* 、采购项目名称： (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目

* 、采购项目编号： 豫财招标采购- 点击查看>>

* 、首次公告日期及发布媒介： * 日、《 (略) (略) 》、《 (略) 省公 (略) 网》

* 、开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

* 、变更内容

1.原采购信息内容：

最高限价： * 万元

现变更为：

最高限价： * 万元

2.原采购信息内容：

开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

开标地点： (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4

现变更为：

开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

开标地点： (略) 省公 (略) 远程第5开标室

3.原采购信息内容：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套

现变更为：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套

4.原采购信息内容：

第 * 章 项目需求及技术参数要求

3.1 配有4条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm；

5.1 旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；

5.2 极限真空：0.1 Pa；

★5.3 真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.

注：投标人提供微波源品牌。

现变更为：

项目需求及技术参数要求

3.1 配有5条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；

★5.1采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤ * L/s。

5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2× * -7 mbar。

5.3 真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.

注：投标人提供微波源及分子泵品牌。

上述变更内容，招 (略) 均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！

* 、联系方式

1.采购人： (略)

联系人：杨老师

联系电话： 点击查看>>

地址： (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号

2.采购代理机构： (略) (略)

联系人： 何女士

联系电话： 点击查看>>

地址： (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5层

(略) (略)

* 年 * 月 * 日

* 、采购项目名称： (略) (略) 微波等离子体化学气相沉积设备采购项目

* 、采购项目编号： 豫财招标采购- 点击查看>>

* 、首次公告日期及发布媒介： * 日、《 (略) (略) 》、《 (略) 省公 (略) 网》

* 、开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

* 、变更内容

1.原采购信息内容：

最高限价： * 万元

现变更为：

最高限价： * 万元

2.原采购信息内容：

开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

开标地点： (略) 省公 (略) 远程开标室( * )-4

现变更为：

开标时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

投标截止时间： * 日 * 时 * 分（ (略) 时间）

开标地点： (略) 省公 (略) 远程第5开标室

3.原采购信息内容：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备5套

现变更为：

采购范围:微波等离子体化学气相沉积设备 2套

4.原采购信息内容：

第 * 章 项目需求及技术参数要求

3.1 配有4条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm；

5.1 旋片式机械泵抽气速率为6 L/min；

5.2 极限真空：0.1 Pa；

★5.3 真空腔保压能力：＜ 0.2mTorr/min.

注：投标人提供微波源品牌。

现变更为：

项目需求及技术参数要求

3.1 配有5条气路，每条气路含有 * 个气动阀门和自动质量流量控制器；

3.2气路及最大流量分别为：氢气 * sccm、氧气 * sccm、 * 烷 * sccm、氮气2 sccm、氩气 2 sccm；

★5.1采用组合真空泵，旋片式机械泵抽气速率≤4.4 L/s，分子泵抽气速率≤ * L/s。

5.2从大气压抽到6× * -7 mbar不超过3小时，系统极限真空度≤2× * -7 mbar。

5.3 真空腔保压能力：＜0.2 mTorr/min.

注：投标人提供微波源及分子泵品牌。

上述变更内容，招 (略) 均作相应修改，其他内容不变。对此给各位供应商带来的不便，敬请谅解！

* 、联系方式

1.采购人： (略)

联系人：杨老师

联系电话： 点击查看>>

地址： (略) 市 (略) 技术产业开发区科学大道 * 号

2.采购代理机构： (略) (略)

联系人： 何女士

联系电话： 点击查看>>

地址： (略) 市 (略) (略) (略) * 号楼5层

(略) (略)

* 年 * 月 * 日