上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标澄清或变更公告(13)
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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
点击查看>> SHJT 点击查看>> | 铜电镀;光刻胶清洗及氧化物刻蚀;铜铝制程 * 合 * 聚合物清洗;单片式背面清洗机;铜铝制程 * 合 * 回收晶圆清洗 | 1台;2台;1台;1台;1台 | 设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选 (略) 组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑, (略) 稳定可靠,售后服务优良。 | CNY * 0/US * |
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