电子束蒸发台、溅射台国际招标澄清或变更公告(2)
电子束蒸发台、溅射台国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束蒸发台 | 3 | 基本功能:*可满足lift-off工艺的加工需求;对于4寸晶圆入射角大于 * °;对于6寸晶圆入射角大于 * .6° | |
2 | 溅射台 | 1 | 基本功能:*晶圆材料及尺寸: * mm GaN-on-SiC, * mm GaN-on-Si, * mm GaN-on-SiC, * mm蓝宝石, * mm蓝宝石; |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束蒸发台 | 3 | 基本功能:*可满足lift-off工艺的加工需求;对于4寸晶圆入射角大于 * °;对于6寸晶圆入射角大于 * .6° | |
2 | 溅射台 | 1 | 基本功能:*晶圆材料及尺寸: * mm GaN-on-SiC, * mm GaN-on-Si, * mm GaN-on-SiC, * mm蓝宝石, * mm蓝宝石; |
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