郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目-更正公告
郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目-更正公告
公告信息: | |||
采购项目名称 | (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目 | ||
品目 | |||
采购单位 | (略) | ||
行政区域 | (略) 省 | 公告时间 | * 日 * : * |
首次公告日期 | * 日 | 更正日期 | |
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 何女士 | ||
项目联系电话 | 点击查看>> | ||
采购单位 | (略) | ||
采购单位地址 | (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号 | ||
采购单位联系方式 | 点击查看>> | ||
代理机构名称 | (略) (略) | ||
代理机构地址 | (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5 | ||
代理机构联系方式 | 点击查看>> |
* 、项目基本情况 |
1、原公告的采购项目编号:豫财招标采购- 点击查看>> |
2、原公告的采购项目名称: (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目 |
3、首次公告日期及发布媒介: * 日、《 (略) (略) 》《 (略) 省公 (略) 网》 |
4、原投标截止时间(投标文件递交截止时间): * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
* 、更正信息 |
1、更正事项:1采购文件 |
2、原文件获取时间: * 日 - * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
文件获取截至时间变更为: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
3、原开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
开标时间变更为: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
4、原采购信息内容 |
1.最高限价: * 万元 2.开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 投标截止时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 开标地点: (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4 3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套 第 * 章 项目需求及技术参数要求 3.1配有4条气路,每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器; 3.2 气路及最大流量分别为:氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm; 5.1旋片式机械泵抽气速率为6 L/min; 5.2极限真空:0.1 Pa; ★ 5.3真空腔保压能力:< 0.2mTorr/min. 注:投标人提供微波源品牌。 |
变更为 |
1.最高限价: * 万元 2.开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 投标截止时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 开标地点: (略) 省公 (略) 远程第5开标室 3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套 第 * 章 项目需求及技术参数要求 3.1配有5条气路,每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器; 3.2 气路及最大流量分别为:氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm; ★ 5.1采用组合真空泵,旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s,分子泵抽气速率≤ * L/s。 5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时,系统极限真空度≤2× * -7 mbar。 5.3真空腔保压能力:<0.2 mTorr/min. 注:投标人提供微波源及分子泵品牌。 |
5、更正日期: * 日 * 时 * 分 |
* 、其他补充事宜 |
上述变更内容,招 (略) 均作相应修改,其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便,敬请谅解! |
* 、 (略) 内容提出询问,请按以下方式联系 |
1. 采购人信息 |
名称: (略) |
地址: (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号 |
联系人:杨老师 |
联系方式: 点击查看>> |
2.采购代理机构信息(如有) |
名称: (略) (略) |
地址: (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5 |
联系人:何女士 |
联系方式: 点击查看>> |
3.项目联系方式 |
项目联系人:何女士 |
联系方式: 点击查看>> |
公告信息: | |||
采购项目名称 | (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目 | ||
品目 | |||
采购单位 | (略) | ||
行政区域 | (略) 省 | 公告时间 | * 日 * : * |
首次公告日期 | * 日 | 更正日期 | |
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 何女士 | ||
项目联系电话 | 点击查看>> | ||
采购单位 | (略) | ||
采购单位地址 | (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号 | ||
采购单位联系方式 | 点击查看>> | ||
代理机构名称 | (略) (略) | ||
代理机构地址 | (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5 | ||
代理机构联系方式 | 点击查看>> |
* 、项目基本情况 |
1、原公告的采购项目编号:豫财招标采购- 点击查看>> |
2、原公告的采购项目名称: (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目 |
3、首次公告日期及发布媒介: * 日、《 (略) (略) 》《 (略) 省公 (略) 网》 |
4、原投标截止时间(投标文件递交截止时间): * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
* 、更正信息 |
1、更正事项:1采购文件 |
2、原文件获取时间: * 日 - * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
文件获取截至时间变更为: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
3、原开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
开标时间变更为: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) |
4、原采购信息内容 |
1.最高限价: * 万元 2.开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 投标截止时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 开标地点: (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4 3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套 第 * 章 项目需求及技术参数要求 3.1配有4条气路,每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器; 3.2 气路及最大流量分别为:氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm; 5.1旋片式机械泵抽气速率为6 L/min; 5.2极限真空:0.1 Pa; ★ 5.3真空腔保压能力:< 0.2mTorr/min. 注:投标人提供微波源品牌。 |
变更为 |
1.最高限价: * 万元 2.开标时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 投标截止时间: * 日 * 时 * 分( (略) 时间) 开标地点: (略) 省公 (略) 远程第5开标室 3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套 第 * 章 项目需求及技术参数要求 3.1配有5条气路,每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器; 3.2 气路及最大流量分别为:氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm; ★ 5.1采用组合真空泵,旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s,分子泵抽气速率≤ * L/s。 5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时,系统极限真空度≤2× * -7 mbar。 5.3真空腔保压能力:<0.2 mTorr/min. 注:投标人提供微波源及分子泵品牌。 |
5、更正日期: * 日 * 时 * 分 |
* 、其他补充事宜 |
上述变更内容,招 (略) 均作相应修改,其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便,敬请谅解! |
* 、 (略) 内容提出询问,请按以下方式联系 |
1. 采购人信息 |
名称: (略) |
地址: (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号 |
联系人:杨老师 |
联系方式: 点击查看>> |
2.采购代理机构信息(如有) |
名称: (略) (略) |
地址: (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5 |
联系人:何女士 |
联系方式: 点击查看>> |
3.项目联系方式 |
项目联系人:何女士 |
联系方式: 点击查看>> |
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