品目号

设备名 称

技术参数

1-1

旋涂仪

* 、设备要求

1.1仪器用途：适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

1.2仪器工作环境

工作环境温度：5- * ℃；工作环境湿度：≤ * %；电源：DC * V、2A, 使用 点击查看>> V、 * / * Hz

* 、仪器技术要求

2.1 无真空旋涂,无需真空泵和氮气管路；非真空卡盘式设 计；耐酸碱防腐液晶显示+按键操作界面；

2.2 智能程序化控制, * 个用户自定义协议，每个协议下可设置至少 * 个程序,每个程序最多 * 个步骤；

2.3转速稳定 性:<2%；转速: 点击查看>> rpm；定时器:1- * 秒；电源:DC * V、2A, 使用 点击查看>> v * / * Hz电源适配器；电磁安全开关，盖子打开卡盘停止；

2.4 尺寸:≤ * x * x * mm；材质:聚 * 烯转盘、钢质机壳，钢化玻璃盖。内置水平校准装置。

* 、配置

3.1主机 1台；涂布卡盘 1个；设备正常运转必需的标准配件/消耗品/部件/说明书等。

1-2

(略)

* 、功能

1.1循环伏安法（CV）、线性扫描伏安法（LSV）、阶梯波伏安法（SCV）、Tafel图（TAFEL）计时电流法（CA）、计时电量法（CC）、差分脉冲伏安法（DPV）、常规脉冲伏安法（NPV）、差分常规脉冲伏安法（DNPV）、方波伏安法（SWV）、交流（含相敏）伏安法（ACV）、、 * 次谐波交流（相敏）伏安法（SHACV）、傅里叶变换交流伏安法（FTACV）、电流-时间曲线（i-t）、差分脉冲电流检测（DPA）、双差分脉冲电流检测（DDPA）、 * 脉冲电流检测（TPA）、积分脉冲电流检测（IPAD）、控制电位电解库仑法（BE）、流体力学调制伏安法（HMV）、扫描-阶跃混合法（SSF）、多电位阶跃法（STEP）、交流阻抗测量（IMP）、交流阻抗-时间测量（IMPT）、交流阻抗-电位测量（IMPE）、计时电位法（CP）、电流扫描计时电位法（CPCR）、多电流阶跃法（ISTEP）、电位溶出分析（PSA）、电化学噪声测量（ECN）、开路电压-时间曲线（OCPT）、恒电流仪、RDE控制（0- * V输出）、任意反应机理CV模拟器、交流阻抗数字模拟器和拟合程序

* 、恒电位仪

2.1 零阻电流计；2，3，4电极结构、浮动地线或实地；最大电位范围：± * V、最大电流：± * mA连续,± * mA峰值、槽压：± * V；恒电位仪上升时间：小于1ms,通常0.8ms；恒电位仪带宽（-3分贝）：1MHz

2.2 所加电位范围：± * mV, ± * mV, ± * mV, ± * mV, ±3. * V, ±6. * V, ± * V

2.3所加电位分辨：电位范围的0. * %；所加电位准确度：±1mV,±满量程的0. * %

* 、恒电流仪

3.1 恒电流范围：3nA– * mA；所加电流准确度：如果电流大于3e-7A时为0.2%，其他范围为1%，± * pA

3.2 所加电流分辨率：电流范围的0. * %； 测量电流范围：±0. * V,±0.1V,±0. * V,±1V,±2.5V,± * V；测量电位分辨率：测量范围的0. * %

* 、电位计

4.1 参比电极输入阻抗：1e * 欧姆； 参比电极输入带宽： * MHz； 参比电极输入偏置电流：≤ * pA @ * °C

* 、波形发生和数据获得系统

5.1 快速信号发生更新速率： * MHz， * 位分辨

5.2 快速数据采集系统： * 位分辨，双通道同步采样，采样速率每秒1, * , * 点；外部信号记录通道最高采样速率：1MHz；可拓展扫描电化学显微镜功能

* 、实验参数

6.1 CV和LSV扫描速度：0. 点击查看>> V/s至 * , * V/s；扫描时的电位增量：0.1mV（当扫速为1, * V/s时）； CA和CC的脉冲宽度：0. * sec

6.2 CA和CC的最小采样间隔：1ms；CC模拟积分器；DPV和NPV的脉冲宽度：0. * 至 * sec；SWV频率：1至 * kHz； i-t的最小采样间隔：1ms；ACV频率范围：0.1至 * kHz；SHACV频率范围：0.1至5kHz； FTACV频率范围：0.1至 * Hz，可同时获取基波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐；

6.3所加电位噪声：< * mV均方根植；测量电流范围：± * pA至±0. * A， * 量程；测量电流分辨：电流量程的0. * %，最低0.3fA

6.4电流测量准确度：电流灵敏度大于等于1e-6A/V时为0.2%，其他量程1%；输入偏置电流：< * pA；交流阻抗：0. * 1至1MHz；交流阻抗波形幅度：0. * 1V至0.7V均方根值。

* 、其他特点

7.1 自动或手动iR降补偿；电流测量偏置：满量程， * 位分辨，0. * %准确度；电位测量偏置：± * V， * 位分辨，0. * %准确度

7.2 外部电位输入；电位和电流的模拟输出；可控电位滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz；可控信号滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz

7.3 旋转电极控制电压输出：波的ACV数据；串行口或USB接口数据通讯；电解池控制：通氮，搅拌，敲击； CV数字模拟器和拟合器。用户定义反应机理或预定义反应机理

0- * V对用于0- * 0rpm的转速， * 位分辨，0. * %准确度，需要某些旋转电极装置才能工作

7.4 通过宏命令可以控制数字输入输出线；闪存储器可迅速更新程序；交流阻抗模拟器和拟合器（具有交流阻抗测量功能的型号）；最大数据长度： * K- * 4K可选。

* 、附件

8.1电极线、USB通讯线、电源线

品目号

设备名 称

技术参数

1-1

(略)

* 、功能

1.1循环伏安法（CV）、线性扫描伏安法（LSV）、阶梯波伏安法（SCV）、Tafel图（TAFEL）计时电流法（CA）、计时电量法（CC）、差分脉冲伏安法（DPV）、常规脉冲伏安法（NPV）、差分常规脉冲伏安法（DNPV）、方波伏安法（SWV）、交流（含相敏）伏安法（ACV）、、 * 次谐波交流（相敏）伏安法（SHACV）、傅里叶变换交流伏安法（FTACV）、电流-时间曲线（i-t）、差分脉冲电流检测（DPA）、双差分脉冲电流检测（DDPA）、 * 脉冲电流检测（TPA）、积分脉冲电流检测（IPAD）、控制电位电解库仑法（BE）、流体力学调制伏安法（HMV）、扫描-阶跃混合法（SSF）、多电位阶跃法（STEP）、交流阻抗测量（IMP）、交流阻抗-时间测量（IMPT）、交流阻抗-电位测量（IMPE）、计时电位法（CP）、电流扫描计时电位法（CPCR）、多电流阶跃法（ISTEP）、电位溶出分析（PSA）、电化学噪声测量（ECN）、开路电压-时间曲线（OCPT）、恒电流仪、RDE控制（0- * V输出）、任意反应机理CV模拟器、交流阻抗数字模拟器和拟合程序

* 、恒电位仪

2.1 零阻电流计；2，3，4电极结构、浮动地线或实地；最大电位范围：± * V、最大电流：± * mA连续,± * mA峰值、槽压：± * V；恒电位仪上升时间：小于1ms,通常0.8ms；恒电位仪带宽（-3分贝）：1MHz

2.2 所加电位范围：± * mV, ± * mV, ± * mV, ± * mV, ±3. * V, ±6. * V, ± * V

2.3所加电位分辨：电位范围的0. * %；所加电位准确度：±1mV,±满量程的0. * %

* 、恒电流仪

3.1 恒电流范围：3nA– * mA；所加电流准确度：如果电流大于3e-7A时为0.2%，其他范围为1%，± * pA

3.2 所加电流分辨率：电流范围的0. * %； 测量电流范围：±0. * V,±0.1V,±0. * V,±1V,±2.5V,± * V；测量电位分辨率：测量范围的0. * %

* 、电位计

4.1 参比电极输入阻抗：1e * 欧姆； 参比电极输入带宽： * MHz； 参比电极输入偏置电流：≤ * pA @ * °C

* 、波形发生和数据获得系统

5.1 快速信号发生更新速率： * MHz， * 位分辨

5.2 快速数据采集系统： * 位分辨，双通道同步采样，采样速率每秒1, * , * 点；外部信号记录通道最高采样速率：1MHz；可拓展扫描电化学显微镜功能

* 、实验参数

6.1 CV和LSV扫描速度：0. 点击查看>> V/s至 * , * V/s；扫描时的电位增量：0.1mV（当扫速为1, * V/s时）； CA和CC的脉冲宽度：0. * sec

6.2 CA和CC的最小采样间隔：1ms；CC模拟积分器；DPV和NPV的脉冲宽度：0. * 至 * sec；SWV频率：1至 * kHz； i-t的最小采样间隔：1ms；ACV频率范围：0.1至 * kHz；SHACV频率范围：0.1至5kHz； FTACV频率范围：0.1至 * Hz，可同时获取基波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐；

6.3所加电位噪声：< * mV均方根植；测量电流范围：± * pA至±0. * A， * 量程；测量电流分辨：电流量程的0. * %，最低0.3fA

6.4电流测量准确度：电流灵敏度大于等于1e-6A/V时为0.2%，其他量程1%；输入偏置电流：< * pA；交流阻抗：0. * 1至1MHz；交流阻抗波形幅度：0. * 1V至0.7V均方根值。

* 、其他特点

7.1 自动或手动iR降补偿；电流测量偏置：满量程， * 位分辨，0. * %准确度；电位测量偏置：± * V， * 位分辨，0. * %准确度

7.2 外部电位输入；电位和电流的模拟输出；可控电位滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz；可控信号滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz

7.3 旋转电极控制电压输出：波的ACV数据；串行口或USB接口数据通讯；电解池控制：通氮，搅拌，敲击； CV数字模拟器和拟合器。用户定义反应机理或预定义反应机理

0- * V对用于0- * 0rpm的转速， * 位分辨，0. * %准确度，需要某些旋转电极装置才能工作

7.4 通过宏命令可以控制数字输入输出线；闪存储器可迅速更新程序；交流阻抗模拟器和拟合器（具有交流阻抗测量功能的型号）；最大数据长度： * K- * 4K可选。

* 、附件

8.1电极线、USB通讯线、电源线

1-2

旋涂仪

* 、设备要求

1.1仪器用途：适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

1.2仪器工作环境

工作环境温度：5- * ℃；工作环境湿度：≤ * %；电源：DC * V、2A, 使用 点击查看>> V、 * / * Hz

* 、仪器技术要求

2.1 无真空旋涂,无需真空泵和氮气管路；非真空卡盘式设 计；耐酸碱防腐液晶显示+按键操作界面；

2.2 智能程序化控制, * 个用户自定义协议，每个协议下可设置至少 * 个程序,每个程序最多 * 个步骤；

2.3转速稳定 性:<2%；转速: 点击查看>> rpm；定时器:1- * 秒；电源:DC * V、2A, 使用 点击查看>> v * / * Hz电源适配器；电磁安全开关，盖子打开卡盘停止；

2.4 尺寸:≤ * x * x * mm；材质:聚 * 烯转盘、钢质机壳，钢化玻璃盖。内置水平校准装置。

* 、配置

3.1主机 1台；涂布卡盘 1个；设备正常运转必需的标准配件/消耗品/部件/说明书等。

品目号

设备名 称

技术参数

1-1

旋涂仪

* 、设备要求

1.1仪器用途：适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

1.2仪器工作环境

工作环境温度：5- * ℃；工作环境湿度：≤ * %；电源：DC * V、2A, 使用 点击查看>> V、 * / * Hz

* 、仪器技术要求

2.1 无真空旋涂,无需真空泵和氮气管路；非真空卡盘式设 计；耐酸碱防腐液晶显示+按键操作界面；

2.2 智能程序化控制, * 个用户自定义协议，每个协议下可设置至少 * 个程序,每个程序最多 * 个步骤；

2.3转速稳定 性:<2%；转速: 点击查看>> rpm；定时器:1- * 秒；电源:DC * V、2A, 使用 点击查看>> v * / * Hz电源适配器；电磁安全开关，盖子打开卡盘停止；

2.4 尺寸:≤ * x * x * mm；材质:聚 * 烯转盘、钢质机壳，钢化玻璃盖。内置水平校准装置。

* 、配置

3.1主机 1台；涂布卡盘 1个；设备正常运转必需的标准配件/消耗品/部件/说明书等。

1-2

(略)

* 、功能

1.1循环伏安法（CV）、线性扫描伏安法（LSV）、阶梯波伏安法（SCV）、Tafel图（TAFEL）计时电流法（CA）、计时电量法（CC）、差分脉冲伏安法（DPV）、常规脉冲伏安法（NPV）、差分常规脉冲伏安法（DNPV）、方波伏安法（SWV）、交流（含相敏）伏安法（ACV）、、 * 次谐波交流（相敏）伏安法（SHACV）、傅里叶变换交流伏安法（FTACV）、电流-时间曲线（i-t）、差分脉冲电流检测（DPA）、双差分脉冲电流检测（DDPA）、 * 脉冲电流检测（TPA）、积分脉冲电流检测（IPAD）、控制电位电解库仑法（BE）、流体力学调制伏安法（HMV）、扫描-阶跃混合法（SSF）、多电位阶跃法（STEP）、交流阻抗测量（IMP）、交流阻抗-时间测量（IMPT）、交流阻抗-电位测量（IMPE）、计时电位法（CP）、电流扫描计时电位法（CPCR）、多电流阶跃法（ISTEP）、电位溶出分析（PSA）、电化学噪声测量（ECN）、开路电压-时间曲线（OCPT）、恒电流仪、RDE控制（0- * V输出）、任意反应机理CV模拟器、交流阻抗数字模拟器和拟合程序

* 、恒电位仪

2.1 零阻电流计；2，3，4电极结构、浮动地线或实地；最大电位范围：± * V、最大电流：± * mA连续,± * mA峰值、槽压：± * V；恒电位仪上升时间：小于1ms,通常0.8ms；恒电位仪带宽（-3分贝）：1MHz

2.2 所加电位范围：± * mV, ± * mV, ± * mV, ± * mV, ±3. * V, ±6. * V, ± * V

2.3所加电位分辨：电位范围的0. * %；所加电位准确度：±1mV,±满量程的0. * %

* 、恒电流仪

3.1 恒电流范围：3nA– * mA；所加电流准确度：如果电流大于3e-7A时为0.2%，其他范围为1%，± * pA

3.2 所加电流分辨率：电流范围的0. * %； 测量电流范围：±0. * V,±0.1V,±0. * V,±1V,±2.5V,± * V；测量电位分辨率：测量范围的0. * %

* 、电位计

4.1 参比电极输入阻抗：1e * 欧姆； 参比电极输入带宽： * MHz； 参比电极输入偏置电流：≤ * pA @ * °C

* 、波形发生和数据获得系统

5.1 快速信号发生更新速率： * MHz， * 位分辨

5.2 快速数据采集系统： * 位分辨，双通道同步采样，采样速率每秒1, * , * 点；外部信号记录通道最高采样速率：1MHz；可拓展扫描电化学显微镜功能

* 、实验参数

6.1 CV和LSV扫描速度：0. 点击查看>> V/s至 * , * V/s；扫描时的电位增量：0.1mV（当扫速为1, * V/s时）； CA和CC的脉冲宽度：0. * sec

6.2 CA和CC的最小采样间隔：1ms；CC模拟积分器；DPV和NPV的脉冲宽度：0. * 至 * sec；SWV频率：1至 * kHz； i-t的最小采样间隔：1ms；ACV频率范围：0.1至 * kHz；SHACV频率范围：0.1至5kHz； FTACV频率范围：0.1至 * Hz，可同时获取基波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐；

6.3所加电位噪声：< * mV均方根植；测量电流范围：± * pA至±0. * A， * 量程；测量电流分辨：电流量程的0. * %，最低0.3fA

6.4电流测量准确度：电流灵敏度大于等于1e-6A/V时为0.2%，其他量程1%；输入偏置电流：< * pA；交流阻抗：0. * 1至1MHz；交流阻抗波形幅度：0. * 1V至0.7V均方根值。

* 、其他特点

7.1 自动或手动iR降补偿；电流测量偏置：满量程， * 位分辨，0. * %准确度；电位测量偏置：± * V， * 位分辨，0. * %准确度

7.2 外部电位输入；电位和电流的模拟输出；可控电位滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz；可控信号滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz

7.3 旋转电极控制电压输出：波的ACV数据；串行口或USB接口数据通讯；电解池控制：通氮，搅拌，敲击； CV数字模拟器和拟合器。用户定义反应机理或预定义反应机理

0- * V对用于0- * 0rpm的转速， * 位分辨，0. * %准确度，需要某些旋转电极装置才能工作

7.4 通过宏命令可以控制数字输入输出线；闪存储器可迅速更新程序；交流阻抗模拟器和拟合器（具有交流阻抗测量功能的型号）；最大数据长度： * K- * 4K可选。

* 、附件

8.1电极线、USB通讯线、电源线

品目号

设备名 称

技术参数

1-1

(略)

* 、功能

1.1循环伏安法（CV）、线性扫描伏安法（LSV）、阶梯波伏安法（SCV）、Tafel图（TAFEL）计时电流法（CA）、计时电量法（CC）、差分脉冲伏安法（DPV）、常规脉冲伏安法（NPV）、差分常规脉冲伏安法（DNPV）、方波伏安法（SWV）、交流（含相敏）伏安法（ACV）、、 * 次谐波交流（相敏）伏安法（SHACV）、傅里叶变换交流伏安法（FTACV）、电流-时间曲线（i-t）、差分脉冲电流检测（DPA）、双差分脉冲电流检测（DDPA）、 * 脉冲电流检测（TPA）、积分脉冲电流检测（IPAD）、控制电位电解库仑法（BE）、流体力学调制伏安法（HMV）、扫描-阶跃混合法（SSF）、多电位阶跃法（STEP）、交流阻抗测量（IMP）、交流阻抗-时间测量（IMPT）、交流阻抗-电位测量（IMPE）、计时电位法（CP）、电流扫描计时电位法（CPCR）、多电流阶跃法（ISTEP）、电位溶出分析（PSA）、电化学噪声测量（ECN）、开路电压-时间曲线（OCPT）、恒电流仪、RDE控制（0- * V输出）、任意反应机理CV模拟器、交流阻抗数字模拟器和拟合程序

* 、恒电位仪

2.1 零阻电流计；2，3，4电极结构、浮动地线或实地；最大电位范围：± * V、最大电流：± * mA连续,± * mA峰值、槽压：± * V；恒电位仪上升时间：小于1ms,通常0.8ms；恒电位仪带宽（-3分贝）：1MHz

2.2 所加电位范围：± * mV, ± * mV, ± * mV, ± * mV, ±3. * V, ±6. * V, ± * V

2.3所加电位分辨：电位范围的0. * %；所加电位准确度：±1mV,±满量程的0. * %

* 、恒电流仪

3.1 恒电流范围：3nA– * mA；所加电流准确度：如果电流大于3e-7A时为0.2%，其他范围为1%，± * pA

3.2 所加电流分辨率：电流范围的0. * %； 测量电流范围：±0. * V,±0.1V,±0. * V,±1V,±2.5V,± * V；测量电位分辨率：测量范围的0. * %

* 、电位计

4.1 参比电极输入阻抗：1e * 欧姆； 参比电极输入带宽： * MHz； 参比电极输入偏置电流：≤ * pA @ * °C

* 、波形发生和数据获得系统

5.1 快速信号发生更新速率： * MHz， * 位分辨

5.2 快速数据采集系统： * 位分辨，双通道同步采样，采样速率每秒1, * , * 点；外部信号记录通道最高采样速率：1MHz；可拓展扫描电化学显微镜功能

* 、实验参数

6.1 CV和LSV扫描速度：0. 点击查看>> V/s至 * , * V/s；扫描时的电位增量：0.1mV（当扫速为1, * V/s时）； CA和CC的脉冲宽度：0. * sec

6.2 CA和CC的最小采样间隔：1ms；CC模拟积分器；DPV和NPV的脉冲宽度：0. * 至 * sec；SWV频率：1至 * kHz； i-t的最小采样间隔：1ms；ACV频率范围：0.1至 * kHz；SHACV频率范围：0.1至5kHz； FTACV频率范围：0.1至 * Hz，可同时获取基波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐波， * 次谐；

6.3所加电位噪声：< * mV均方根植；测量电流范围：± * pA至±0. * A， * 量程；测量电流分辨：电流量程的0. * %，最低0.3fA

6.4电流测量准确度：电流灵敏度大于等于1e-6A/V时为0.2%，其他量程1%；输入偏置电流：< * pA；交流阻抗：0. * 1至1MHz；交流阻抗波形幅度：0. * 1V至0.7V均方根值。

* 、其他特点

7.1 自动或手动iR降补偿；电流测量偏置：满量程， * 位分辨，0. * %准确度；电位测量偏置：± * V， * 位分辨，0. * %准确度

7.2 外部电位输入；电位和电流的模拟输出；可控电位滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz；可控信号滤波器的截止频率：1.5MHz, * KHz, * KHz, 1.5KHz, * Hz, * Hz,1.5Hz, 0. * Hz

7.3 旋转电极控制电压输出：波的ACV数据；串行口或USB接口数据通讯；电解池控制：通氮，搅拌，敲击； CV数字模拟器和拟合器。用户定义反应机理或预定义反应机理

0- * V对用于0- * 0rpm的转速， * 位分辨，0. * %准确度，需要某些旋转电极装置才能工作

7.4 通过宏命令可以控制数字输入输出线；闪存储器可迅速更新程序；交流阻抗模拟器和拟合器（具有交流阻抗测量功能的型号）；最大数据长度： * K- * 4K可选。

* 、附件

8.1电极线、USB通讯线、电源线

1-2

旋涂仪

* 、设备要求

1.1仪器用途：适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

1.2仪器工作环境

工作环境温度：5- * ℃；工作环境湿度：≤ * %；电源：DC * V、2A, 使用 点击查看>> V、 * / * Hz

* 、仪器技术要求

2.1 无真空旋涂,无需真空泵和氮气管路；非真空卡盘式设 计；耐酸碱防腐液晶显示+按键操作界面；

2.2 智能程序化控制, * 个用户自定义协议，每个协议下可设置至少 * 个程序,每个程序最多 * 个步骤；

2.3转速稳定 性:<2%；转速: 点击查看>> rpm；定时器:1- * 秒；电源:DC * V、2A, 使用 点击查看>> v * / * Hz电源适配器；电磁安全开关，盖子打开卡盘停止；

2.4 尺寸:≤ * x * x * mm；材质:聚 * 烯转盘、钢质机壳，钢化玻璃盖。内置水平校准装置。

* 、配置

3.1主机 1台；涂布卡盘 1个；设备正常运转必需的标准配件/消耗品/部件/说明书等。