±5mm; q:优于±6o ? 最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件） ? (略) 性：≤3o ? 曝光能量密度：> * mW/cm2,照明面温度< * o ? 单层曝光 * 键完成 ? 采用球气浮自动找平 ? LED光源 ? 保修期 * 年
质保及售后服务 按行业标准提供服务，质保期 * 个月。