匀胶显影系统招标变更

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匀胶显影系统招标变更



匀胶显影系统（GY 点击查看>> ）延期公告
发布时间： 点击查看>> * : * : * 阅读量：4次

延期信息

延期理由：由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

项目名称匀胶显影系统项目编号GY 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> * : * : * 公告截止日期 点击查看>> * : * : *
采购单位 (略) 付款方式进口设备： * %信用证，其中 * %货到验收合格后支付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求
预 算＄ * , * . *
收货地址 (略)
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件

公告说明由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
匀胶显影系统1台光学仪器

品牌Mycro
型号EDC- * Hz-8NPPB WS- * Mz-8NPPB HP * -1
预算＄ * , * . *
技术参数及配置要求 * 、显影甩干设备技术参数
1. 保护气体，CDA（清洁干燥气体）/氮气（N2）,气压 * ~ * PSI 1.3 通信接口，蓝牙连接
2.基片尺寸满足需要的直径2、3、4、6和8寸英寸的晶圆片和碎片，
5x5、7x7掩膜版;
3．时间设定范围，0.1S~ * Min * .9S（最小增量 0.1 S）
4、非真空模式最大旋转速度， * rpm，±0.5rpm (带安全罩)，真空模式可达 * 0rpm
5、马达加速度，1– * , * rpm/s(系统程序默认为 * rpm/s)
* 、匀胶旋涂仪：
1. * mm~ * mm 范围内，无需更换托盘，避免由于频繁更换片托导致托盘间隙松动；
2. 转动速度至少满足 0- * , * rpm，
3. 旋涂加速度不小于 * , * rpm/sec；
* 、烤胶机：
1、 热板材质：阳极氧化铝
2、 加热面积： * - * mm
3、 温度范围： * - * ℃
4、 温度均匀性：工作界面上±1%
5、 设备尺寸： * x * x * mm
6、支持真空吸附，包含真空系统，真空度> * ”；
7、具有热板顶针，真空孔的位置和提升销可以定制。
* 、附件：
1、2、3、4英寸托盘 * 个；
2、6英寸托盘 * 个；
3、8英寸托盘 * 个；
4、不规则碎片托盘 * 个；
5、5 x5 和 7x7英寸掩膜版各 * 个。
售后服务 (略) 点:当地;质保期限:2年;响应时限:报修后8小时;供货时间要求:成交后 * 个月内;1、 (略) 家（ (略) 的授权或者国内总代理）针对本项目的授权书原件、原厂彩页及售后服务承诺书原件；
2、设备自验收合格之日起，整机（电脑除外）2年内免费保修，保修期内设备质量或安装调试原 (略) 维修费用（包括更换零配件的费用）均有 * 方承担；
3、 * 方每年至少 * 次免费 (略) 常规的维护检测；
4、保修期过后， * 方承担仪器设备的终生维修责任，维修指收取更换零配件费用（按维修价格的7折优惠），免其他费用。同 * 故障的维修保用 * 个月;

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延期信息

延期理由：由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

项目名称匀胶显影系统项目编号GY 点击查看>>
公告开始日期 点击查看>> * : * : * 公告截止日期 点击查看>> * : * : *
采购单位 (略) 付款方式进口设备： * %信用证，其中 * %货到验收合格后支付
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求
预 算＄ * , * . *
收货地址 (略)
供应商资质要求

符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件

公告说明由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
匀胶显影系统1台光学仪器

品牌Mycro
型号EDC- * Hz-8NPPB WS- * Mz-8NPPB HP * -1
预算＄ * , * . *
技术参数及配置要求 * 、显影甩干设备技术参数
1. 保护气体，CDA（清洁干燥气体）/氮气（N2）,气压 * ~ * PSI 1.3 通信接口，蓝牙连接
2.基片尺寸满足需要的直径2、3、4、6和8寸英寸的晶圆片和碎片，
5x5、7x7掩膜版;
3．时间设定范围，0.1S~ * Min * .9S（最小增量 0.1 S）
4、非真空模式最大旋转速度， * rpm，±0.5rpm (带安全罩)，真空模式可达 * 0rpm
5、马达加速度，1– * , * rpm/s(系统程序默认为 * rpm/s)
* 、匀胶旋涂仪：
1. * mm~ * mm 范围内，无需更换托盘，避免由于频繁更换片托导致托盘间隙松动；
2. 转动速度至少满足 0- * , * rpm，
3. 旋涂加速度不小于 * , * rpm/sec；
* 、烤胶机：
1、 热板材质：阳极氧化铝
2、 加热面积： * - * mm
3、 温度范围： * - * ℃
4、 温度均匀性：工作界面上±1%
5、 设备尺寸： * x * x * mm
6、支持真空吸附，包含真空系统，真空度> * ”；
7、具有热板顶针，真空孔的位置和提升销可以定制。
* 、附件：
1、2、3、4英寸托盘 * 个；
2、6英寸托盘 * 个；
3、8英寸托盘 * 个；
4、不规则碎片托盘 * 个；
5、5 x5 和 7x7英寸掩膜版各 * 个。
售后服务 (略) 点:当地;质保期限:2年;响应时限:报修后8小时;供货时间要求:成交后 * 个月内;1、 (略) 家（ (略) 的授权或者国内总代理）针对本项目的授权书原件、原厂彩页及售后服务承诺书原件；
2、设备自验收合格之日起，整机（电脑除外）2年内免费保修，保修期内设备质量或安装调试原 (略) 维修费用（包括更换零配件的费用）均有 * 方承担；
3、 * 方每年至少 * 次免费 (略) 常规的维护检测；
4、保修期过后， * 方承担仪器设备的终生维修责任，维修指收取更换零配件费用（按维修价格的7折优惠），免其他费用。同 * 故障的维修保用 * 个月;

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