郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目-更正公告[更正公告]

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郑州大学物理学院微波等离子体化学气相沉积设备采购项目-更正公告[更正公告]



公告内容文档
* 、项目基本情况
1、原公告的采购项目编号：豫财招标采购- 点击查看>>
2、原公告的采购项目名称： (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目
3、首次公告日期及发布媒介： * 日、《 (略) (略) 》《 (略) 省公 (略) 网》
4、原投标截止时间(投标文件递交截止时间)： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
* 、更正信息
1、更正事项：1采购文件
2、原文件获取时间： * 日 - * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
文件获取截至时间变更为： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
3、原开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标时间变更为： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
4、原采购信息内容
1.最高限价： * 万元
2.开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标地点： (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套
第 * 章 项目需求及技术参数要求
3.1配有4条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm；
5.1旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；
5.2极限真空：0.1 Pa；
★ 5.3真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.
注：投标人提供微波源品牌。
变更为
1.最高限价： * 万元
2.开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标地点： (略) 省公 (略) 远程第5开标室
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套
第 * 章 项目需求及技术参数要求
3.1配有5条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；
★ 5.1采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤ * L/s。
5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2× * -7 mbar。
5.3真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.
注：投标人提供微波源及分子泵品牌。
5、更正日期： * 日 * 时 * 分
* 、其他补充事宜
上述变更内容，招 (略) 均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！
* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系
1. 采购人信息
名称： (略)
地址： (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号
联系人：杨老师
联系方式： 点击查看>>
2.采购代理机构信息（如有）
名称： (略) (略)
地址： (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5
联系人：何女士
联系方式： 点击查看>>
3.项目联系方式
项目联系人：何女士
联系方式： 点击查看>>


公告内容文档
* 、项目基本情况
1、原公告的采购项目编号：豫财招标采购- 点击查看>>
2、原公告的采购项目名称： (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目
3、首次公告日期及发布媒介： * 日、《 (略) (略) 》《 (略) 省公 (略) 网》
4、原投标截止时间(投标文件递交截止时间)： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
* 、更正信息
1、更正事项：1采购文件
2、原文件获取时间： * 日 - * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
文件获取截至时间变更为： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
3、原开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标时间变更为： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
4、原采购信息内容
1.最高限价： * 万元
2.开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标地点： (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套
第 * 章 项目需求及技术参数要求
3.1配有4条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm；
5.1旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；
5.2极限真空：0.1 Pa；
★ 5.3真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.
注：投标人提供微波源品牌。
变更为
1.最高限价： * 万元
2.开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）
开标地点： (略) 省公 (略) 远程第5开标室
3.采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套
第 * 章 项目需求及技术参数要求
3.1配有5条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；
3.2 气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；
★ 5.1采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤ * L/s。
5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2× * -7 mbar。
5.3真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.
注：投标人提供微波源及分子泵品牌。
5、更正日期： * 日 * 时 * 分
* 、其他补充事宜
上述变更内容，招 (略) 均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！
* 、 (略) 内容提出询问，请按以下方式联系
1. 采购人信息
名称： (略)
地址： (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号
联系人：杨老师
联系方式： 点击查看>>
2.采购代理机构信息（如有）
名称： (略) (略)
地址： (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5
联系人：何女士
联系方式： 点击查看>>
3.项目联系方式
项目联系人：何女士
联系方式： 点击查看>>
    
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