2018年工业转型升级资金(部门预算)项目-制造业创新中心能力建设项目清洗设备、湿法刻蚀设备国际招标澄清或变更公告(2)
2018年工业转型升级资金(部门预算)项目-制造业创新中心能力建设项目清洗设备、湿法刻蚀设备国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 晶圆刷洗机 | 1套 | 晶圆刷洗,高效去除晶片正面、背面和斜面的颗粒和无划痕清洁 | |
2 | 晶圆背面清洗设备 | 1套 | 利用化学药液清洗去除晶圆背面杂质、颗粒,防止制程之间的交叉污染 | |
3 | 湿法化学清洗设备 | 1套 | 利用特定化学药液清洗晶圆表面,去除表面的金属沾污颗粒,表面杂质 | |
4 | 湿法刻蚀减薄设备 | 1套 | 利用特殊的 (略) 湿法腐蚀减薄晶圆,并配以合适的腐蚀液腐蚀硅片表面至特定的晶圆过渡层,清洗去除表面电荷,保持硅片表面的平整度 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 晶圆刷洗机 | 1套 | 晶圆刷洗,高效去除晶片正面、背面和斜面的颗粒和无划痕清洁 | |
2 | 晶圆背面清洗设备 | 1套 | 利用化学药液清洗去除晶圆背面杂质、颗粒,防止制程之间的交叉污染 | |
3 | 湿法化学清洗设备 | 1套 | 利用特定化学药液清洗晶圆表面,去除表面的金属沾污颗粒,表面杂质 | |
4 | 湿法刻蚀减薄设备 | 1套 | 利用特殊的 (略) 湿法腐蚀减薄晶圆,并配以合适的腐蚀液腐蚀硅片表面至特定的晶圆过渡层,清洗去除表面电荷,保持硅片表面的平整度 |
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