序号

目录

商务需求

（ * ）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期限

★1.1货物免费保修期【3】年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

免费保修内容

2.1保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，设备维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。

3

售后服务人员配备

3.1提供设备报修电话及联系人，招标人在工作时 (略) 联系，上 (略) 家 (略) 相关负责人共同负责，为招标人提供便捷的服务。

4

技术培训方案

★4.1免费提供技 (略) 培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。

5

质量保证

5.1中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。

6

违约承诺

6.1中标人不能 (略) 维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过 * 天赔偿合同总金额的0.5%（ (略) 罚不超过合同总金额的5%）或按实际损失赔偿。情节严重者，招标人将诉诸法律程序。

7

维修响应及故障解决时间、方案

★7.1招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

8

其他

8.1保修期内，必须保证设备 * ％以上工作日正常工作，同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 * 型号全新设备，并承诺系统设备终身维护。

8．2在无故障的情况下，每年定期上 (略) 检测，运行调节，内部清洁等。

（ * ）其他商务要求

1

关于交货

1.1交货地点： (略) (略) N *

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

★1.3签订合同后【 * 】日内交货。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，招标人才向中标人签发货物验收报告：

预验收：包括审查设备包装是否完整，有无破损；拆箱后核 (略) 件是否齐全，有无缺少的情况。

安装及培训：免费提供技术工程师上门安装、调 (略) 培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。

设备的安装和参数指标测试：设备完全安装后，进行 * 些 (略) 测试，包括

ü腔体烘烤后真空应达到5E-9Torr

ü加载互锁传送真空室真空度须到达5E-7Torr

ü激光 * 极管基板加热温度可达到 * ℃

ü激光能量和频率是否可以达到设定值；

ü靶材旋转是否 (略) ；

ü激光光路是否正确；

ü光罩定位系统是否可用；

üRHEED系统是否 (略)

üPC端的操作是否 (略) ；

(略) (略) 分是否存在工作异常；等等。

供货商须提供安装调试后的测试报告，用户须签名后完成验收流程。

2.3中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。

3

关于培训

3.1 中标人在设备安装调试完成前交付使用说明书、维修手册、图纸等相关资料。 (略) (略) 专业的设备操作、维护、维修培训及指导，直至其完全掌握货物的功能应用 (略) 理技术。

4

关于付款

★4.1合同签订且收到发票后支付合同总价的 * %为进度款，货到指定地点、安装验收合格、提供全额发票后支付 * %，余款5% (略) 人确认后无息支付。

4.2

国产货物：招标人指定地点交货，投标总价为人民币包干价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及 * 切不可预见费等，项目结算时不做任何单价或费用的调整。

进口货物：CIP招标人指定地点，投标总价为人民币包干价，符合国家科教仪器免税政策的设备应报人民币免税价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前以及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及 * 切不可预见费等。

4.3为规范办理进出口业务，确保货物与进口清关单据保持唯 * 对应关系，即单单相符、单证相符、单货相符， (略) 人所指定或认可，投标报价包含进口代理费以及 (略) 有相关费用。汇率风险由中标人承担。

4.4 根据国家外汇政策管理要求，进 (略) 所指定或认可的外贸 (略) 。中标人须在发货前委托前述的外贸代理单位购汇向境外供应商支付货款。

5

其他

5.1投标产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

如为进口产品，必须具有合法的进口手续和途径，在供货时必须提供原产地证明及相关进口资料。不接受贴牌及非正当进货渠道产品。

5.2投标人提供的产品及其有关服务必须符合中华人民共和国的设计和制造 (略) 业标准。

5.3投标产品是合法注册有效周期内该品牌最新型号的产品，其产品符合国家有关安全规定。不得提供已停产或淘汰的产品，否则将按未响应技 (略) 理。

5.4投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

序号

货物名称

数量

单位

预算金额（元）

备注

1

激光分子束外延机（核心设备）

1

套

3, * , * . *

接受进口

2

准分子激光器

1

套

* , * . *

接受进口

序号

货物名称

技术参数或功能要求

1

激光分子束外延机（核心设备）

1.1沉积腔体程控系统

▲1.1.1腔体真空从大气压抽到5E-6Torr耗时小于 * min,本底真空度烘烤 * 小时后应达到5.0E-9Torr，平时需达5.0E-8Torr以下，使用SUS * 不锈钢材质， (略) 电泳抛光。

1.1.2薄膜生长时的最高压力不低于 * Torr。

1.1.3可程序 (略) 准分子激光开关。

1.2多靶材操作系统

▲1.2.1靶材激光入射角为 * 度。

▲1.2.2靶材在腔体下方， (略) 于靶材正上方,以保证薄膜材料可均匀成长,并配合单轴组合光罩定位装置同步使用。

1.2.3靶材与基板之间距离可调整范围为 * - * mm。

▲1.2.4多靶材系统，可提供最少6个1英寸靶位，可自转公转，来回摆动，由步进马达驱动,可用程 (略) 有靶材的选择， * 度自转与公转，提供安全保护。

1.2.5配备z轴stage，可调整靶材与样品距离，搭配传感器用于home点以及安全连锁，Z向移动范围 * mm。

1.2.6样品位移台，加载客户定制的样品托（样品托图纸由客户提供）。

▲1.2.7具备靶材分隔板及保护板，防止交叉沉积污染。

1.3激光 * 极管基板加热系统

▲1.3.1激光 * 极管基板加热系统是以半导体 (略) 加热，加热温度可达到 * ℃，温度精度在+/- 1℃，可用PID自由设定控制温度与加热速度，可加热 * mm * mm样品，温度均匀度达到1%。

1.3.2激光加热功率为 * W, * nm 波长。

▲1.3.3基板和激光加热系统为垂直方式, 以避免因倾斜而导致基板旋转角度受限,并且确保基板可 * 度旋转与均匀受热。

▲1.3.4样品架为非磁性样品架可配合 * 级差分反射式高能电子衍射仪同步使用。

1.4 * 级差分反射式高能电子衍射仪

▲1.4.1可在高氧压环境下观察的 * 级差反射式高能电子衍射仪，并且可以在 * mTorr以上观察衍射图像,重量小于2.5KG。

1.4.2安装完成后,可直接在2E-9 Torr 至 * Pa下, 使 (略) 成膜并观察 Oscillation动作。

1.4.3具备在 * Pa(1Torr)环境下操作，保证观测信号稳定性。

1.4.4最大 * kV 加速电压( * kV速率),电子束电流 * mA。

1.4.5电子束导轨的XY轴和倾斜运动,可变定位荧光屏。

1.4. (略) 理系统:高分辨率CCD相机单元，深浅(黑白平衡调整)， (略) 理软件。

1.5加载互锁传送真空室

▲1.5.1本底真空为5E-7Torr。

1.5.2可存储2个样品及4个靶材。

1.5.3通过磁力传样杆线性传输样品和靶材至生长腔室。

1.6单轴组合光罩定位装置

1.6.1使用移动精度优于 * μm之单轴组合光罩定位装置，藉由可程控步进马达驱动靶材选择与组合式屏蔽(COMBI MASK)可达成在同 * 个基板上随意组合薄膜成分，并同时长膜，最高可达 * * 种不同区块。

▲1.6.2单轴线性运动组合掩板定位系统，可程控长出2元、3元、准4元薄膜，检附文献。

1.6.3采用程序软件控制单轴组合光罩定位系统。

2

准分子激光器

2.1脉冲能量(mJ) * nm: ≥ * 。

2.2频率(Hz): ≤ * 。

2.3平均功率 (W) * nm: ≥5。

2.4能源稳定性(1 sigma) (%): ≤1。

2.5脉冲持续时间(ns): * 。

2.6光束尺寸(V x H, FWHM) (mm2): ≤ * x * 。

2.7光束差异(V x H, FWHM) (mrad2): ≤3 x 1。

2.8光束指向稳定性 (1 sigma) (μrad): ≤ * 。

2.9电源: * to * V AC, * A, * / * Hz 。

2. * 冷却: 流量2 to 5 l/min. 温度 * to * °C。

序号

目录

商务需求

（ * ）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期限

★1.1货物免费保修期【3】年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

免费保修内容

2.1保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，设备维修只收取零配件成本费，不收取人工费、维修费等其他费用。

3

售后服务人员配备

3.1提供设备报修电话及联系人，招标人在工作时 (略) 联系，上 (略) 家 (略) 相关负责人共同负责，为招标人提供便捷的服务。

4

技术培训方案

★4.1免费提供技 (略) 培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。

5

质量保证

5.1中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。

6

违约承诺

6.1中标人不能 (略) 维修，导致设备故障维修不及时，且无法提供代用设备的，按维修时间每超过 * 天赔偿合同总金额的0.5%（ (略) 罚不超过合同总金额的5%）或按实际损失赔偿。情节严重者，招标人将诉诸法律程序。

7

维修响应及故障解决时间、方案

★7.1招标人报修后，【 * 】小时内响应，【 * 】小时内 (略) 维护，并在【 * 】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、 (略) 人代用。

8

其他

8.1保修期内，必须保证设备 * ％以上工作日正常工作，同 * 硬件 * 个月内连续 * 次或以上出现同 * 故障，中标人须无偿更换同 * 型号全新设备，并承诺系统设备终身维护。

8．2在无故障的情况下，每年定期上 (略) 检测，运行调节，内部清洁等。

（ * ）其他商务要求

1

关于交货

1.1交货地点： (略) (略) N *

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

★1.3签订合同后【 * 】日内交货。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，招标人才向中标人签发货物验收报告：

预验收：包括审查设备包装是否完整，有无破损；拆箱后核 (略) 件是否齐全，有无缺少的情况。

安装及培训：免费提供技术工程师上门安装、调 (略) 培训，培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等。

设备的安装和参数指标测试：设备完全安装后，进行 * 些 (略) 测试，包括

ü腔体烘烤后真空应达到5E-9Torr

ü加载互锁传送真空室真空度须到达5E-7Torr

ü激光 * 极管基板加热温度可达到 * ℃

ü激光能量和频率是否可以达到设定值；

ü靶材旋转是否 (略) ；

ü激光光路是否正确；

ü光罩定位系统是否可用；

üRHEED系统是否 (略)

üPC端的操作是否 (略) ；

(略) (略) 分是否存在工作异常；等等。

供货商须提供安装调试后的测试报告，用户须签名后完成验收流程。

2.3中标人无偿提供验收测试报告，所供货的产品必须符合中国电源标准及规范国际接插头，如不符合，中标人必须无偿更换，配齐相关的水电气接插件，并符合上述标准。

3

关于培训

3.1 中标人在设备安装调试完成前交付使用说明书、维修手册、图纸等相关资料。 (略) (略) 专业的设备操作、维护、维修培训及指导，直至其完全掌握货物的功能应用 (略) 理技术。

4

关于付款

★4.1合同签订且收到发票后支付合同总价的 * %为进度款，货到指定地点、安装验收合格、提供全额发票后支付 * %，余款5% (略) 人确认后无息支付。

4.2

国产货物：招标人指定地点交货，投标总价为人民币包干价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及 * 切不可预见费等，项目结算时不做任何单价或费用的调整。

进口货物：CIP招标人指定地点，投标总价为人民币包干价，符合国家科教仪器免税政策的设备应报人民币免税价，包括但不限于：货物（含设备费、软件费、辅材费等）价款、包装、运输、装卸、安装、调试、技术指导、培训、咨询、服务、保险、检测、验收合格交付使用之前以及技术和售后服务等其他各项有关费用，以及 * 切不可预见费等。

4.3为规范办理进出口业务，确保货物与进口清关单据保持唯 * 对应关系，即单单相符、单证相符、单货相符， (略) 人所指定或认可，投标报价包含进口代理费以及 (略) 有相关费用。汇率风险由中标人承担。

4.4 根据国家外汇政策管理要求，进 (略) 所指定或认可的外贸 (略) 。中标人须在发货前委托前述的外贸代理单位购汇向境外供应商支付货款。

5

其他

5.1投标产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ (略) 件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

如为进口产品，必须具有合法的进口手续和途径，在供货时必须提供原产地证明及相关进口资料。不接受贴牌及非正当进货渠道产品。

5.2投标人提供的产品及其有关服务必须符合中华人民共和国的设计和制造 (略) 业标准。

5.3投标产品是合法注册有效周期内该品牌最新型号的产品，其产品符合国家有关安全规定。不得提供已停产或淘汰的产品，否则将按未响应技 (略) 理。

5.4投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

序号

货物名称

数量

单位

预算金额（元）

备注

1

激光分子束外延机（核心设备）

1

套

3, * , * . *

接受进口

2

准分子激光器

1

套

* , * . *

接受进口

序号

货物名称

技术参数或功能要求

1

激光分子束外延机（核心设备）

1.1沉积腔体程控系统

▲1.1.1腔体真空从大气压抽到5E-6Torr耗时小于 * min,本底真空度烘烤 * 小时后应达到5.0E-9Torr，平时需达5.0E-8Torr以下，使用SUS * 不锈钢材质， (略) 电泳抛光。

1.1.2薄膜生长时的最高压力不低于 * Torr。

1.1.3可程序 (略) 准分子激光开关。

1.2多靶材操作系统

▲1.2.1靶材激光入射角为 * 度。

▲1.2.2靶材在腔体下方， (略) 于靶材正上方,以保证薄膜材料可均匀成长,并配合单轴组合光罩定位装置同步使用。

1.2.3靶材与基板之间距离可调整范围为 * - * mm。

▲1.2.4多靶材系统，可提供最少6个1英寸靶位，可自转公转，来回摆动，由步进马达驱动,可用程 (略) 有靶材的选择， * 度自转与公转，提供安全保护。

1.2.5配备z轴stage，可调整靶材与样品距离，搭配传感器用于home点以及安全连锁，Z向移动范围 * mm。

1.2.6样品位移台，加载客户定制的样品托（样品托图纸由客户提供）。

▲1.2.7具备靶材分隔板及保护板，防止交叉沉积污染。

1.3激光 * 极管基板加热系统

▲1.3.1激光 * 极管基板加热系统是以半导体 (略) 加热，加热温度可达到 * ℃，温度精度在+/- 1℃，可用PID自由设定控制温度与加热速度，可加热 * mm * mm样品，温度均匀度达到1%。

1.3.2激光加热功率为 * W, * nm 波长。

▲1.3.3基板和激光加热系统为垂直方式, 以避免因倾斜而导致基板旋转角度受限,并且确保基板可 * 度旋转与均匀受热。

▲1.3.4样品架为非磁性样品架可配合 * 级差分反射式高能电子衍射仪同步使用。

1.4 * 级差分反射式高能电子衍射仪

▲1.4.1可在高氧压环境下观察的 * 级差反射式高能电子衍射仪，并且可以在 * mTorr以上观察衍射图像,重量小于2.5KG。

1.4.2安装完成后,可直接在2E-9 Torr 至 * Pa下, 使 (略) 成膜并观察 Oscillation动作。

1.4.3具备在 * Pa(1Torr)环境下操作，保证观测信号稳定性。

1.4.4最大 * kV 加速电压( * kV速率),电子束电流 * mA。

1.4.5电子束导轨的XY轴和倾斜运动,可变定位荧光屏。

1.4. (略) 理系统:高分辨率CCD相机单元，深浅(黑白平衡调整)， (略) 理软件。

1.5加载互锁传送真空室

▲1.5.1本底真空为5E-7Torr。

1.5.2可存储2个样品及4个靶材。

1.5.3通过磁力传样杆线性传输样品和靶材至生长腔室。

1.6单轴组合光罩定位装置

1.6.1使用移动精度优于 * μm之单轴组合光罩定位装置，藉由可程控步进马达驱动靶材选择与组合式屏蔽(COMBI MASK)可达成在同 * 个基板上随意组合薄膜成分，并同时长膜，最高可达 * * 种不同区块。

▲1.6.2单轴线性运动组合掩板定位系统，可程控长出2元、3元、准4元薄膜，检附文献。

1.6.3采用程序软件控制单轴组合光罩定位系统。

2

准分子激光器

2.1脉冲能量(mJ) * nm: ≥ * 。

2.2频率(Hz): ≤ * 。

2.3平均功率 (W) * nm: ≥5。

2.4能源稳定性(1 sigma) (%): ≤1。

2.5脉冲持续时间(ns): * 。

2.6光束尺寸(V x H, FWHM) (mm2): ≤ * x * 。

2.7光束差异(V x H, FWHM) (mrad2): ≤3 x 1。

2.8光束指向稳定性 (1 sigma) (μrad): ≤ * 。

2.9电源: * to * V AC, * A, * / * Hz 。

2. * 冷却: 流量2 to 5 l/min. 温度 * to * °C。