等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备(低介电常数阻挡层)、(后段二氧化硅)、(后段氮化硅)、(后段以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅)重新招标澄清或变更公告(1)
等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备(低介电常数阻挡层)、(后段二氧化硅)、(后段氮化硅)、(后段以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅)重新招标澄清或变更公告(1)
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项目名称:等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备(低介电常数阻挡层)、(后段 * 氧化硅)、(后段氮化硅)、(后段以硅酸 * * 酯作反应物的 * 氧化硅)
项目名称(英文):PE CVD Equipment(Low K Block)\(PEOX(Cu))\SIN(Cu)\PETEOS(Cu)
招标人:华虹半导体( (略) )有限公司
招标机构: (略) 有限公司
招标机构代码: *
招标方式:公开招标
投标报价方式:线下投标
招标结果:重新招标
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项目名称:等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备(低介电常数阻挡层)、(后段 * 氧化硅)、(后段氮化硅)、(后段以硅酸 * * 酯作反应物的 * 氧化硅)
项目名称(英文):PE CVD Equipment(Low K Block)\(PEOX(Cu))\SIN(Cu)\PETEOS(Cu)
招标人:华虹半导体( (略) )有限公司
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