西电芜湖研究院薄膜测试与快速退火系统变更公告
发送至邮箱
西电芜湖研究院薄膜测试与快速退火系统变更公告
* 、项目基本情况
原公告的采购项目编号：WH * CG * HW *
原公告的采购项目名称：西 (略) 薄膜测试与快速退火系统
首次公告日期： * 日
* 、更正信息
更正事项：□采购公告■采购文件□采购结果
更正内容：
1、原招标文件中采购需求 * 览表序号6内容为：
6 | 等离子体打胶机 | *1．石英材质反应室，基础真空度约为 * mtorr；工作真空度约为 * — * mtorr 2．具有观察窗， (略) 尺寸：直径为 * mm，深 * mm， (略) 内径为 * mm *3．气体系统抽气：采用EDWARDS XDS * i干泵 4．真空测量：热偶真空规 5．气体输送：两路质量流量控制器 (MFC)，最大流速 * scc/m（O2&Ar） *6. 微波电源：频率2. * GHz, 最大功率为 * W 7. 控制系统：PC控制，LCD触摸屏操作模式 8．每个工艺菜单最多可设置 * 步工艺步骤 9．微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 * ．操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 | 1 | 台 |
现更正修改为：
6 | 等离子体打胶机 | *1．石英材质反应室，基础真空度约为 * mtorr；工作真空度约为 * — * mtorr 2．具有观察窗， (略) 尺寸：直径为 * mm，深 * mm， (略) 内径为 * mm 3．气体系统抽气：采用知名品牌干泵 4．真空测量：热偶真空规 5．气体输送：两路质量流量控制器 (MFC)，最大流速 * scc/m（O2&Ar） *6. 微波电源：频率2. * GHz, 最大功率为 * W 7. 控制系统：PC控制，LCD触摸屏操作模式 8．每个工艺菜单最多可设置 * 步工艺步骤 9．微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 * ．操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 | 1 | 台 |
更正日期： * 日
* 、其他补充事宜
本项目其它要求不变。
注： (略) (略) 分，与招标文件具有同等法律效力。请投标人及时下载。
* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：西 (略) (略)
采购人地址： (略) 市 (略) 区
联系电话： 点击查看>>
2.采购代理机构信息
名称：法 (略) 有限公司
地址： (略) 省 (略) 市数码大厦A座5楼
联系电话： 点击查看>>
3.项目联系方式
项目联系人：段工
电话： 点击查看>>
采购人：西 (略) (略)
采购代理机构：法 (略) 有限公司
* 日
* 、项目基本情况
原公告的采购项目编号：WH * CG * HW *
原公告的采购项目名称：西 (略) 薄膜测试与快速退火系统
首次公告日期： * 日
* 、更正信息
更正事项：□采购公告■采购文件□采购结果
更正内容：
1、原招标文件中采购需求 * 览表序号6内容为：
6 | 等离子体打胶机 | *1．石英材质反应室，基础真空度约为 * mtorr；工作真空度约为 * — * mtorr 2．具有观察窗， (略) 尺寸：直径为 * mm，深 * mm， (略) 内径为 * mm *3．气体系统抽气：采用EDWARDS XDS * i干泵 4．真空测量：热偶真空规 5．气体输送：两路质量流量控制器 (MFC)，最大流速 * scc/m（O2&Ar） *6. 微波电源：频率2. * GHz, 最大功率为 * W 7. 控制系统：PC控制，LCD触摸屏操作模式 8．每个工艺菜单最多可设置 * 步工艺步骤 9．微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 * ．操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 | 1 | 台 |
现更正修改为：
6 | 等离子体打胶机 | *1．石英材质反应室，基础真空度约为 * mtorr；工作真空度约为 * — * mtorr 2．具有观察窗， (略) 尺寸：直径为 * mm，深 * mm， (略) 内径为 * mm 3．气体系统抽气：采用知名品牌干泵 4．真空测量：热偶真空规 5．气体输送：两路质量流量控制器 (MFC)，最大流速 * scc/m（O2&Ar） *6. 微波电源：频率2. * GHz, 最大功率为 * W 7. 控制系统：PC控制，LCD触摸屏操作模式 8．每个工艺菜单最多可设置 * 步工艺步骤 9．微波功率、工艺气体的流量、工艺时间均可由PC自动控制 * ．操控界面可实时显示微波功率、气体流量、工作腔室内压力、工艺时间等参数 | 1 | 台 |
更正日期： * 日
* 、其他补充事宜
本项目其它要求不变。
注： (略) (略) 分，与招标文件具有同等法律效力。请投标人及时下载。
* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：西 (略) (略)
采购人地址： (略) 市 (略) 区
联系电话： 点击查看>>
2.采购代理机构信息
名称：法 (略) 有限公司
地址： (略) 省 (略) 市数码大厦A座5楼
联系电话： 点击查看>>
3.项目联系方式
项目联系人：段工
电话： 点击查看>>
采购人：西 (略) (略)
采购代理机构：法 (略) 有限公司
* 日
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
