* 、原公告主要信息

原项目名称：中 (略) 示范工程建设物质科学教研楼A楼 * 、 * 洁净室改造设计及施工 * 体化

原项目编号： * DFWGZ * 5

原公告日期： * 日 * : *

* 、公告内容（更正事项、内容及日期等）

中 (略) 示范工程建设—物质科学教研楼A楼 * 、 (略) 答疑澄清（ * ）

各投标人：

我公司现对中 (略) 示范工程建设—物质科学教研楼A楼 * 、 * 洁净室改造设计及施工 * 体化（招标项目编号： * DFWGZ * 5/JG 点击查看>> 8）招标文件做出如下答疑澄清。 (略) (略) 分，具有同等效力。 (略) (略) ，按本次答疑 (略) 。

1、图纸中有“AFM”设备，设备需求表内无该设备 (略) 需求？

答： (略) 务需求总表，厂务需求总表以本次发布的答疑澄清附件1为准。

2、“EBL”、“FIB”布局图有显示需要玻璃隔断，是否包含在本次EPC范围内？

答：包含。

3、台阶仪、热板、匀胶机、显微镜；这4台设备，设备 (略) 需求表内没有设备尺寸，是否可以参考《中科大物质教研楼实验室方案初稿》图纸中设备尺寸？

答：可以。

4、通风橱需求表内有3台，单台设备纯水需求为0.3T/H；是否每 * 台通风橱都需要0.3T/H的纯水需求？

答：是。

5、“FIB”工艺冷却水备注“自带冷却水设备”，是否可以理解为，该设备不需要外围提供冷却水，只需要提供1组补水水源？

答：是。

6、台阶仪、热板、匀胶机、显微镜；这4台设备，设备 (略) 需求表内没有设备功率？

答：台阶仪、热板、匀胶机、显微镜每台按1kW算。

7、光学平台设备需求表没有设备功率？没有其它任何外围设备 (略) 需求，是否需要预留？

答：光学平台本身无功率需求。但光学平台附属摆放设备有需求，每个平台外围设备大约两相电 * kW，主要包括高功率激光器（4-6台，总功率约5kW），射频功放（约 * - * 个，2kW），电流源、示波器、波源等电子学设备（3-5kW），水冷机（6-8kW），实验控制电脑等（2kW）。 * 相电需求: 大电流电源（5.5kW）。

8、所有机台并无液氮需求，请确认。

答：MPCVD的干泵需要液氮，也可以使用氮气。

9、除氮气外， (略) 有气体涉及的机台仅为MPCVD和离子注入机；MPCVD需求气体为：O2,N2,Ar，H2，CH4，H2S，PH3，离子注入机需求气体为：N2，Ar，请确认气体种类，纯度，压力，流量参数需求?

答：MPCVD设备种类H2、CH4、O2、N2、Ar、PH3、H2S，纯度5N以上，压力 * PSI，H2流量在 * SCCM以内，其余气体流量在 * SCCM以内 。离子注入机气体种类有N2、压缩空气；N2纯度5N以上，氮气压力0.2-0.4Mpa,氮气流量> * L/min；压缩空气压力0.4-0.7Mpa,压缩空气流量> * L/min；Ar及其他气体通过气瓶直接接入设备。

* 、部分机台对氮气的需求参数不全，如：MPCVD的氮气需求为5N，但是缺少流量及压力要求，离子注入机缺少流量要求；

答：MPCVD设备氮气需求见上 * 回答。离子注入机氮气需求见上 * 回答。

* 、MPCVD是否存在附属设备泵，并需要 (略) 理器？如有请提供具体需求； (略) 理器是否包含在工作范围内？

答：MPCVD存在附属设备泵，需要氮气支持，气体压力 * psi，气体流量最高 * SLM。 (略) 理器包含在本次工作范围内。

* 、请明确工艺冷却水，压缩空气及各类气体品质、纯度？

答：工艺冷却水采用超纯水，满足国标GB/T * * EW-1。压缩空气符合ISO * * 标准，其中含油量满足class1（0.1mg/m^3),含水量满足class2（<- * 摄氏度），颗粒度满足class1。各类工艺气体需要再末端加装纯化器（9N）。

* 、工艺真空共2个点位，机台自带真空泵还是需要集中供应？

答：自带。

* 、稀释的H2S和H3P是否为氮气混气，请提供气体百分比？

答：稀释的H2S和H3P是少量的相应气体稀释在大量的氢气气体中，比例为1- * 0ppm。

* 、设备搬入口道路和外墙防火门是否在本包范围内？

答：包含。

* 、新增的风冷机组，CDA系统，纯水系统设备，PCW系统设备，工艺真空设备，酸碱洗涤塔系统，有机排气吸附系统布置在哪个位置，相应的土建设施是否包括在本包范围？

答：楼顶屋面，包含。

* 、原火灾报警系统是否具备扩容能力？增加火灾报警系统是否需采购硬件扩充？

答：原火灾报警系统情况详见答疑澄清附件2 原设计图纸，投标人根据原火灾报警系统情况及本 (略) 考虑。

* 、原有的空调机房不满足MAU空调整机搬运条件，业主是否允许分段搬运？如果不允许，是否允许外墙开洞搬运？

答：可以分段。

* 、原有地面牵扯 (略) 分，结构梁拆除，会对整体结构有影响，而结构梁又影响洁净室回风面积和洁净室地面平整度，建议原结构梁不拆除，在结 (略) 回风。结构梁上面采用不锈钢板或PVC防静电贴面装饰。

答：不得拆除原结构梁，具体方案由投标人根据本 (略) 考虑，原结构图详见答疑澄清附件4。

* 、酸碱有机排风系统设计牵涉项目环评，请问项目环评报告及批复意见能否提供？

答：详见答疑澄清附件3。

* 、项目 (略) 理系统是否在本包范围内？

答：包含。

* 、原房间内消火栓箱是否需改为不锈钢材质或面板改为不锈钢材质，干粉灭火器改为CO2灭火器？该项目消防验收是否在本包范围内？

答：原房间内消火栓箱需改为不锈钢材质；包含。

* 、新风空调机组热源由哪里提供，是否在本包范围？

答：包含。

* 、请明确大宗气体种类及其供气方式？

答：N2气：液氮罐。Ar气、CH4、H2：气瓶。

* 、EBL,FIB设备区域温度要求 * ±0.1℃，人员进出的温度波动就可能大于该要求，请业主再次核实。

答：EBL需要， (略) 部区域要求可以放宽到 * ±0.3℃。

* 、化学过滤器（新风空调，FFU）是否在本包范围内，还是预留位置，业主使 (略) 采购安装？

答：预留，后期根据 (略) 采购。

* 、系统的备品备件以及普通工具，如空调FF (略) ，药剂，灯管等材料是否在本包提供？

答：安装 * 套即可，后续更换的耗材， (略) 采购。

* 、本改造项目的相关政府立项是否已经完成？施工图送审及施工许可证办理是否需本包办理？

答：由中标单位办理。

* 、本项目竣工验收需要哪些第 * 方检测报告？ (略) 门验收为准还是以业主检测合格为准？

答：按照洁净室验收规范检测， (略) 出具报告，业主验收。

* 、建议增加极早期烟雾报警系统，漏水检测系统，离子棒系统，请业主确认是否要增加？

答：不需要。

* 、本次是否需要提供与加密电子文件 * 样的纸质版文件？

答：详见招标文件投标人须知前附表3.7.4项非加密投标文件递交及 * .9款招标人补充的其他内容。

* 、本次是否需要提交设计图纸？如需要提交设计图纸，需要做到什么设计深度？

答： (略) (略) 考虑。

* 、请问“投标人须具备单个合同金额不少于 * 万元且洁净度级别不低于百级的洁净室设计施工 * 体化业绩”中“洁净度级别不低于百级的洁净室”是否有面积要求？

答：无。

* 、本次投标报价文件是否需要使用软件？如需要，请问需使用哪款软件？

答：不需要，按投标文件（报价文件）格式及招标文件相关要求填报。

招标人：中 (略)

招标代理： (略) (略)

* 〇 * 〇年 * 月 * 十 * 日

中 (略) 示范工程建设物质科学教研楼A楼 * 、 (略) 答疑澄清（ * ）.pdf 答疑澄清附件.zip


* 、原公告主要信息

原项目名称：中 (略) 示范工程建设物质科学教研楼A楼 * 、 * 洁净室改造设计及施工 * 体化

原项目编号： * DFWGZ * 5

原公告日期： * 日 * : *

* 、公告内容（更正事项、内容及日期等）

中 (略) 示范工程建设—物质科学教研楼A楼 * 、 (略) 答疑澄清（ * ）

各投标人：

我公司现对中 (略) 示范工程建设—物质科学教研楼A楼 * 、 * 洁净室改造设计及施工 * 体化（招标项目编号： * DFWGZ * 5/JG 点击查看>> 8）招标文件做出如下答疑澄清。 (略) (略) 分，具有同等效力。 (略) (略) ，按本次答疑 (略) 。

1、图纸中有“AFM”设备，设备需求表内无该设备 (略) 需求？

答： (略) 务需求总表，厂务需求总表以本次发布的答疑澄清附件1为准。

2、“EBL”、“FIB”布局图有显示需要玻璃隔断，是否包含在本次EPC范围内？

答：包含。

3、台阶仪、热板、匀胶机、显微镜；这4台设备，设备 (略) 需求表内没有设备尺寸，是否可以参考《中科大物质教研楼实验室方案初稿》图纸中设备尺寸？

答：可以。

4、通风橱需求表内有3台，单台设备纯水需求为0.3T/H；是否每 * 台通风橱都需要0.3T/H的纯水需求？

答：是。

5、“FIB”工艺冷却水备注“自带冷却水设备”，是否可以理解为，该设备不需要外围提供冷却水，只需要提供1组补水水源？

答：是。

6、台阶仪、热板、匀胶机、显微镜；这4台设备，设备 (略) 需求表内没有设备功率？

答：台阶仪、热板、匀胶机、显微镜每台按1kW算。

7、光学平台设备需求表没有设备功率？没有其它任何外围设备 (略) 需求，是否需要预留？

答：光学平台本身无功率需求。但光学平台附属摆放设备有需求，每个平台外围设备大约两相电 * kW，主要包括高功率激光器（4-6台，总功率约5kW），射频功放（约 * - * 个，2kW），电流源、示波器、波源等电子学设备（3-5kW），水冷机（6-8kW），实验控制电脑等（2kW）。 * 相电需求: 大电流电源（5.5kW）。

8、所有机台并无液氮需求，请确认。

答：MPCVD的干泵需要液氮，也可以使用氮气。

9、除氮气外， (略) 有气体涉及的机台仅为MPCVD和离子注入机；MPCVD需求气体为：O2,N2,Ar，H2，CH4，H2S，PH3，离子注入机需求气体为：N2，Ar，请确认气体种类，纯度，压力，流量参数需求?

答：MPCVD设备种类H2、CH4、O2、N2、Ar、PH3、H2S，纯度5N以上，压力 * PSI，H2流量在 * SCCM以内，其余气体流量在 * SCCM以内 。离子注入机气体种类有N2、压缩空气；N2纯度5N以上，氮气压力0.2-0.4Mpa,氮气流量> * L/min；压缩空气压力0.4-0.7Mpa,压缩空气流量> * L/min；Ar及其他气体通过气瓶直接接入设备。

* 、部分机台对氮气的需求参数不全，如：MPCVD的氮气需求为5N，但是缺少流量及压力要求，离子注入机缺少流量要求；

答：MPCVD设备氮气需求见上 * 回答。离子注入机氮气需求见上 * 回答。

* 、MPCVD是否存在附属设备泵，并需要 (略) 理器？如有请提供具体需求； (略) 理器是否包含在工作范围内？

答：MPCVD存在附属设备泵，需要氮气支持，气体压力 * psi，气体流量最高 * SLM。 (略) 理器包含在本次工作范围内。

* 、请明确工艺冷却水，压缩空气及各类气体品质、纯度？

答：工艺冷却水采用超纯水，满足国标GB/T * * EW-1。压缩空气符合ISO * * 标准，其中含油量满足1（0.1mg/m^3),含水量满足2（<- * 摄氏度），颗粒度满足1。各类工艺气体需要再末端加装纯化器（9N）。

* 、工艺真空共2个点位，机台自带真空泵还是需要集中供应？

答：自带。

* 、稀释的H2S和H3P是否为氮气混气，请提供气体百分比？

答：稀释的H2S和H3P是少量的相应气体稀释在大量的氢气气体中，比例为1- * 0ppm。

* 、设备搬入口道路和外墙防火门是否在本包范围内？

答：包含。

* 、新增的风冷机组，CDA系统，纯水系统设备，PCW系统设备，工艺真空设备，酸碱洗涤塔系统，有机排气吸附系统布置在哪个位置，相应的土建设施是否包括在本包范围？

答：楼顶屋面，包含。

* 、原火灾报警系统是否具备扩容能力？增加火灾报警系统是否需采购硬件扩充？

答：原火灾报警系统情况详见答疑澄清附件2 原设计图纸，投标人根据原火灾报警系统情况及本 (略) 考虑。

* 、原有的空调机房不满足MAU空调整机搬运条件，业主是否允许分段搬运？如果不允许，是否允许外墙开洞搬运？

答：可以分段。

* 、原有地面牵扯 (略) 分，结构梁拆除，会对整体结构有影响，而结构梁又影响洁净室回风面积和洁净室地面平整度，建议原结构梁不拆除，在结 (略) 回风。结构梁上面采用不锈钢板或PVC防静电贴面装饰。

答：不得拆除原结构梁，具体方案由投标人根据本 (略) 考虑，原结构图详见答疑澄清附件4。

* 、酸碱有机排风系统设计牵涉项目环评，请问项目环评报告及批复意见能否提供？

答：详见答疑澄清附件3。

* 、项目 (略) 理系统是否在本包范围内？

答：包含。

* 、原房间内消火栓箱是否需改为不锈钢材质或面板改为不锈钢材质，干粉灭火器改为CO2灭火器？该项目消防验收是否在本包范围内？

答：原房间内消火栓箱需改为不锈钢材质；包含。

* 、新风空调机组热源由哪里提供，是否在本包范围？

答：包含。

* 、请明确大宗气体种类及其供气方式？

答：N2气：液氮罐。Ar气、CH4、H2：气瓶。

* 、EBL,FIB设备区域温度要求 * ±0.1℃，人员进出的温度波动就可能大于该要求，请业主再次核实。

答：EBL需要， (略) 部区域要求可以放宽到 * ±0.3℃。

* 、化学过滤器（新风空调，FFU）是否在本包范围内，还是预留位置，业主使 (略) 采购安装？

答：预留，后期根据 (略) 采购。

* 、系统的备品备件以及普通工具，如空调FF (略) ，药剂，灯管等材料是否在本包提供？

答：安装 * 套即可，后续更换的耗材， (略) 采购。

* 、本改造项目的相关政府立项是否已经完成？施工图送审及施工许可证办理是否需本包办理？

答：由中标单位办理。

* 、本项目竣工验收需要哪些第 * 方检测报告？ (略) 门验收为准还是以业主检测合格为准？

答：按照洁净室验收规范检测， (略) 出具报告，业主验收。

* 、建议增加极早期烟雾报警系统，漏水检测系统，离子棒系统，请业主确认是否要增加？

答：不需要。

* 、本次是否需要提供与加密电子文件 * 样的纸质版文件？

答：详见招标文件投标人须知前附表3.7.4项非加密投标文件递交及 * .9款招标人补充的其他内容。

* 、本次是否需要提交设计图纸？如需要提交设计图纸，需要做到什么设计深度？

答： (略) (略) 考虑。

* 、请问“投标人须具备单个合同金额不少于 * 万元且洁净度级别不低于百级的洁净室设计施工 * 体化业绩”中“洁净度级别不低于百级的洁净室”是否有面积要求？

答：无。

* 、本次投标报价文件是否需要使用软件？如需要，请问需使用哪款软件？

答：不需要，按投标文件（报价文件）格式及招标文件相关要求填报。

招标人：中 (略)

招标代理： (略) (略)

* 〇 * 〇年 * 月 * 十 * 日

中 (略) 示范工程建设物质科学教研楼A楼 * 、 (略) 答疑澄清（ * ）.pdf 答疑澄清附件.zip
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