国际设备(第40批)招标变更
国际设备(第40批)招标变更
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
* | * 寸晶圆单片式晶边清洗机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 单片式重聚合物化学清洗机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 批次式栅极线氮化硅蚀刻机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 立式高温退火设备 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 铜退火设备 | 4 | 详见招标文件 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
* | * 寸晶圆单片式晶边清洗机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 单片式重聚合物化学清洗机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 批次式栅极线氮化硅蚀刻机 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 立式高温退火设备 | 1 | 详见招标文件 | |
* | 铜退火设备 | 4 | 详见招标文件 |
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