在线工艺测试设备国际招标澄清或变更公告(2)
在线工艺测试设备国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 在线工艺测试设备1 | 1套 | 介质膜厚测量设备, 用以薄膜的厚度及其均匀性测试设备。 | |
2 | 在线工艺测试设备2 | 1套 | 晶圆表面形貌测量设备,光学膜厚测量。 | |
3 | 在线工艺测试设备3 | 1套 | 无图形晶圆颗粒检测设备,用以微型结构 * 维尺寸精确测试。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 在线工艺测试设备1 | 1套 | 介质膜厚测量设备, 用以薄膜的厚度及其均匀性测试设备。 | |
2 | 在线工艺测试设备2 | 1套 | 晶圆表面形貌测量设备,光学膜厚测量。 | |
3 | 在线工艺测试设备3 | 1套 | 无图形晶圆颗粒检测设备,用以微型结构 * 维尺寸精确测试。 |
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