紫外光刻机等设备主要技术指标(项目编号：SGKZB*0**0**)紫外光刻机等设备主要技术指标项目编号：SGKZB*0**0点击查看>>.*第一包紫外光刻机*.*.*品目号与数量品目号：*0*数量：*台*.*.*主要用途主要用于中小规模集成电路、分离元器件和其它各种半导体元器件制造工艺中的对准及曝光光刻。*.*.*主机技术要求:*曝光系统主要参数曝光分辨率：≤*μm；曝光面积：φ≥*0cm；曝光不均匀性......紫外光刻机等设备主要技术指标(项目编号：SGKZB*0**0**)紫外光刻机等设备主要技术指标项目编号：SGKZB*0**0点击查看>>.*第一包紫外光刻机*.*.*品目号与数量品目号：*0*数量：*台*.*.*主要用途主要用于中小规模集成电路、分离元器件和其它各种半导体元器件制造工艺中的对准及曝光光刻。*.*.*主机技术要求:*曝光系统主要参数曝光分辨率：≤*μm；曝光面积：φ≥*0cm；曝光不均匀性......0