* 、项目基本情况

原公告的采购项目编号：NYCG * -H *

原公告的采购项目名称： (略) (略) (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目

首次公告日期： * 日

* 、更正信息

更正事项：采购公告、采购文件

更正内容：

（ * ）原采购公告中：投标文件接收信息：

投标文件开始接收时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

投标文件接收截止时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

现更正为：

投标文件开始接收时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

投标文件接收截止时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

（ * ）原采购文件中 第 * 章 项目需求 “★6、基片台及传动系统：基片台直径不小于 * mm，转速可调控，磁流体密封，内置加热器，可加热至 * ℃，镀膜均匀性大于 * %。”

现更正为：“★6、基片台及传动系统：溅射的基片台直径不小于 * mm，在真空室下面，溅射靶从真空室上面引入，转速可调控，磁流体密封，内置加热器，可加热至 * ℃，镀膜均匀性大于 * %。”。

（ * ）原采购文件中 第 * 章 项目需求 “4、配气系统：配置4路气体质量流量计加电磁截止阀，可同时控制最多4路反应气体进入真空室。

现更正为：“4、配气系统：配置4路气体质量流量计加电磁截止阀，可同时控制最多4路反应气体进入真空室，包括：氮气、氩气、氧气、 * 烷，流量计流量范围可以保 (略) 需压力。”

注：详见采购文件更正版。《 (略) (略) (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目（更正后定稿）》

更正日期： * 日

* 、其他补充事宜

无

* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系。

名 称： (略)

地 址：南 (略) 区文苑路9号

联系方式：瞿老师 点击查看>>

(略) (略)

* 日

H (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目（更正后定稿） - 副本.docx

* 、项目基本情况

原公告的采购项目编号：NYCG * -H *

原公告的采购项目名称： (略) (略) (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目

首次公告日期： * 日

* 、更正信息

更正事项：采购公告、采购文件

更正内容：

（ * ）原采购公告中：投标文件接收信息：

投标文件开始接收时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

投标文件接收截止时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

现更正为：

投标文件开始接收时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

投标文件接收截止时间： * 日上午9: * （ (略) 时间）

（ * ）原采购文件中 第 * 章 项目需求 “★6、基片台及传动系统：基片台直径不小于 * mm，转速可调控，磁流体密封，内置加热器，可加热至 * ℃，镀膜均匀性大于 * %。”

现更正为：“★6、基片台及传动系统：溅射的基片台直径不小于 * mm，在真空室下面，溅射靶从真空室上面引入，转速可调控，磁流体密封，内置加热器，可加热至 * ℃，镀膜均匀性大于 * %。”。

（ * ）原采购文件中 第 * 章 项目需求 “4、配气系统：配置4路气体质量流量计加电磁截止阀，可同时控制最多4路反应气体进入真空室。

现更正为：“4、配气系统：配置4路气体质量流量计加电磁截止阀，可同时控制最多4路反应气体进入真空室，包括：氮气、氩气、氧气、 * 烷，流量计流量范围可以保 (略) 需压力。”

注：详见采购文件更正版。《 (略) (略) (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目（更正后定稿）》

更正日期： * 日

* 、其他补充事宜

无

* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系。

名 称： (略)

地 址：南 (略) 区文苑路9号

联系方式：瞿老师 点击查看>>

(略) (略)

* 日

H (略) 高真空磁控溅射镀膜机采购项目（更正后定稿） - 副本.docx